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X射线光电子能谱测试技术应用中常见问题探究
被引量：
1
1
作者
潘燕芳
杨文超
+3 位作者
李晓静
林晓倩
贺舜
许燕娜
《中国无机分析化学》
北大核心
2025年第1期73-85,共13页
X射线光电子能谱(XPS)已在新能源、催化和半导体等领域中得到广泛应用,然而XPS数据的可靠性与真实性与测试工程师的经验有关,是一种考验测试经验的表面分析技术。为归纳X射线光电子能谱测试技术的应用,主要从测试原理、制样方法、测试...
X射线光电子能谱(XPS)已在新能源、催化和半导体等领域中得到广泛应用,然而XPS数据的可靠性与真实性与测试工程师的经验有关,是一种考验测试经验的表面分析技术。为归纳X射线光电子能谱测试技术的应用,主要从测试原理、制样方法、测试参数设定、仪器校正及测试常见问题等方面进行了总结:在测试原理上概述了荷电效应及补偿方法、采样深度及靶材的选择;在制样上详细介绍样品要求、样品台的选择及制样要领;测试参数上阐述了表面采谱和深剖采谱的参数设定,并着重强调测试通能和能量分辨率的相互关系,举例说明X射线和溅射对某些物质的还原作用;在仪器校正上分述能量分辨率检验和非线性校正的物质;最后汇总XPS数据常见问题。希望未来能开发出空间分辨率好,能量分辨率高、功能更多更稳定的仪器,以满足更多的测试需求。
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关键词
X射线光电子能谱(XPS)
深度剖析
能量分辨率
半高宽(FMHW)
荷电效应
非线性校正
刻蚀还原
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职称材料
X射线光电子能谱在过渡族金属化合物及稀土化合物化学态分析中的应用
2
作者
潘燕芳
李晓静
+3 位作者
杨文超
李东
廖华平
许燕娜
《分析测试学报》
北大核心
2025年第5期956-967,共12页
X射线光电子能谱(XPS)是处理表面化学态分析的重要手段,已广泛应用于科学研究的各个领域,极大地推动了科研的发展。然而过渡族金属化合物及稀土化合物谱峰结构复杂,存在多重分裂和谱峰展宽,是化学态分析的难点。该文主要通过介绍数据库...
X射线光电子能谱(XPS)是处理表面化学态分析的重要手段,已广泛应用于科学研究的各个领域,极大地推动了科研的发展。然而过渡族金属化合物及稀土化合物谱峰结构复杂,存在多重分裂和谱峰展宽,是化学态分析的难点。该文主要通过介绍数据库或手册上的过渡族金属化合物以及稀土化合物的标准谱图,对化学态的分析方法—分峰拟合法、卫星峰特征法、俄歇谱峰或修正俄歇参数法进行了介绍,并重点介绍了修正俄歇参数的计算方法。稀土化合物,可参考的数据库和标准窄谱少,很多单质态和化合态都存在独特的震激峰,谱峰极其复杂,分析困难,该文以La和Ce为例进行了说明。在混合价态的分析方面,着重介绍了非线性最小二乘法(NLLSF),该方法是一种是以真实的谱图函数构建预设峰形函数的方法,能量损失峰、卫星峰、多重分裂峰等均包含在谱图中,能够进行确切峰形拟合,处理混合化学态共存的谱图时简单可靠。Ni 2p和F KLL,Ni、Co、Mn和Fe几个元素间存在重叠区,可以通过更换阳极靶材,使俄歇谱峰发生移动进而从主光电子峰分离,便于后续数据解析。在数据解析前需查询数据库网站是否有可参照的标准谱图,对于没有标准窄谱参考的元素,需结合其他元素的窄谱、样品的定性半定量结果进行客观合理的自洽分析,切勿按照实验预期或臆想推断进行分峰拟合。
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关键词
X射线光电子能谱(XPS)
化学态分析
混合价态分析
修正俄歇参数
非线性最小二乘法拟合(NLLSF)
过渡族金属化合物
稀土化合物
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职称材料
X射线光电子能谱(XPS)分析方法中的数据处理
3
作者
潘燕芳
李晓静
+2 位作者
廖华平
李东
林晓倩
《中国无机分析化学》
北大核心
2025年第8期1280-1294,共15页
主要阐述X射线光电子能谱(XPS)数据的分析步骤及方法,从分析软件选择、荷电校准、背底基线扣除方式、峰形拟合方式、元素定性定量等方面进行详细概述,并列举了XPS有关手册及相关的数据库网站,举例说明文章中常见的错误。旨在帮助XPS分...
主要阐述X射线光电子能谱(XPS)数据的分析步骤及方法,从分析软件选择、荷电校准、背底基线扣除方式、峰形拟合方式、元素定性定量等方面进行详细概述,并列举了XPS有关手册及相关的数据库网站,举例说明文章中常见的错误。旨在帮助XPS分析领域的初学者,包括尚未完全熟悉XPS分析技术的研究人员、研究生和X射线光电子能谱从业人员,使他们能够全面了解XPS分析的方法步骤,基本掌握X射线光电子能谱数据的处理步骤及方法,在后续的数据处理中避免或减少分析错误,提升数据分析质量,让X射线光电子能谱测试技术更好地服务于科研,助力科研的发展进步。
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关键词
X射线光电子能谱(XPS)
化合态分析
表面分析
荷电校正
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职称材料
题名
X射线光电子能谱测试技术应用中常见问题探究
被引量：
1
1
作者
潘燕芳
杨文超
李晓静
林晓倩
贺舜
许燕娜
机构
清华大学深圳国际研究生院材料与器件检测技术中心
广西
大学
资源环境与
材料
学
院
省部共建特色金属与组合结构全寿命安全国家重点实验室
深圳
市电源
技术
学会
出处
《中国无机分析化学》
北大核心
2025年第1期73-85,共13页
基金
国家自然科学基金面上基金资助项目(52072208)
广西高等教育本科教学改革工程项目(2022JGB107)。
文摘
X射线光电子能谱(XPS)已在新能源、催化和半导体等领域中得到广泛应用,然而XPS数据的可靠性与真实性与测试工程师的经验有关,是一种考验测试经验的表面分析技术。为归纳X射线光电子能谱测试技术的应用,主要从测试原理、制样方法、测试参数设定、仪器校正及测试常见问题等方面进行了总结:在测试原理上概述了荷电效应及补偿方法、采样深度及靶材的选择;在制样上详细介绍样品要求、样品台的选择及制样要领;测试参数上阐述了表面采谱和深剖采谱的参数设定,并着重强调测试通能和能量分辨率的相互关系,举例说明X射线和溅射对某些物质的还原作用;在仪器校正上分述能量分辨率检验和非线性校正的物质;最后汇总XPS数据常见问题。希望未来能开发出空间分辨率好,能量分辨率高、功能更多更稳定的仪器,以满足更多的测试需求。
关键词
X射线光电子能谱(XPS)
深度剖析
能量分辨率
半高宽(FMHW)
荷电效应
非线性校正
刻蚀还原
Keywords
X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)
depth profile
energy resolution
full width at half maximum(FMHW)
charge effect
nonlinear correction
sputter reduction
分类号
O657.62 [理学—分析化学]
在线阅读
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职称材料
题名
X射线光电子能谱在过渡族金属化合物及稀土化合物化学态分析中的应用
2
作者
潘燕芳
李晓静
杨文超
李东
廖华平
许燕娜
机构
清华大学深圳国际研究生院材料与器件检测技术中心
广西
大学
资源环境与
材料
学
院
省部共建特色金属与组合结构全寿命安全国家重点实验室
出处
《分析测试学报》
北大核心
2025年第5期956-967,共12页
基金
国家自然科学基金面上项目(52072208)
广西重点研发计划(省)(桂科AB24010099)
+1 种基金
广西重点研发计划(省)(桂科AB24010273)
广西高等教育本科教学改革工程项目(2022JGB107)。
文摘
X射线光电子能谱(XPS)是处理表面化学态分析的重要手段,已广泛应用于科学研究的各个领域,极大地推动了科研的发展。然而过渡族金属化合物及稀土化合物谱峰结构复杂,存在多重分裂和谱峰展宽,是化学态分析的难点。该文主要通过介绍数据库或手册上的过渡族金属化合物以及稀土化合物的标准谱图,对化学态的分析方法—分峰拟合法、卫星峰特征法、俄歇谱峰或修正俄歇参数法进行了介绍,并重点介绍了修正俄歇参数的计算方法。稀土化合物,可参考的数据库和标准窄谱少,很多单质态和化合态都存在独特的震激峰,谱峰极其复杂,分析困难,该文以La和Ce为例进行了说明。在混合价态的分析方面,着重介绍了非线性最小二乘法(NLLSF),该方法是一种是以真实的谱图函数构建预设峰形函数的方法,能量损失峰、卫星峰、多重分裂峰等均包含在谱图中,能够进行确切峰形拟合,处理混合化学态共存的谱图时简单可靠。Ni 2p和F KLL,Ni、Co、Mn和Fe几个元素间存在重叠区,可以通过更换阳极靶材,使俄歇谱峰发生移动进而从主光电子峰分离,便于后续数据解析。在数据解析前需查询数据库网站是否有可参照的标准谱图,对于没有标准窄谱参考的元素,需结合其他元素的窄谱、样品的定性半定量结果进行客观合理的自洽分析,切勿按照实验预期或臆想推断进行分峰拟合。
关键词
X射线光电子能谱(XPS)
化学态分析
混合价态分析
修正俄歇参数
非线性最小二乘法拟合(NLLSF)
过渡族金属化合物
稀土化合物
Keywords
X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)
chemical state analysis
mixed chemical state analysis
modified Auger parameter
non-linear-least square fitting(NLLSF)
transition metal compounds
rare earth metal compounds
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
在线阅读
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职称材料
题名
X射线光电子能谱(XPS)分析方法中的数据处理
3
作者
潘燕芳
李晓静
廖华平
李东
林晓倩
机构
清华大学深圳国际研究生院材料与器件检测技术中心
深圳
市电源
技术
学会
出处
《中国无机分析化学》
北大核心
2025年第8期1280-1294,共15页
基金
国家自然科学基金面上项目(52072208)。
文摘
主要阐述X射线光电子能谱(XPS)数据的分析步骤及方法,从分析软件选择、荷电校准、背底基线扣除方式、峰形拟合方式、元素定性定量等方面进行详细概述,并列举了XPS有关手册及相关的数据库网站,举例说明文章中常见的错误。旨在帮助XPS分析领域的初学者,包括尚未完全熟悉XPS分析技术的研究人员、研究生和X射线光电子能谱从业人员,使他们能够全面了解XPS分析的方法步骤,基本掌握X射线光电子能谱数据的处理步骤及方法,在后续的数据处理中避免或减少分析错误,提升数据分析质量,让X射线光电子能谱测试技术更好地服务于科研,助力科研的发展进步。
关键词
X射线光电子能谱(XPS)
化合态分析
表面分析
荷电校正
Keywords
X-ray photoelectron spectroscopy
chemical state analysis
surface analysis
charge correction
分类号
O652.2 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
X射线光电子能谱测试技术应用中常见问题探究
潘燕芳
杨文超
李晓静
林晓倩
贺舜
许燕娜
《中国无机分析化学》
北大核心
2025
1
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下载PDF
职称材料
2
X射线光电子能谱在过渡族金属化合物及稀土化合物化学态分析中的应用
潘燕芳
李晓静
杨文超
李东
廖华平
许燕娜
《分析测试学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
3
X射线光电子能谱(XPS)分析方法中的数据处理
潘燕芳
李晓静
廖华平
李东
林晓倩
《中国无机分析化学》
北大核心
2025
0
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职称材料
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