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双E型硅加速度传感器的研制被引量：4: 1; 作者唐世洪张克梅《传感技术学报》 CAS CSCD 2001年第4期340-343,共4页; 本文在简要介绍了 ,利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的 ,双 E非整体弹性膜式硅芯片结构的同时 ,又较详细地报告了 ,用此芯片封装成的硅加速度敏感元件及硅加速度传感器结构。; 关键词各向异性腐蚀双E型硅弹性膜硅加速度传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

双E形结构硅压力传感器的研制被引量：2: 2; 作者唐世洪《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期26-27,共2页; 介绍利用硅的各向异性腐蚀工艺腐蚀出的一种双E形结构非整体结构弹性膜硅芯片及用此芯片封装成的压力敏感元件。借助于这种硅芯片与不同厚度的封孔膜结合。; 关键词各向异性腐蚀双E形结构硅弹性膜压力传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

新颖型非整体膜结构硅加速度计的研制: 3; 作者唐世洪邓永和张克梅《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第5期50-51,共2页; 简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片 ,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件。; 关键词研制各向异性腐蚀非整体膜硅加速度计; 在线阅读下载PDF 职称材料