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电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计
被引量：
7
1
作者
赵彦辉
郎文昌
+2 位作者
肖金泉
宫骏
孙超
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期387-391,共5页
电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能。为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧斑的运动。通过有限元模拟磁场...
电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能。为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧斑的运动。通过有限元模拟磁场的分布,对旋转横向磁场控制的电弧离子镀弧源进行了优化设计。并根据方案制作了旋转磁场发生装置及其电源,使该弧源的旋转磁场具有多模式可调频调幅的功能,用以改善弧斑的放电形式,提高靶材刻蚀均匀性和靶材利用率,减少靶材大颗粒的发射,用以制备高质量的薄膜以及功能薄膜,以拓展电弧离子镀的应用范围。
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关键词
电弧离子镀
大颗粒污染
旋转横向磁场
弧源设计
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职称材料
多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析
被引量：
5
2
作者
郎文昌
高斌
+3 位作者
杜昊
肖金泉
谢婷婷
王向红
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期662-670,共9页
电弧离子镀工艺中,弧斑的放电形式、运动速率、运动方式的控制对于减少以至消除大颗粒的发射至关重要。本文采用自主研发的机械式旋转磁控弧源,围绕三种不同模式的旋转磁场下弧斑的放电行为及规律进行了研究,并从弧斑放电的物理机制出发...
电弧离子镀工艺中,弧斑的放电形式、运动速率、运动方式的控制对于减少以至消除大颗粒的发射至关重要。本文采用自主研发的机械式旋转磁控弧源,围绕三种不同模式的旋转磁场下弧斑的放电行为及规律进行了研究,并从弧斑放电的物理机制出发,分析讨论了不同模式的旋转磁场对阴极斑点运动的影响机理。研究结果表明,多模式旋转磁场可以有效提高弧斑的运动速度、扩大放电面积、降低放电功率密度、减少大颗粒的发射,同时还能够大幅度提高靶材的利用率,拓展电弧离子镀的应用。
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关键词
机械式旋转磁控弧源
旋转不对称偏心轴向磁场
旋转偏心横向磁场
旋转偏心四极对顶磁场
旋转偏心拱形磁场
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职称材料
多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计
被引量：
1
3
作者
郎文昌
赵战锋
+3 位作者
杜昊
高斌
王向红
程岐生
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期913-918,共6页
采用有限元模拟对多模式交变耦合磁场进行了优化设计,介绍了多波形电磁线圈控制电源的原理,并对按此原理制作的电源进行了测试,分析讨论了不同波形励磁电流条件下磁场对于弧斑运动的影响,提出了一种多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧...
采用有限元模拟对多模式交变耦合磁场进行了优化设计,介绍了多波形电磁线圈控制电源的原理,并对按此原理制作的电源进行了测试,分析讨论了不同波形励磁电流条件下磁场对于弧斑运动的影响,提出了一种多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计原理及方案。研究表明:轴对称发散磁场有推动弧斑向外扩展的趋势,轴对称拱形磁场将弧斑约束在固定的轨道,反极性聚焦导引磁场有约束弧斑在靶材中心的趋势,多模式反极性动态聚焦导引磁场与轴对称发散磁场或者拱形磁场叠加,可形成动态的拱形耦合磁场,动态的控制弧斑运动,改善弧斑放电状态,减少颗粒发射;在聚焦磁场引导下,等离子体稳定的传输,同时可以增强等离子体的粒子碰撞机率,提高离化率和离子密度。反极性动态聚焦导引磁场线圈由多波形电磁线圈控制电源驱动,可输出频率、幅值单独可调的直流及直流偏置的三角波、矩形波、馒头波、正弦波及其他形式的交变电流,实现对弧斑的多种模式控制。
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关键词
多模式交变耦合磁场
离子镀弧源
轴对称发散磁场
多模式反极性动态聚焦导引磁场
动态拱形耦合磁场
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职称材料
题名
电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计
被引量：
7
1
作者
赵彦辉
郎文昌
肖金泉
宫骏
孙超
机构
中国科
学院
金属研究所
材料
表面工程研究部
温州职业技术学院材料成型工艺与模具技术重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期387-391,共5页
基金
国家自然科学基金项目(No.51171197)
文摘
电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能。为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧斑的运动。通过有限元模拟磁场的分布,对旋转横向磁场控制的电弧离子镀弧源进行了优化设计。并根据方案制作了旋转磁场发生装置及其电源,使该弧源的旋转磁场具有多模式可调频调幅的功能,用以改善弧斑的放电形式,提高靶材刻蚀均匀性和靶材利用率,减少靶材大颗粒的发射,用以制备高质量的薄膜以及功能薄膜,以拓展电弧离子镀的应用范围。
关键词
电弧离子镀
大颗粒污染
旋转横向磁场
弧源设计
Keywords
Arc ion plating, Macroparticle pollution, Rotating transverse magnetic field, Arc source design
分类号
TB43 [一般工业技术]
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析
被引量：
5
2
作者
郎文昌
高斌
杜昊
肖金泉
谢婷婷
王向红
机构
温州职业技术学院材料成型工艺与模具技术重点实验室
中国科
学院
金属研究所
材料
表面工程研究部
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期662-670,共9页
基金
浙江省自然科学基金项目(LQ12E01003)
浙江省科技厅公益计划项目(2012C21099)
文摘
电弧离子镀工艺中,弧斑的放电形式、运动速率、运动方式的控制对于减少以至消除大颗粒的发射至关重要。本文采用自主研发的机械式旋转磁控弧源,围绕三种不同模式的旋转磁场下弧斑的放电行为及规律进行了研究,并从弧斑放电的物理机制出发,分析讨论了不同模式的旋转磁场对阴极斑点运动的影响机理。研究结果表明,多模式旋转磁场可以有效提高弧斑的运动速度、扩大放电面积、降低放电功率密度、减少大颗粒的发射,同时还能够大幅度提高靶材的利用率,拓展电弧离子镀的应用。
关键词
机械式旋转磁控弧源
旋转不对称偏心轴向磁场
旋转偏心横向磁场
旋转偏心四极对顶磁场
旋转偏心拱形磁场
Keywords
Mechanical rotating magnetic field assisted arc source, Rotating asymmetric and offset axial magnetic field, Rotating offset transverse magnetic field, Rotating offset quadrupole （four poles） antipodal mag-netic field, Rotating offset arched magnetic field
分类号
TB43 [一般工业技术]
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计
被引量：
1
3
作者
郎文昌
赵战锋
杜昊
高斌
王向红
程岐生
机构
温州职业技术学院材料成型工艺与模具技术重点实验室
中国科
学院
金属研究所
材料
表面工程研究部
中山市昊源电器设备有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期913-918,共6页
基金
浙江省自然科学基金项目(LQ12E01003)
浙江省科技厅公益计划项目(2012C21099)
文摘
采用有限元模拟对多模式交变耦合磁场进行了优化设计,介绍了多波形电磁线圈控制电源的原理,并对按此原理制作的电源进行了测试,分析讨论了不同波形励磁电流条件下磁场对于弧斑运动的影响,提出了一种多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计原理及方案。研究表明:轴对称发散磁场有推动弧斑向外扩展的趋势,轴对称拱形磁场将弧斑约束在固定的轨道,反极性聚焦导引磁场有约束弧斑在靶材中心的趋势,多模式反极性动态聚焦导引磁场与轴对称发散磁场或者拱形磁场叠加,可形成动态的拱形耦合磁场,动态的控制弧斑运动,改善弧斑放电状态,减少颗粒发射;在聚焦磁场引导下,等离子体稳定的传输,同时可以增强等离子体的粒子碰撞机率,提高离化率和离子密度。反极性动态聚焦导引磁场线圈由多波形电磁线圈控制电源驱动,可输出频率、幅值单独可调的直流及直流偏置的三角波、矩形波、馒头波、正弦波及其他形式的交变电流,实现对弧斑的多种模式控制。
关键词
多模式交变耦合磁场
离子镀弧源
轴对称发散磁场
多模式反极性动态聚焦导引磁场
动态拱形耦合磁场
Keywords
Multi-mode AC magnetic field
Arc source
Axial-symmetric diverging magnetic field
Multi-mode reversed polarity dynamic focusing and guiding magnetic field, Dynamic coupling arched magnetic field
分类号
TB43 [一般工业技术]
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计
赵彦辉
郎文昌
肖金泉
宫骏
孙超
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析
郎文昌
高斌
杜昊
肖金泉
谢婷婷
王向红
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计
郎文昌
赵战锋
杜昊
高斌
王向红
程岐生
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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