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基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究
被引量：
6
1
作者
佘东生
杨一柳
+2 位作者
魏泽飞
王晓东
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期1892-1900,共9页
为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数，本文提出了一种以高压电容空气放电为手段，以激波冲击为特征的底座激励方法。阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和具体实现方式，并分析了放电电容、回路电阻、回路电感等...
为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数，本文提出了一种以高压电容空气放电为手段，以激波冲击为特征的底座激励方法。阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和具体实现方式，并分析了放电电容、回路电阻、回路电感等参数与激振装置激励能力的关系。设计并研制了可应用在室温环境中的MEMS微结构动态测试装置，并在此基础上研制了高温环境微结构动态测试系统，系统中使用基于激波的底座冲击激励装置对微结构进行激励，采用激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应信号。分别测试了两种尺寸的单晶硅微悬臂梁在室温-500％温度环境下的动态特性，结果表明微悬梁的谐振频率随温度的升高而减小，并呈近似线性关系，与其他研究人员的研究结果有很好的一致性，验证了基于激波的底座冲击激励方法的可行性。
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关键词
MEMS动态特性测试
激波
底座激励
微悬臂梁
高温环境
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职称材料
T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究
被引量：
2
2
作者
佘东生
杨一柳
+2 位作者
李琨
王晓东
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期1470-1478,共9页
为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的温度系数模型。随后搭建了带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,采用OFV534激光多普勒测...
为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的温度系数模型。随后搭建了带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,采用OFV534激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应,采用基于压电陶瓷的底座激励方法实现对微结构的激励,在激励装置中采用了一个可动机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题。最后,使用带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,测试了一种典型T型单晶硅微结构的动态特性,测试温度范围为室温~300℃,得到硅微悬臂梁的固有频率温度系数约为-2.71×10-5/℃,与理论分析的结果具有很好的一致性。
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关键词
MEMS测试
T型微悬臂梁
高温环境
固有频率温度系数
底座激励
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职称材料
加强农村职业教育信息化建设初探
被引量：
1
3
作者
汪敬贤
韩丽艳
《河北农业科学》
2008年第4期147-147,149,共2页
阐述了加强农村职业教育信息化建设是农村职业教育发展的必然趋势;提出了加强农村职业教育信息化建设使农民可接受到各类实用性很强的教育的策略;阐明了突破传统职教观,办与高校合作的大教育的全新职教理念。
关键词
职业教育
信息化
产业化
升级
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职称材料
题名
基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究
被引量：
6
1
作者
佘东生
杨一柳
魏泽飞
王晓东
王立鼎
机构
渤海
大学
工学院
渤海大学计算机基础教研部
大连理工
大学
机械工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期1892-1900,共9页
基金
国家自然科学基金(51305191)项目资助
文摘
为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数，本文提出了一种以高压电容空气放电为手段，以激波冲击为特征的底座激励方法。阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和具体实现方式，并分析了放电电容、回路电阻、回路电感等参数与激振装置激励能力的关系。设计并研制了可应用在室温环境中的MEMS微结构动态测试装置，并在此基础上研制了高温环境微结构动态测试系统，系统中使用基于激波的底座冲击激励装置对微结构进行激励，采用激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应信号。分别测试了两种尺寸的单晶硅微悬臂梁在室温-500％温度环境下的动态特性，结果表明微悬梁的谐振频率随温度的升高而减小，并呈近似线性关系，与其他研究人员的研究结果有很好的一致性，验证了基于激波的底座冲击激励方法的可行性。
关键词
MEMS动态特性测试
激波
底座激励
微悬臂梁
高温环境
Keywords
MEMS dynamic characteristic measurement
shock wave
base excitation
microcantilever
high temperature environment
分类号
TH825 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究
被引量：
2
2
作者
佘东生
杨一柳
李琨
王晓东
王立鼎
机构
渤海
大学
工学院
渤海大学计算机基础教研部
大连理工
大学
机械工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期1470-1478,共9页
基金
国家自然科学基金(51305191)项目资助
文摘
为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的温度系数模型。随后搭建了带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,采用OFV534激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应,采用基于压电陶瓷的底座激励方法实现对微结构的激励,在激励装置中采用了一个可动机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题。最后,使用带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,测试了一种典型T型单晶硅微结构的动态特性,测试温度范围为室温~300℃,得到硅微悬臂梁的固有频率温度系数约为-2.71×10-5/℃,与理论分析的结果具有很好的一致性。
关键词
MEMS测试
T型微悬臂梁
高温环境
固有频率温度系数
底座激励
Keywords
MEMS excitation t
T-shaped microcantilever
high temperature environment
natural frequency temperature coefficient
base excitation
分类号
TH825 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
加强农村职业教育信息化建设初探
被引量：
1
3
作者
汪敬贤
韩丽艳
机构
辽宁锦州
渤海
大学
计算机
公共
基础
教研
部
出处
《河北农业科学》
2008年第4期147-147,149,共2页
基金
辽宁省教育厅人文社会科学项目项目(2006B007)
文摘
阐述了加强农村职业教育信息化建设是农村职业教育发展的必然趋势;提出了加强农村职业教育信息化建设使农民可接受到各类实用性很强的教育的策略;阐明了突破传统职教观,办与高校合作的大教育的全新职教理念。
关键词
职业教育
信息化
产业化
升级
Keywords
Profession education
Information
Industrialization
Upgrade
分类号
G71-45 [文化科学—职业技术教育学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究
佘东生
杨一柳
魏泽飞
王晓东
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究
佘东生
杨一柳
李琨
王晓东
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
加强农村职业教育信息化建设初探
汪敬贤
韩丽艳
《河北农业科学》
2008
1
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职称材料
已选择
0
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