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题名基于高精度预对准的硅片传输控制系统
被引量：4
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作者
宋亦旭
杨泽红
李世昌
赵雁南
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机构
清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室信息科学与技术国家实验室
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出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第10期116-120,共5页
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基金
国家863高科技项目
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文摘
高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对预对准方法的有效性进行了试验验证。然后,给出了硅片传输系统的构成和控制流程,并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的重定位环节进行了简要介绍。最后,给出了输片重复精度的试验结果。试验结果表明,在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度。
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关键词
预对准
硅片传输
控制系统
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Keywords
prealigner
wafer transport
control system
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分类号
TP24
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN2
[电子电信—物理电子学]
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题名面向用户行为的页面质量评估
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作者
王晓光
刘奕群
金奕江
岑荣伟
马少平
茹立云
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机构
清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室清华信息科学与技术国家实验室(筹)
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出处
《计算机科学与探索》
CSCD
2010年第7期589-598,共10页
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基金
国家自然科学基金No.60736044
60903107
高等院校博士学科点专项科研基金No.20090002120005~~
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文摘
页面质量评估在搜索引擎系统中具有极其关键的作用,传统的方法是基于页面链接关系进行页面质量评估。但由于当前Web环境的复杂性,传统方法已经难以适应当前的Web环境,近年来,用户行为被用来弥补完全依赖链接关系方法的不足。用户行为可以分为两类:浏览行为和搜索行为。利用浏览行为构造了用户浏览图;提出了一种利用用户搜索行为的新方法,此方法构造了用户搜索图;合并用户浏览图和用户搜索图得到用户浏览搜索图。实验表明用户浏览搜索图的性能比较接近用户浏览图的性能,并超过全网的性能,同时用户浏览搜索图能够评价的页面数要大于用户浏览图。
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关键词
页面质量评估
用户行为
用户浏览图
用户搜索图
用户浏览搜索图
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Keywords
page quality estimation
user behavior
user browsing graph
user searching graph
user browsing- searching graph
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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