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工程陶瓷高效深磨磨削力和损伤的研究 被引量：19
1
作者 谢桂芝 黄含 +1 位作者 盛晓敏 宓海青 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期26-30,共5页
采用树脂结合剂金刚石砂轮,对氧化铝和氧化锆等2种工程陶瓷进行高效深磨磨削加工.测量了磨削力,并对磨削表面形貌和亚表面损伤进行了观测.揭示了这2种工程陶瓷的高效深磨材料去除机理,氧化铝陶瓷主要为脆性去除,而氧化锆则是局部的横向... 采用树脂结合剂金刚石砂轮,对氧化铝和氧化锆等2种工程陶瓷进行高效深磨磨削加工.测量了磨削力,并对磨削表面形貌和亚表面损伤进行了观测.揭示了这2种工程陶瓷的高效深磨材料去除机理,氧化铝陶瓷主要为脆性去除,而氧化锆则是局部的横向裂纹和塑性去除.提出了磨粒的平均磨削力公式,讨论了磨粒的平均法向磨削力对陶瓷材料去除机理和磨削损伤的影响. 展开更多
关键词 高效深磨 工程陶瓷 磨削力 磨削损伤 磨削机理
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难加工材料高效精密磨削技术研究进展 被引量：36
2
作者 邓朝晖 万林林 张荣辉 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第24期3018-3023,共6页
针对难加工材料特点,分析了典型难加工材料的磨削特性,综述了缓进给磨削、精密超精密磨削在难加工材料磨削加工领域的国内外研究进展。介绍了高效深磨技术的原理及其在难加工材料磨削中的应用现状,指出高效深磨技术能够实现对难加工材... 针对难加工材料特点,分析了典型难加工材料的磨削特性,综述了缓进给磨削、精密超精密磨削在难加工材料磨削加工领域的国内外研究进展。介绍了高效深磨技术的原理及其在难加工材料磨削中的应用现状,指出高效深磨技术能够实现对难加工材料的优质而高效的加工,具有广泛的应用前景,并指出了高效深磨技术应用于难加工材料磨削加工的进一步研究方向。 展开更多
关键词 难加工材料 缓进给磨削 精密磨削 高效深磨
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工程陶瓷高效平面磨削表面波纹度试验研究 被引量：7
3
作者 盛晓敏 资嘉磊 +1 位作者 宓海青 陈涛 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2006年第6期421-425,430,共6页
以氧化铝和氧化锆两种工程陶瓷在高效磨削条件下的磨削振动和表面波纹度为研究对象,概述了磨削表面波纹度的定义和评价方法以及产生波纹度的原因,在超高速平面磨削实验台上进行磨削工艺试验,通过改变砂轮线速度、进给速度和磨削深度,分... 以氧化铝和氧化锆两种工程陶瓷在高效磨削条件下的磨削振动和表面波纹度为研究对象,概述了磨削表面波纹度的定义和评价方法以及产生波纹度的原因,在超高速平面磨削实验台上进行磨削工艺试验,通过改变砂轮线速度、进给速度和磨削深度,分析了磨削参数对零件表面波纹度的影响.在试验研究的基础上,对磨削表面波纹度的影响因素和机理进行分析和讨论.试验结果表明,在陶瓷材料高效平面磨削中,砂轮线速度和进给速度是影响磨削颤振与表面波纹度的主导因素.在如120 m/s的较高砂轮线速度时,磨削过程振动主要是由强迫振动引起,工件表面质量好于低速情况.在保证较高磨削效率的前提下,陶瓷材料的高效磨削更适合在大切深和小进给速度条件下进行. 展开更多
关键词 工程陶瓷 高教磨削 表面波纹度
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基于田口法提高碳化硅磨削表面质量的工艺参数优化研究
4
作者 孙鸿 王哲 +1 位作者 李蓉 尹韶辉 《表面技术》 北大核心 2025年第14期151-158,共8页
目的 探究磨削工艺参数对碳化硅晶锭表面粗糙度的影响规律,提高晶锭磨削加工质量。方法 采用自研减薄机对碳化硅晶锭进行磨削试验研究,设计并开展以砂轮转速、晶锭转速、进给速度、进给位移4个磨削工艺参数为试验因素,表面粗糙度为测量... 目的 探究磨削工艺参数对碳化硅晶锭表面粗糙度的影响规律,提高晶锭磨削加工质量。方法 采用自研减薄机对碳化硅晶锭进行磨削试验研究,设计并开展以砂轮转速、晶锭转速、进给速度、进给位移4个磨削工艺参数为试验因素,表面粗糙度为测量指标的正交试验。采用田口法对试验结果进行均值和信噪比主效应分析,并通过方差分析判断所研究参数对试验结果影响的显著性,最后利用工具显微镜对不同参数组合下磨削后试样表面形貌进行观测分析。结果 4个工艺参数对碳化硅晶锭表面粗糙度的影响程度排序为:砂轮转速>进给速度>晶锭转速>进给位移,砂轮转速与进给速度对表面粗糙度影响显著,砂轮转速越高,进给速度越小,晶锭表面粗糙度越小。通过田口法获得的最佳工艺参数组合为:砂轮转速2 499 r/min、晶锭转速260 r/min、进给速度0.2μm/s、进给位移30μm,对应的表面粗糙度Ra可降至6 nm以下。结论 田口分析方法可用来选择合适的碳化硅晶锭磨削工艺参数组合进行表面加工质量优化,通过优化工艺参数可以有效降低表面粗糙度、改善磨削表面质量,对碳化硅超精密磨削具有指导意义。 展开更多
关键词 磨削工艺参数 碳化硅 表面粗糙度 正交试验 田口法 方差分析
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ELID镜面磨削加工技术研究进展 被引量：26
5
作者 尹韶辉 曾宪良 +2 位作者 范玉峰 朱勇建 唐昆 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期750-755,共6页
在线电解修整(ELID)镜面磨削技术作为一种低成本高效率的超精密镜面加工技术,广泛应用在现代超精密加工领域中。综述了ELID镜面磨削技术的历史发展和研究现状,介绍了该技术的加工机理和镜面形成过程,重点讨论了在不同条件下几种不同ELI... 在线电解修整(ELID)镜面磨削技术作为一种低成本高效率的超精密镜面加工技术,广泛应用在现代超精密加工领域中。综述了ELID镜面磨削技术的历史发展和研究现状,介绍了该技术的加工机理和镜面形成过程,重点讨论了在不同条件下几种不同ELID镜面磨削的形式,最后就该技术的深入研究工作作了展望并指出了产业化推广需要解决的问题。 展开更多
关键词 ELID磨削 镜面磨削 硬脆材料 纳米磨削 研究进展
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TC4钛合金高效深磨磨削力及比磨削能特征研究 被引量：7
6
作者 盛晓敏 唐昆 +2 位作者 宓海青 余剑武 陈涛 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期24-28,共5页
针对钛合金磨削加工困难的特点,系统开展了TC4钛合金高效深磨工艺试验,对单位面积磨削力随最大未变形切屑厚度和当量磨削层厚度的变化情况和特征进行了分析,探讨了材料去除方式的变化,研究了TC4钛合金高效深磨过程中所消耗磨削功率的变... 针对钛合金磨削加工困难的特点,系统开展了TC4钛合金高效深磨工艺试验,对单位面积磨削力随最大未变形切屑厚度和当量磨削层厚度的变化情况和特征进行了分析,探讨了材料去除方式的变化,研究了TC4钛合金高效深磨过程中所消耗磨削功率的变化规律,为寻求适合钛合金高效深磨的工艺及方法,提高钛合金加工质量和效率打下一定的理论基础。 展开更多
关键词 钛合金 高效深磨 磨削力 比磨削能 特征
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高效磨削技术与装备进展及展望 被引量：11
7
作者 袁巨龙 邓朝晖 +1 位作者 熊万里 吕冰海 《航空制造技术》 2010年第5期66-70,共5页
高效磨削加工的主要目的就是提高生产效率和加工质量,降低成本,其应用将产生巨大的经济效益和社会效益。随着我国航空航天工业、汽车工业、冶金、机械及国防工业等行业的进一步发展,高效磨削技术及装备的市场愈来愈大,其经济效益和社会... 高效磨削加工的主要目的就是提高生产效率和加工质量,降低成本,其应用将产生巨大的经济效益和社会效益。随着我国航空航天工业、汽车工业、冶金、机械及国防工业等行业的进一步发展,高效磨削技术及装备的市场愈来愈大,其经济效益和社会效应也十分巨大。 展开更多
关键词 磨削技术 装备 展望 航空航天工业 经济效益 加工质量 生产效率 磨削加工
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40Cr钢高效深磨磨削力试验研究 被引量：3
8
作者 唐昆 尚振涛 +2 位作者 盛晓敏 宓海青 黄红武 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第7期56-60,共5页
通过对40Cr钢在高效深磨条件下磨削力的试验研究,分析了不同工况对磨削力变化的影响,提出了40Cr钢高效深磨工艺参数的优化方案。试验结果表明:40Cr钢在高效深磨条件下,磨削力随磨削深度的变化呈波浪式起伏的非线性关系,随砂轮线速度的... 通过对40Cr钢在高效深磨条件下磨削力的试验研究,分析了不同工况对磨削力变化的影响,提出了40Cr钢高效深磨工艺参数的优化方案。试验结果表明:40Cr钢在高效深磨条件下,磨削力随磨削深度的变化呈波浪式起伏的非线性关系,随砂轮线速度的提高而明显减小,同时能获得比普通磨削大得多的比材料磨除率,以及较好的工件表面质量。 展开更多
关键词 40CR钢 高效深磨 磨削力 工艺参数优化
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陶瓷球高效研磨技术的研究 被引量：3
9
作者 吕冰海 袁巨龙 戴勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第4期52-56,共5页
为提高陶瓷球研磨过程中的加工效率,本文提出了一种采用固着金刚石磨料的高效研磨技术。采用4～8μm粒径的金刚石微粉作为磨料,以光固化树脂作为结合剂,在300～500 nm波长紫外线照射下,使光固化树脂快速固化,制作固着磨料研磨盘(金刚石... 为提高陶瓷球研磨过程中的加工效率,本文提出了一种采用固着金刚石磨料的高效研磨技术。采用4～8μm粒径的金刚石微粉作为磨料,以光固化树脂作为结合剂,在300～500 nm波长紫外线照射下,使光固化树脂快速固化,制作固着磨料研磨盘(金刚石浓度100%),以φ5 mm氮化硅陶瓷球为加工对象,在自行设计的实验台上进行了加工实验。实验结果表明,在保证表面质量的前提下(R_a～40 nm),材料去除率可达100μm/h,其研磨效率约为相同加工条件下传统游离磨料加工的20倍。对加工后陶瓷球表面的观察发现,氮化硅陶瓷球材料主要是以二体磨损的形式去除的。 展开更多
关键词 陶瓷球 金刚石磨料 光固化树脂 材料去除率
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基于热像检测与分割技术的磨削砂轮堵塞检测研究 被引量：1
10
作者 郭力 江志顺 尚振涛 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期577-583,共7页
针对磨削加工中的砂轮堵塞检测的难题,提出了一种基于主动红外检测技术和热像图分割技术的砂轮堵塞检测方法。分别运用阈值分割、边缘检测和区域生长三种方法分割热像图,提取了砂轮堵塞量和状态的特征。实验结果表明:阈值分割法提取的... 针对磨削加工中的砂轮堵塞检测的难题,提出了一种基于主动红外检测技术和热像图分割技术的砂轮堵塞检测方法。分别运用阈值分割、边缘检测和区域生长三种方法分割热像图,提取了砂轮堵塞量和状态的特征。实验结果表明:阈值分割法提取的砂轮堵塞磨屑的分布出现"偏聚"现象,堵塞特征受选取的阈值影响较大;边缘检测法克服了"偏聚"现象,但仍存在边缘不完整、定位不精确等问题;而基于梯度阈值过滤的区域生长分割法检测结果更客观和准确。把基于梯度阈值过滤的区域生长分割法的砂轮堵塞红外检测结果与显微照相法的砂轮堵塞检测结果进行了分析比较,结果表明基于梯度阈值过滤的区域生长分割的红外检测法可以实现对砂轮堵塞面积和状态的定量检测。 展开更多
关键词 砂轮堵塞 红外检测 热像图 图像分割 区域生长分割法
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凸轮轴数控虚拟磨削技术的研究 被引量：1
11
作者 邓朝晖 曾建雄 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2010年第1期55-59,共5页
在分析凸轮轴数控虚拟磨削技术特点基础上,综合运用数据库技术、计算机编译技术和图像处理技术,开发了基于编译原理和图像处理的凸轮轴数控虚拟磨削系统,该系统采用链码跟踪方法记录图像的边缘轮廓,同时,结合数控加工的特点,通过误差分... 在分析凸轮轴数控虚拟磨削技术特点基础上,综合运用数据库技术、计算机编译技术和图像处理技术,开发了基于编译原理和图像处理的凸轮轴数控虚拟磨削系统,该系统采用链码跟踪方法记录图像的边缘轮廓,同时,结合数控加工的特点,通过误差分析实现凸轮轴轮廓的自动补偿。给出系统开发关键技术的实现方法。实例表明,该系统为实现凸轮轴数控虚拟磨削提供了条件。 展开更多
关键词 凸轮轴 虚拟磨削 编译原理
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超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展 被引量：3
12
作者 周仁宸 王哲 +4 位作者 杨远航 吉佛涛 刘坚 李蓉 尹韶辉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期1-21,共21页
在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆... 在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆的高精度、高效率、高稳定性无损伤表面加工。重点综述了目前超精密晶圆减薄砂轮的研究进展,在磨料方面综述了机械磨削用硬磨料和化学机械磨削用软磨料的研究现状,包括泡沫化金刚石、金刚石团聚磨料、表面微刃金刚石的制备方法及磨削性能,同时归纳总结了软磨料砂轮的化学机械磨削机理及材料去除模型。在结合剂研究方面,综述了金属、树脂和陶瓷3种结合剂的优缺点,以及在晶圆减薄砂轮上的应用,重点综述了目前在改善陶瓷结合剂的本征力学强度及与金刚石之间的界面润湿性方面的研究进展。在晶圆减薄超细粒度金刚石砂轮制备方面,由于微纳金刚石的表面能较大,采用传统工艺制备砂轮会导致磨料发生团聚,影响加工质量。在此基础上,总结论述了溶胶–凝胶法、高分子网络凝胶法、电泳沉积法、凝胶注模法、结构化砂轮等新型工艺方法在超细粒度砂轮制备方面的应用研究,同时还综述了目前不同的晶圆减薄工艺及超精密减薄设备的研究进展,并指出未来半导体加工工具及装备的发展方向。 展开更多
关键词 减薄砂轮 减薄机 表面处理 结合剂 超细粒度金刚石 制备技术
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凸轮轴数控虚拟磨削技术研究
13
作者 邓朝晖 曾建雄 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第10期37-41,共5页
在分析凸轮轴数控虚拟磨削技术特点基础上,综合运用数据库技术、计算机编译技术和图像处理技术,开发了基于编译原理和图像处理的凸轮轴数控虚拟磨削系统。该系统采用链码跟踪方法记录图像的边缘轮廓,同时,结合数控加工的特点,通过误差... 在分析凸轮轴数控虚拟磨削技术特点基础上,综合运用数据库技术、计算机编译技术和图像处理技术,开发了基于编译原理和图像处理的凸轮轴数控虚拟磨削系统。该系统采用链码跟踪方法记录图像的边缘轮廓,同时,结合数控加工的特点,通过误差分析实现凸轮轴轮廓的自动补偿。给出了系统开发关键技术的实现方法。实例表明,该系统为实现凸轮轴数控虚拟磨削提供了条件。 展开更多
关键词 凸轮轴 虚拟磨削 编译原理
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粗粒度金刚石砂轮的放电赋能磨削修整试验研究
14
作者 戴隆州 毛聪 +1 位作者 张明军 陈根余 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期1762-1773,共12页
针对粗粒度金刚石砂轮磨粒出刃形貌难以控制的问题,提出了放电赋能磨削修整技术,旨在实现出刃磨粒的等齐性。系统研究了该复合修整技术的材料去除机理,建立脉冲放电传热数值模型,以金刚石热软化深度作为磨削深度,最大限度发挥放电赋能... 针对粗粒度金刚石砂轮磨粒出刃形貌难以控制的问题,提出了放电赋能磨削修整技术,旨在实现出刃磨粒的等齐性。系统研究了该复合修整技术的材料去除机理,建立脉冲放电传热数值模型,以金刚石热软化深度作为磨削深度,最大限度发挥放电赋能磨削的修整优势。探究了机床运动参数(待修砂轮转速、刀具轮转速、进给速度、磨削深度)对砂轮修整精度和刀具轮损耗深度的影响规律,并优化了工艺参数以实现粗粒度砂轮的高效高精修整。磨粒粒度为180目的金刚石砂轮修整后轮廓误差PV值为11.97μm。修整砂轮表面形貌检测结果表明,放电赋能磨削修整可将磨粒部分去除,使得砂轮表面磨粒具有较好的等齐性。磨削的碳化硅陶瓷工件表面粗糙度达412 nm,表明了修整砂轮具有优异的磨削性能。 展开更多
关键词 放电赋能磨削 金刚石砂轮 砂轮修整 轮廓精度
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数据仓库技术在磨削数据共享平台中的应用研究
15
作者 张新玲 盛晓敏 +2 位作者 陈涛 邓朝辉 张梦华 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2009年第10期22-25,87,共5页
针对磨削数据共享平台中海量数据管理及数据共享程度问题,提出将数据仓库(Data Warehouse,DW)技术应用到磨削数据共享平台中的方法,论述磨削数据共享平台概况和DW的基本概念,开发用维度建模方法创建的磨削数据仓库模型,并结合ADOMD.NET(... 针对磨削数据共享平台中海量数据管理及数据共享程度问题,提出将数据仓库(Data Warehouse,DW)技术应用到磨削数据共享平台中的方法,论述磨削数据共享平台概况和DW的基本概念,开发用维度建模方法创建的磨削数据仓库模型,并结合ADOMD.NET(ActiveX Data Object Multidimensional.NET)技术和多维表达式(Multidimensional Expression,MDX),实现DW与Web的连接,可为用户提供基于Internet对磨削数据分析和磨削加工中的决策支持服务。数据仓库的应用,为提高数据的共享度,发挥数据的最大价值起到重要作用。 展开更多
关键词 磨削 数据共享平台 数据仓库 ADOMD.NET技术 数据挖掘
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Halbach阵列的磁流变化学抛光工艺研究
16
作者 徐泽超 尹韶辉 +1 位作者 王哲 马双琪 《表面技术》 北大核心 2025年第14期141-150,共10页
目的 提高磁流变化学抛光(MRFC)方法加工碳化硅的抛光效率与效果。方法 通过使用电磁场有限元分析软件Ansys Maxwell对Halbach阵列励磁装置进行仿真分析,磁感应强度B>400 mT的区域大致覆盖整个励磁装置上方,励磁面积达到18 000 mm^(... 目的 提高磁流变化学抛光(MRFC)方法加工碳化硅的抛光效率与效果。方法 通过使用电磁场有限元分析软件Ansys Maxwell对Halbach阵列励磁装置进行仿真分析,磁感应强度B>400 mT的区域大致覆盖整个励磁装置上方,励磁面积达到18 000 mm^(2),验证其能满足磁流变抛光的要求。采用正交实验方法对工艺参数进行优化,结合响应函数模型与极差分析获取最佳工艺参数;进行单因素实验,研究磨粒种类、磨粒粒径、混合磨粒对碳化硅磁流变化学抛光加工性能的影响,并测量加工面粗糙度以分析抛光效果。结果 最佳的工艺参数组合为工件转速200 r/min,抛光盘转速15 r/min,励磁间隙13 mm,工作间隙1 mm。金刚石磨粒抛光60 min后,表面粗糙度Ra达到1.6 nm,优于其他种类磨粒。金刚石磨粒粒径降低能够提升抛光效果,加工面粗糙度随磨粒粒径降低而降低,但磨粒粒径降低至0.5 um以下时,粗糙度变化不再符合此规律。复合磨粒抛光液在0.4比例下可获得更优异的抛光效果,可获得表面粗糙度Ra为0.45 nm的超光滑表面。结论 应用Halbach阵列励磁的磁流变抛光方法加工碳化硅材料,能够获得亚纳米级表面粗糙度。 展开更多
关键词 碳化硅 磁流变化学抛光 HALBACH阵列 表面粗糙度 金刚石磨粒
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多轴联动超精密车削的对心误差补偿技术
17
作者 袁家斌 郭曦鹏 +1 位作者 李蓉 尹韶辉 《中国机械工程》 北大核心 2025年第7期1397-1406,共10页
针对非球面加工面形误差无法有效补偿的问题,提出了XZB三轴联动超精密加工方法。分析了车刀对心误差、车刀半径误差、刀尖对B轴回转中心误差对工件面形精度的影响,并提出相应的补偿方法。开展了镀镍凸非球面工件车削加工实验。采用XZB... 针对非球面加工面形误差无法有效补偿的问题,提出了XZB三轴联动超精密加工方法。分析了车刀对心误差、车刀半径误差、刀尖对B轴回转中心误差对工件面形精度的影响,并提出相应的补偿方法。开展了镀镍凸非球面工件车削加工实验。采用XZB三轴联动车削加工方式后,工件面形误差由0.6774μm降为0.0749μm。实验结果表明,相较于XZ两轴联动车削加工方式,XZB三轴联动车削加工能有效提高小口径非球面的面形精度和表面质量。 展开更多
关键词 多轴联动 超精加工 面形误差 误差补偿
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超高速磨削技术的发展及其主要相关技术 被引量：32
18
作者 陆名彰 熊万里 +3 位作者 黄红武 盛晓敏 吴耀 栾景美 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期44-48,54,共6页
阐述了超高速磨削的机理与特点、介绍了其技术现状及发展趋势 ,分析了超高速磨削机理与工艺、超高速磨削用主轴单元制造技术、超高速磨削砂轮、磨削液及供液系统等主要相关技术 .
关键词 超高速磨削 高速加工 磨削机理 主轴单元 超高速磨削砂轮 磨削液
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陶瓷磨削材料去除机理的研究进展 被引量：29
19
作者 邓朝晖 张璧 +1 位作者 孙宗禹 周志雄 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第18期1608-1611,共4页
磨削是目前工程陶瓷的主要加工方法 ,为了开发新的高效、低成本、低损伤加工陶瓷的方法 ,需要更深入地揭示其加工机理。介绍了陶瓷磨削的材料去除机理方面的研究进展 ,就其进行了一定的讨论 ,并得出相关的结论。
关键词 陶瓷磨削 材料去除机理 研究进展 脆性断裂 塑性变形 延性域磨削
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磁流变光整加工技术研究进展 被引量：20
20
作者 陈逢军 尹韶辉 +1 位作者 余剑武 徐志强 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第19期2382-2392,共11页
介绍了近年来磁流变光整加工(MRF)技术的研究状况及最新进展,对磁流变光整加工机理研究、加工机床与相关装置的开发、加工工艺试验研究、加工算法与模型研究、磁流变液流体开发与应用等五个方面进行了详细的综述与分析。最后探讨了磁流... 介绍了近年来磁流变光整加工(MRF)技术的研究状况及最新进展,对磁流变光整加工机理研究、加工机床与相关装置的开发、加工工艺试验研究、加工算法与模型研究、磁流变液流体开发与应用等五个方面进行了详细的综述与分析。最后探讨了磁流变光整加工中的关键技术与存在的问题,并对其发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 磁流变光整加工(MRF) 磁流变液 光学制造 超精密加工
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