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电子级氯气中痕量金属杂质的捕集与测定
被引量：
2
1
作者
夏致远
侯建鑫
+7 位作者
杨着
曾靖淞
刘悦
杨成
冯晨
曾远
万富强
贺兆波
《应用化工》
CSCD
北大核心
2024年第12期2919-2923,2929,共6页
电子级氯气中痕量金属杂质检测过程存在氯气易挥发,毒性大,不易捕集等难点。研究提出了一种新型的金属杂质的捕集方法,通过构建参比、多级气体吸收、气液分离、金属离子反渗透和废气吸收等系统,利用高纯氮进行置换与吹扫,有效解决了金...
电子级氯气中痕量金属杂质检测过程存在氯气易挥发,毒性大,不易捕集等难点。研究提出了一种新型的金属杂质的捕集方法,通过构建参比、多级气体吸收、气液分离、金属离子反渗透和废气吸收等系统,利用高纯氮进行置换与吹扫,有效解决了金属杂质的捕集难点。采用电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)对捕集后的金属离子进行检测,实现了21种痕量金属杂质的准确测定。结果表明,方法检出限为0.5~8.13 ng/L,各元素的相对标准偏差RSD为3.0%~6.6%,加标回收率为81%~106%。该方法具有捕集效率高、金属杂质干扰小、准确度及精密度高和重现性好的优点。其他腐蚀性电子级气体中痕量金属杂质的捕集与测定均可参照使用。
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关键词
电子级氯气
金属离子
高效捕集
ICP-MS
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职称材料
题名
电子级氯气中痕量金属杂质的捕集与测定
被引量：
2
1
作者
夏致远
侯建鑫
杨着
曾靖淞
刘悦
杨成
冯晨
曾远
万富强
贺兆波
机构
湖北兴福电子材料股份有限公司
湖北
三峡实验室
出处
《应用化工》
CSCD
北大核心
2024年第12期2919-2923,2929,共6页
基金
湖北省自然科学基金项目(2024AFD140)。
文摘
电子级氯气中痕量金属杂质检测过程存在氯气易挥发,毒性大,不易捕集等难点。研究提出了一种新型的金属杂质的捕集方法,通过构建参比、多级气体吸收、气液分离、金属离子反渗透和废气吸收等系统,利用高纯氮进行置换与吹扫,有效解决了金属杂质的捕集难点。采用电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)对捕集后的金属离子进行检测,实现了21种痕量金属杂质的准确测定。结果表明,方法检出限为0.5~8.13 ng/L,各元素的相对标准偏差RSD为3.0%~6.6%,加标回收率为81%~106%。该方法具有捕集效率高、金属杂质干扰小、准确度及精密度高和重现性好的优点。其他腐蚀性电子级气体中痕量金属杂质的捕集与测定均可参照使用。
关键词
电子级氯气
金属离子
高效捕集
ICP-MS
Keywords
electronic-grade chlorine gas
metal ions
efficient capture
ICP-MS
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电子级氯气中痕量金属杂质的捕集与测定
夏致远
侯建鑫
杨着
曾靖淞
刘悦
杨成
冯晨
曾远
万富强
贺兆波
《应用化工》
CSCD
北大核心
2024
2
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