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压电驱动微型喷雾器的研究
被引量：
12
1
作者
刘长庚
周兆英
+1 位作者
王晓浩
叶雄英
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2001年第4期272-274,共3页
研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器...
研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器的工作性能。实验结果表明 ,这种喷雾器喷出的雾滴直径大小集中 ,工作稳定且容易控制喷雾量。
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关键词
压电驱动
微加工技术
工作原理
喷雾器
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职称材料
题名
压电驱动微型喷雾器的研究
被引量：
12
1
作者
刘长庚
周兆英
王晓浩
叶雄英
机构
清华大学精密仪器及机械学系微机械研究室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2001年第4期272-274,共3页
基金
国家"九七三"基础研究项目(G19990 3310 6)
国家自然科学重点基金资助项目 ( 2 98330 70 )
文摘
研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器的工作性能。实验结果表明 ,这种喷雾器喷出的雾滴直径大小集中 ,工作稳定且容易控制喷雾量。
关键词
压电驱动
微加工技术
工作原理
喷雾器
Keywords
micro jet
piezoelectric actuator
MEMS
分类号
TH138.521 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电驱动微型喷雾器的研究
刘长庚
周兆英
王晓浩
叶雄英
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2001
12
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