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题名蝶翼式MEMS加速度计温度稳定性提升方法
被引量：6
- 1
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作者
蒲金飞
侯占强
虢晓双
曾承志
肖定邦
吴学忠
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机构
国防科技大学智能科学学院
湖南天羿领航科技有限公司
唐智科技湖南发展有限公司
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2022年第2期235-239,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(62104258)。
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文摘
环境温度变化造成的热应力是影响MEMS加速度计性能的关键因素。为了提升MEMS加速度计温度稳定性,以蝶翼式MEMS加速度计为研究对象,分别在敏感芯片上设计应力释放结构和敏感芯片与陶瓷基底之间设计应力隔离结构。利用有限元分析工具COMSOL对有无应力释放和隔离结构的情况进行了对比仿真,结果表明敏感单元上的敏感梁应用应力释放结构只有原结构最大应力水平的0.3%,封装时采用应力隔离结构间接连接比原直接连接方式最大应力下降一个数量级。采用微机械加工技术和微电子工艺技术结合的MEMS加工工艺实现含应力隔离结构的加速度计原理样机制作。对样机进行温度测试,试验结果表明有应力释放与隔离结构在-40°C~60°C区间的漂移量比无应力释放与隔离结构提升约3.5倍,验证了应力释放与隔离结构对温度稳定性提升的有效性,研究结果可以为加速度计在高性能、恶劣环境下的应用提供参考。
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关键词
MEMS加速度计
应力释放与隔离结构
温度稳定性
MEMS加工工艺
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Keywords
MEMS accelerometer
stress release and isolation structure
temperature stability
MEMS fabrication process
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名高灵敏度蝶翼式微加速度计抗跌落性能分析与试验
被引量：1
- 2
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作者
单恒
侯占强
肖定邦
虢晓双
曾承志
吴学忠
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机构
国防科技大学智能科学学院
湖南天羿领航科技有限公司
唐智科技湖南发展有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第12期22-25,共4页
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文摘
灵敏度与抗冲击性能相互矛盾。以低量程、高灵敏度蝶翼式微加速度计为对象,对其抗跌落性能进行了理论分析与试验研究。介绍了蝶翼式微加速度计的基本结构和工作原理,仿真分析了敏感结构在静态载荷作用下的应力,建立了跌落条件下敏感结构的动力学模型,并对其进行了静力与跌落冲击试验。理论分析与试验结果表明,跌落冲击中初速度是导致结构损坏的主要原因。
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关键词
微加速度计
跌落
冲击
蝶翼式
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Keywords
micro-accelerometer
drop
shock
butterfly
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分类号
TP242
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名MEMS振动传感器信号检测电路设计与实现
被引量：5
- 3
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作者
陈伟琪
肖定邦
蒲金飞
李凯
毛善国
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机构
国防科技大学智能科学学院
唐智科技湖南发展有限公司
湖南天羿领航科技有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第7期63-66,共4页
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文摘
分析了电容检测电路原理,优化设计了C/V模块电路、接口电路和零偏及标度因数补偿电路,并搭建电路以及联合微机械差分电容结构进行了集成测试。经过测试验证,设计的微机电系统(MEMS)振动传感器信号检测电路对微弱电容具有较好的检测放大作用,并具有较强的接口适应性和防护能力。
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关键词
微机电系统(MEMS)振动传感器
检测电路
补偿电路
测试
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Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS)vibration sensor
detection circuit
compensation circuit
test
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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