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内部改质加工碳化硅皮秒激光聚焦特性调控: 1; 作者曹轼毓梁仁超张屹《激光技术》北大核心 2025年第4期519-525,共7页; 激光内部改质加工技术因其效率高、无接触和损耗小等优势,广泛应用在半导体晶圆切割领域。为了研究晶圆内不同深度处激光聚焦特性对切割质量的影响规律,采用逆光线追迹法进行球差校正,通过设计并搭建基于液晶空间光调制器进行球差校正... 展开更多; 关键词激光技术聚焦特性调控方法逆光线追迹法球差校正; 在线阅读下载PDF 职称材料

碳化硅晶圆片划片切割方法综述: 2; 作者刘夫周玉彪 +2 位作者颜思源程其仁张屹《激光与红外》北大核心 2025年第5期643-650,共8页; 第三代半导体材料碳化硅因其具有大禁带宽度、高导热性和化学稳定性强等优良性能,以其为衬底材料制作的功率器件具有广阔的应用前景和重要的战略意义。晶圆划片是碳化硅功率器件制造流程中的重要工艺环节,该工序目前仍以传统的金刚石刀... 展开更多; 关键词碳化硅划片切割激光技术激光内部改质切割; 在线阅读下载PDF 职称材料

B340LA变厚截面板变功率激光焊接试验研究被引量：3: 3; 作者张屹梁志超 +3 位作者张哲豪陆润东李福南韦海英《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期51-57,共7页; 变厚截面材料是实现汽车轻量化的有效途径之一,但截面厚度变化的材料连接实现困难.1.2～2.0 mm厚的B340LA变厚截面板在长度和宽度方向上都存在厚度波动,并且不同厚度处的材料硬度存在最大20%的偏差.针对该材料的特性自行设计了专用焊接... 展开更多; 关键词激光焊接变厚截面板阶跃式变功率熔透状态焊缝形貌和组织; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光直接金属沉积工艺能效的田口试验研究被引量：4: 4; 作者袁丰波韦海英 +2 位作者黄矗吴家柱张屹《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期24-29,共6页; 为了研究金属激光直接沉积工艺过程中工艺参量对工艺能效的影响,采用自主研发的HCX60五轴激光复合制造机床开展工艺能效田口试验,并对其结果进行了信噪比分析、极差分析以及方差分析,得到激光功率、送粉量、扫描速率、提升量以及搭接率... 展开更多; 关键词激光技术工艺能效田口试验激光直接沉积增材制造; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光直接金属沉积316L不锈钢表面粘粉工艺研究被引量：4: 5; 作者陈寰宇吴家柱 +2 位作者赵鹏辉刘安丽张屹《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期624-628,共5页; 为了探究激光直接金属沉积316L不锈钢的表面粉末粘附工艺规律,利用高速摄像机分析粉末粘附类型,采用单因素试验的方法,定量研究了单道多层沉积中的送粉速率、送粉气流量和线能量密度对粉末粘附的影响规律。结果表明,粉末粘附主要包括熔... 展开更多; 关键词激光技术粉末粘附单因素试验直接金属沉积; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光切割锂电池负极极片复合材料的数值模拟被引量：4: 6; 作者晏一菓阳如坤 +2 位作者李建相吴学科张屹《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期773-778,共6页; 为了探究负极极片复合材料的切割性质,采用有限元模型,对激光切割锂离子电池负极极片复合材料温度场进行数值模拟计算.由温度场分布取得了负极切缝宽度与切缝深度的尺寸大小,从中研究激光功率、切割速率和光斑半径对负极表层材料切缝宽... 展开更多; 关键词激光技术激光切割温度模拟电极极片; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名内部改质加工碳化硅皮秒激光聚焦特性调控: 1; 作者曹轼毓梁仁超张屹; 机构湖南大学整车先进设计制造技术全国重点实验室湖南大学智能激光制造湖南省重点实验室; 出处《激光技术》北大核心 2025年第4期519-525,共7页; 基金国家重点研发计划资助项目(2021YFE0108500)。; 文摘激光内部改质加工技术因其效率高、无接触和损耗小等优势,广泛应用在半导体晶圆切割领域。为了研究晶圆内不同深度处激光聚焦特性对切割质量的影响规律,采用逆光线追迹法进行球差校正,通过设计并搭建基于液晶空间光调制器进行球差校正的激光内部改质切割实验平台,选用1064 nm皮秒激光对350μm厚碳化硅晶圆进行实验,得到了长度降低20%~30%的激光内部改质层;进而基于激光在材料内部传输的能量损耗与球差校正导致的激光功率密度变化规律,提出一种碳化硅晶圆激光内部改质切割聚焦特性的调控方法。结果表明,通过变功率多道扫描策略,利用8道改质层实现了切割侧面粗糙度819 nm且无崩边崩角的高质量加工。该研究为碳化硅晶圆激光内部改质切割的工艺优化与切割质量提升提供了参考。; 关键词激光技术聚焦特性调控方法逆光线追迹法球差校正; Keywords laser technique method for regulating focusing characteristics inverse ray tracing method spherical aberration correction; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名碳化硅晶圆片划片切割方法综述: 2; 作者刘夫周玉彪颜思源程其仁张屹; 机构湖南大学整车先进设计制造技术全国重点实验室湖南大学智能激光制造湖南省重点实验室; 出处《激光与红外》北大核心 2025年第5期643-650,共8页; 基金国家重点研发计划项目(No.2021YFE0108500)资助。; 文摘第三代半导体材料碳化硅因其具有大禁带宽度、高导热性和化学稳定性强等优良性能,以其为衬底材料制作的功率器件具有广阔的应用前景和重要的战略意义。晶圆划片是碳化硅功率器件制造流程中的重要工艺环节,该工序目前仍以传统的金刚石刀轮划片方法为主,然而,碳化硅的高硬脆性给传统加工技术带来了极大地挑战,带来了高加工成本、低良品率等问题,因此亟需一种更优的划片技术来应对上述挑战。本文系统综述了碳化硅晶圆国内外现有的划片方法,介绍了刀轮划片、激光烧蚀、激光热裂解、水导激光切割、水射流辅助激光切割与激光内部改质切割的原理与进展,对比分析了几种划片方法的优缺点,并对碳化硅晶圆切割技术的发展趋势进行了展望。; 关键词碳化硅划片切割激光技术激光内部改质切割; Keywords silicon carbide scribing and dicing laser technology laser internal modification dicing; 分类号 TH162 [机械工程—机械制造及自动化] TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名B340LA变厚截面板变功率激光焊接试验研究被引量：3: 3; 作者张屹梁志超张哲豪陆润东李福南韦海英; 机构湖南大学汽车车身先进设计制造国家重点实验室湖南大学智能激光制造湖南省重点实验室; 出处《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期51-57,共7页; 基金深圳市科技项目(JCYJ20160530192452107) 国家重点研发计划资助项目(2016YFE0128800)~~; 文摘变厚截面材料是实现汽车轻量化的有效途径之一,但截面厚度变化的材料连接实现困难.1.2～2.0 mm厚的B340LA变厚截面板在长度和宽度方向上都存在厚度波动,并且不同厚度处的材料硬度存在最大20%的偏差.针对该材料的特性自行设计了专用焊接夹具,提出了阶跃式变功率的激光焊接方法.对比分析固定功率和阶跃式变功率两种激光焊接试验,结果表明:固定功率(900～1 400 W)条件下获得的焊缝形貌与熔透状态均在焊接方向表现出显著的差异性,且部分焊缝会出现塌陷等焊接缺陷;采用1 000 W、1 100 W和1 300 W分段功率的阶跃式变功率焊接,1.2～2.0 mm板厚方向上可得到一致的焊缝形貌和熔透状态,焊缝熔合区的硬度偏差小于9%.与固定功率激光焊接相比,阶跃式变功率激光焊接可实现B340LA变厚截面材料的有效连接.; 关键词激光焊接变厚截面板阶跃式变功率熔透状态焊缝形貌和组织; Keywords laser welding tailor rolled blanks step variable power laser penetration status weld appearance and microstructure; 分类号 TG406 [金属学及工艺—焊接]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光直接金属沉积工艺能效的田口试验研究被引量：4: 4; 作者袁丰波韦海英黄矗吴家柱张屹; 机构湖南大学汽车车身先进设计制造国家重点实验室湖南大学机械与运载工程学院湖南大学智能激光制造湖南省重点实验室; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期24-29,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(51605156); 文摘为了研究金属激光直接沉积工艺过程中工艺参量对工艺能效的影响,采用自主研发的HCX60五轴激光复合制造机床开展工艺能效田口试验,并对其结果进行了信噪比分析、极差分析以及方差分析,得到激光功率、送粉量、扫描速率、提升量以及搭接率对工艺能效的影响主次关系,提出了工艺因素优化组合。结果表明,送粉量对工艺能效的影响最为显著,最佳参量组合为激光功率P=500W,送粉量f=28g/min,扫描速率v=600mm/min,提升量h=0.6mm和搭接率λ=30%。这为研究增材制造工艺参量对工艺能效的作用及影响规律提供了理论借鉴和实验基础。; 关键词激光技术工艺能效田口试验激光直接沉积增材制造; Keywords laser technique process efficiency taguchi experiment direct laser deposition additive manufacturing; 分类号 TG156.99 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光直接金属沉积316L不锈钢表面粘粉工艺研究被引量：4: 5; 作者陈寰宇吴家柱赵鹏辉刘安丽张屹; 机构湖南大学深圳研究院湖南大学智能激光制造湖南省重点实验室; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期624-628,共5页; 基金国家重点研发计划资助项目(2016YFE0128800) 深圳市科技计划资助项目(JCYJ20160530192452107); 文摘为了探究激光直接金属沉积316L不锈钢的表面粉末粘附工艺规律,利用高速摄像机分析粉末粘附类型,采用单因素试验的方法,定量研究了单道多层沉积中的送粉速率、送粉气流量和线能量密度对粉末粘附的影响规律。结果表明,粉末粘附主要包括熔池熔液逸出和未熔粉末粘附两种类型;随着送粉速率的增加和送粉气流量的减小,薄壁件侧表面粉末粘附程度增加,而粉末粘附程度则对激光线能量密度的变化不敏感;激光功率700W、扫描速率700mm/min、送粉量13.54g/min、送粉气流量14L/min、离焦量+22mm时,激光直接金属沉积薄壁件表面粉末粘附较少。研究结果能够成为改善316L不锈钢增材制件表面质量的重要依据。; 关键词激光技术粉末粘附单因素试验直接金属沉积; Keywords laser technique adhering powder single factor test direct metal deposition; 分类号 TF124 [冶金工程—粉末冶金]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光切割锂电池负极极片复合材料的数值模拟被引量：4: 6; 作者晏一菓阳如坤李建相吴学科张屹; 机构湖南大学深圳研究院湖南大学智能激光制造湖南省重点实验室深圳吉阳智能科技有限公司; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期773-778,共6页; 基金国家重点研发计划资助项目(2016YFE01 28800) 深圳市科技计划资助项目(JCYJ20160530192452107); 文摘为了探究负极极片复合材料的切割性质,采用有限元模型,对激光切割锂离子电池负极极片复合材料温度场进行数值模拟计算.由温度场分布取得了负极切缝宽度与切缝深度的尺寸大小,从中研究激光功率、切割速率和光斑半径对负极表层材料切缝宽度与切缝深度的影响.结果表明,负极表层切缝宽度随激光功率和光斑半径的增加而增大,随切割速率增大而减小;切缝深度随激光功率增加而增大,随切割速率和光斑半径增大而减小.切割至中间铜箔后,切缝深度变化速率趋缓,负极材料的复合结构对切缝深度存在明显影响;在功率为170W、光斑半径为47μm、切割速率变化至600mm/s左右时,效果最为明显,切割深度在该参量下达到60μm,且突破这一阈值后增长速率得到明显提升直至极片完全切断.这一结果可为激光应用于锂离子电池极片复合材料切割提供参考.; 关键词激光技术激光切割温度模拟电极极片; Keywords laser technique laser cutting temperature simulation electrode anode; 分类号 TG485 [金属学及工艺—焊接]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	内部改质加工碳化硅皮秒激光聚焦特性调控	曹轼毓梁仁超张屹	《激光技术》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	碳化硅晶圆片划片切割方法综述	刘夫周玉彪颜思源程其仁张屹	《激光与红外》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	B340LA变厚截面板变功率激光焊接试验研究	张屹梁志超张哲豪陆润东李福南韦海英	《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	激光直接金属沉积工艺能效的田口试验研究	袁丰波韦海英黄矗吴家柱张屹	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	激光直接金属沉积316L不锈钢表面粘粉工艺研究	陈寰宇吴家柱赵鹏辉刘安丽张屹	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	激光切割锂电池负极极片复合材料的数值模拟	晏一菓阳如坤李建相吴学科张屹	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料