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湿电子化学品的微粒子控制与量测
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作者 彭飞 杨洁 王雪梅 《现代盐化工》 2025年第1期38-39,116,共3页
随着国内半导体行业的快速发展,半导体行业上游的湿电子化学品项目如雨后春笋般快速兴起。由于半导体行业的技术越来越先进,对湿电子化学品的品质要求也越来越高。在湿电子化学品行业中,金属阳离子、微粒子、阴离子等是最关键的几个指标... 随着国内半导体行业的快速发展,半导体行业上游的湿电子化学品项目如雨后春笋般快速兴起。由于半导体行业的技术越来越先进,对湿电子化学品的品质要求也越来越高。在湿电子化学品行业中,金属阳离子、微粒子、阴离子等是最关键的几个指标,其中就微粒子的控制与量测进行了探讨。 展开更多
关键词 半导体 湿电子化学品 微粒子
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电子级四甲基硅烷的检测方法 被引量:1
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作者 谭小龙 李琴 +6 位作者 万富强 侯建鑫 张刚 贺兆波 李少平 叶瑞 杜林 《中国标准化》 2024年第S1期219-225,共7页
电子级四甲基硅烷(Tetramethylsilane,TMS)因其独特的化学性质,在半导体器件的化学气相沉积(CVD)等过程中发挥着关键作用。目前电子级四甲基硅烷在国际和国内都没有明确的标准可以参考。企业只能根据客户需求结合其他硅烷类产品的国标... 电子级四甲基硅烷(Tetramethylsilane,TMS)因其独特的化学性质,在半导体器件的化学气相沉积(CVD)等过程中发挥着关键作用。目前电子级四甲基硅烷在国际和国内都没有明确的标准可以参考。企业只能根据客户需求结合其他硅烷类产品的国标来制定质量标准。TMS不同生产阶段侧重的检测指标不同,半导体领域客户最关心的检测指标就是纯度和金属杂质。纯度通常采用气相色谱法,而金属杂质则通过ICP-OES和ICP-MS方法进行检测。外观采用目视法、水分采用卡尔费休库伦法、颗粒度采用激光粒度仪进行检测。 展开更多
关键词 电子级四甲基硅烷 检测方法 纯度检测 气相色谱 金属杂质检测 ICP-OES ICP-MS 外观 水分 颗粒度
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湿电子化学品企业质量管理体系建设研究 被引量:1
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作者 王水秀 吕贺 +6 位作者 刘文清 陈妙丹 孙藜珉 李少平 叶瑞 黄如林 刘兴荣 《中国标准化》 2024年第S1期204-208,共5页
湿电子化学品是显示面板、半导体、光伏等领域不可缺少的关键性材料之一。湿电子化学品的质量优劣,不但直接影响电子产品的质量,而且对微电子制造技术的产业化有重大影响。因此,下游客户对供应商执行严格的准入机制,这对供应商的质量管... 湿电子化学品是显示面板、半导体、光伏等领域不可缺少的关键性材料之一。湿电子化学品的质量优劣,不但直接影响电子产品的质量,而且对微电子制造技术的产业化有重大影响。因此,下游客户对供应商执行严格的准入机制,这对供应商的质量管理体系提出了极高的要求。本文从质量体系建设标准、质量体系评价模式、质量管理数字化3个方面分别介绍了湿电子化学品企业进行质量管理体系建设的方法及要点,以达到实现全面质量管理及顾客持续满意的效果。最后,对湿电子化学品企业未来质量管理体系建设提出了总结和展望。 展开更多
关键词 湿电子化学品 质量管理体系 内部审核 顾客特定要求 质量管理信息化
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湿电子化学品中外质量评价标准体系发展概述
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作者 武昊冉 张庭 +4 位作者 贺兆波 李少平 叶瑞 杜林 蔡贵婷 《中国标准化》 2024年第S1期209-213,共5页
湿电子化学品是电子信息产业的关键材料,其质量直接影响到下游电子产品的性能和可靠性[1]。然而,由于湿电子化学品品类繁多、组成复杂、应用环境多样,给质量评价与控制带来诸多挑战。本文在梳理国内外湿电子化学品标准化现状的基础上,... 湿电子化学品是电子信息产业的关键材料,其质量直接影响到下游电子产品的性能和可靠性[1]。然而,由于湿电子化学品品类繁多、组成复杂、应用环境多样,给质量评价与控制带来诸多挑战。本文在梳理国内外湿电子化学品标准化现状的基础上,分析了我国该领域标准体系存在的问题和面临的挑战,提出了完善湿电子化学品标准体系的对策建议。研究认为,应从加强顶层设计、提升标准水平、强化实施监管、加强人才队伍建设等方面着力,推动湿电子化学品标准体系建设再上新台阶。 展开更多
关键词 湿电子化学品 新材料 质量评价 标准体系 对策建议
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聚羧酸铵盐类GS652D表面活性剂对氧化铈抛光液的分散稳定性研究 被引量:2
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作者 邹哲敏 常希文 +4 位作者 罗月 贺兆波 李少平 叶瑞 杜林 《中国标准化》 2024年第S1期249-253,共5页
氧化铈纳米粒子是一种抛光性能优异的磨料,但由于其粒径小,表面能大,在抛光液中极易团聚沉降,使得抛光液的分散稳定性差。为了解决这一问题,本文在氧化铈抛光液中引入了聚羧酸铵盐类GS652D表面活性剂,并探究了其含量对纳米氧化铈分散性... 氧化铈纳米粒子是一种抛光性能优异的磨料,但由于其粒径小,表面能大,在抛光液中极易团聚沉降,使得抛光液的分散稳定性差。为了解决这一问题,本文在氧化铈抛光液中引入了聚羧酸铵盐类GS652D表面活性剂,并探究了其含量对纳米氧化铈分散性的影响。结果表明,GS652D能显著提高纳米氧化铈在抛光液中的分散稳定性;在质量分数为1%氧化铈溶液中加入0.1%GS652D,分散液的平均粒径在180.4nm,Zeta电位绝对值为35.78mV。同时,放置48h后的分散液未出现分层现象,并且粒径略有减小。通过抛光实验可知,GS652D不仅对氧化铈的抛光性能没有影响,同时会提高碳化硅晶圆抛光后的表面质量。本实验对氧化铈抛光液的开发与应用具有指导意义。 展开更多
关键词 氧化铈粉体 分散性 表面活性剂 抛光液
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双重预防机制在化工企业中的应用研究
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作者 彭飞 王雪梅 《产品可靠性报告》 2024年第9期45-46,共2页
化工企业在进行生产经营时,涉及许多危险因素和意外因素,一旦发生危险,往往后果极为严重。因此,为了控制相关风险,企业需要持续进行风险管理,将风险分级管控和隐患排查治理的双重预防机制纳入风险管理的工作中。本文对化工企业的双重预... 化工企业在进行生产经营时,涉及许多危险因素和意外因素,一旦发生危险,往往后果极为严重。因此,为了控制相关风险,企业需要持续进行风险管理,将风险分级管控和隐患排查治理的双重预防机制纳入风险管理的工作中。本文对化工企业的双重预防机制进行了具体分析,并探讨了将双重预防机制融入化工企业的日常安全管理体系的建设方式,重点落实安全生产的主体责任,有效控制安全风险。 展开更多
关键词 化工企业 双重预防机制 安全管理
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低速柴油机推进轴系频域稳态扭转振动分析
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作者 邹磊 肖能齐 +3 位作者 郭岚峰 逄显娟 张云程 王宏伟 《造船技术》 2023年第4期33-38,共6页
以载重10000 t低速柴油机推进轴系为研究对象,创建其当量系统模型。基于系统矩阵法对推进轴系进行自由振动分析,求得扭转振动固有频率和振型。研究柴油机在全转速下的气体和往复惯性激励力矩,针对推进轴系在柴油机和螺旋桨共同激励下的... 以载重10000 t低速柴油机推进轴系为研究对象,创建其当量系统模型。基于系统矩阵法对推进轴系进行自由振动分析,求得扭转振动固有频率和振型。研究柴油机在全转速下的气体和往复惯性激励力矩,针对推进轴系在柴油机和螺旋桨共同激励下的频域稳态扭转振动响应特性进行计算,求得推进轴系扭转振动的主谐次、共振转速点和推进轴系各部件的应力值。结果表明,推进轴系在低阶频率振动时气缸和中间轴振幅较大,推进轴系应力远小于材料的屈服强度,船舶能够安全稳定航行,同时为推进轴系时域瞬态扭转振动研究打下基础。 展开更多
关键词 低速柴油机 推进轴系 频域稳态 扭转振动 强迫振动
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