高频声表面波材料及器件制备工艺的研究 被引量：2

1

作者 李冬梅 陈菁菁 +1 位作者 李晖 潘峰 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期40-42,36,共4页

研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响。采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器。结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有... 研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响。采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器。结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力,具有适合SAWF器件制备所需的微观结构,在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性。 展开更多

关键词 铝薄膜 声表面波材料 LINBO3 谐振耦合换能器

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不同形态磷肥的径流流失特征及其效应 被引量：12

2

作者 孙海栓 吕乐福 +3 位作者 刘春生 盖国胜 杨玉芬 何振全 《水土保持学报》 CSCD 北大核心 2012年第4期90-93,共4页

采用野外径流小区方法研究不同形态磷肥的流失特征、流失量以及对氮钾元素的影响。结果表明,在磷的流失途径中,颗粒态磷(PP)占总磷(TP)流失量的61.6%～83.1%,是磷流失的主要途径;施用磷肥可以促进土壤对氮钾元素的保持能力,减少氮钾元... 采用野外径流小区方法研究不同形态磷肥的流失特征、流失量以及对氮钾元素的影响。结果表明,在磷的流失途径中,颗粒态磷(PP)占总磷(TP)流失量的61.6%～83.1%,是磷流失的主要途径;施用磷肥可以促进土壤对氮钾元素的保持能力,减少氮钾元素的流失;磷肥的施用提高了小油菜的产量,并促进了小油菜对氮钾元素的吸收;微晶化磷矿粉可以有效减少磷的流失,在等磷量下,微晶化磷矿粉中的磷流失量分别是过磷酸钙和钙镁磷肥的54.2%和69.4%。在一定范围内,随微晶化磷矿粉施用量的增加,磷的流失量增加,但流失率减小,对促进土壤保持氮钾能力及小油菜对氮磷钾元素的吸收越明显。 展开更多

关键词 不同形态磷肥 径流 流失 微晶化磷矿粉

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铁酸锌纳米薄膜的液相水热合成 被引量：6

3

作者 郭志红 蒋武锋 +2 位作者 凌云汉 李洪义 白新德 《有色金属（冶炼部分）》 CAS 北大核心 2007年第1期23-26,共4页

以不锈钢和玻璃作为基底，氟铁酸铵和硼酸为前驱体，用液相沉积法得到水合氧化铁薄膜，然后在0．2mol／L的Zn^2＋溶液中进行水热转化，最终形成铁酸锌薄膜。通过XRD、SEM和TEM对薄膜的物相和表面形貌进行表征，用XPS对薄膜表面元素价态... 以不锈钢和玻璃作为基底，氟铁酸铵和硼酸为前驱体，用液相沉积法得到水合氧化铁薄膜，然后在0．2mol／L的Zn^2＋溶液中进行水热转化，最终形成铁酸锌薄膜。通过XRD、SEM和TEM对薄膜的物相和表面形貌进行表征，用XPS对薄膜表面元素价态进行确定，结果表明：在水热温度为175～250℃、pH=5～11、水热时间12h可以成功合成铁酸锌薄膜，铁酸锌粒径约20nm。紫外-可见光吸收谱（UV-Vis）表明其光响应范围为λ〈473nm，电化学测试表明其光生电位低于不锈钢的自腐蚀电位。 展开更多

关键词 液相沉积 水热法 铁酸锌 薄膜

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Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响 被引量：1

4

作者 李冬梅 王旭波 +2 位作者 潘峰 牛洁斌 刘明 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期152-155,163,共5页

为了增加高频声表面波器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力,同时不增加薄膜在化学反应刻蚀中的难度,并精确地控制图形的尺寸,采用电子束蒸镀法研究了Zr过渡层和薄膜固化工艺对Al膜微结构、形貌、电性能及机械性能的影响。结果表... 为了增加高频声表面波器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力,同时不增加薄膜在化学反应刻蚀中的难度,并精确地控制图形的尺寸,采用电子束蒸镀法研究了Zr过渡层和薄膜固化工艺对Al膜微结构、形貌、电性能及机械性能的影响。结果表明,适当厚度(5～30nm)的Zr过渡层增强了Al膜的(111)织构,增加了薄膜与LiNbO3基体的结合力,200°C固化后电阻率明显降低。拥有Zr过渡层的Al膜具有良好的工艺性能,通过反应离子刻蚀易获得精确的换能器图形。 展开更多

关键词 Al膜 Zr过渡层 附着力 电阻

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用第一性原理研究Fe_(16)N_2的磁学性能 被引量：1

5

作者 李丹 顾有松 潘峰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期601-605,共5页

用第一性原理计算了Fe16N2的电子结构和磁学性能。对Fe16N2的第一性原理研究表明:没有与N原子直接相邻的FeⅢ具有巨磁矩,大约为2.84μB。直接相邻N原子的FeⅠ和FeⅡ原子只有正常磁矩。FeⅠ和FeⅡ原子的局域能带占有数分析中显示富有s和... 用第一性原理计算了Fe16N2的电子结构和磁学性能。对Fe16N2的第一性原理研究表明:没有与N原子直接相邻的FeⅢ具有巨磁矩,大约为2.84μB。直接相邻N原子的FeⅠ和FeⅡ原子只有正常磁矩。FeⅠ和FeⅡ原子的局域能带占有数分析中显示富有s和p电子的N原子主要影响Fe的4s和4p外壳电子,而3d能带占有数几乎保持不变。对于FeⅢ原子,3d电子数减少,4s和4p电子数增加,从而产生巨磁矩。当单胞体积增加时,4p电子数以快速的比率增加,4s电子数减少,而且3d电子数也减少,导致磁矩增加。 展开更多

关键词 Fe16N2 第一性原理 巨磁矩

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实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响

6

作者 曾飞 高阳 +1 位作者 樊宇伟 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期17-19,27,共4页

从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过... 从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用. 展开更多

关键词 Co-Cu合金薄 膜离子束辅助沉积 入射角度 织构 易磁化

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Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究

7

作者 李丹 贺汀 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期76-77,85,共3页

本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Mo金属多层膜,利用TEM等手段研究了Fe与Mo层厚度对薄膜微结构应力的影响.Fe与Mo层厚度相差较大而Fe单层膜厚薄到1.2 nm时,较薄的Fe在较厚的Mo层上外延生长.随着Mo厚度的变薄,Mo/Fe厚度比减少,Mo层没有... 本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Mo金属多层膜,利用TEM等手段研究了Fe与Mo层厚度对薄膜微结构应力的影响.Fe与Mo层厚度相差较大而Fe单层膜厚薄到1.2 nm时,较薄的Fe在较厚的Mo层上外延生长.随着Mo厚度的变薄,Mo/Fe厚度比减少,Mo层没有足够的自由能约束Fe原子,Fe层形成稳定的bcc结构.当Fe外延生长在Mo层上时,晶格畸变导致铁钼层间产生很大的应力,使得薄膜出现均匀的细微裂纹.用胡克定律估算了其应力范围,约104MPa数量级. 展开更多

关键词 FE/MO多层膜 微结构 应力

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新型声表面波器件中氧化锌薄膜的研制

8

作者 陈菁菁 李冬梅 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期7-13,23,共8页

本文采用直流磁控反应溅射法,在单晶Si(110),Al/Si,Diamond/Si三种衬底上分别生长出了高度c轴取向的ZnO薄膜.此薄膜具有高质量的纳米级结晶度(10nm～30nm),良好的表面平整度(低于10nm),高于107Ω·cm的电阻率及较高的应力承载性,很... 本文采用直流磁控反应溅射法,在单晶Si(110),Al/Si,Diamond/Si三种衬底上分别生长出了高度c轴取向的ZnO薄膜.此薄膜具有高质量的纳米级结晶度(10nm～30nm),良好的表面平整度(低于10nm),高于107Ω·cm的电阻率及较高的应力承载性,很好的满足了薄膜声表面波(SAW)器件制备及降低损耗的需要.通过改变工作气压,氩氧比等工艺参数,较系统地探索了ZnO薄膜的制备条件.采用多种分析手段,如X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM),高能反射式电子衍射(RHEED),原子力显微镜(AFM)等对薄膜的微观结构及结晶品质进行了测试分析,并对薄膜的电学性能及机械性能进行了考察. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 C轴取向 声表面波

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柔性基材表面功能薄膜的制备与应用研究进展

9

作者 曾飞 潘峰 《中国材料进展》 CAS CSCD 2009年第9期45-50,共6页

当前,新材料的研发向多功能化、复合化、低维化发展,在柔性基材表面制备功能薄膜是一个重要的方向。在相关产业的带动下,基础研究和应用研究在近年得到了快速发展。从柔性基材表面功能薄膜的种类、制备技术和柔性基材3个方面介绍了当前... 当前,新材料的研发向多功能化、复合化、低维化发展,在柔性基材表面制备功能薄膜是一个重要的方向。在相关产业的带动下,基础研究和应用研究在近年得到了快速发展。从柔性基材表面功能薄膜的种类、制备技术和柔性基材3个方面介绍了当前的研发状况,并展望了未来的发展趋势。 展开更多

关键词 柔性基材 表面功能化 制备 应用

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坡莫合金/铜磁性多层膜微观力学性能的研究

10

作者 艾家和 高阳 +2 位作者 耿魁伟 曾飞 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期42-45,49,共5页

本文用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了具有不同坡莫合金层厚度的坡莫合金/铜磁性多层膜,并采用纳米力学系统分别以压痕法、划痕法测定了坡莫合金层厚度对多层膜显微硬度、弹性模量以及划痕的临界载荷、宽度和深度等的影响.研究结... 本文用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了具有不同坡莫合金层厚度的坡莫合金/铜磁性多层膜,并采用纳米力学系统分别以压痕法、划痕法测定了坡莫合金层厚度对多层膜显微硬度、弹性模量以及划痕的临界载荷、宽度和深度等的影响.研究结果表明:在既定的接触深度,多层膜的显微硬度及弹性模量随坡莫合金层厚度变化不大,它们分别约为4.5 GPa和80 GPa,比坡莫合金单层膜的值低而比铜单层膜的值高;坡莫合金层厚度对多层膜微观摩擦学性能有较大的影响:随坡莫合金层厚度减小,特别是当其小于等于1.6 nm时,划痕有较高的临界载荷、较小的宽度和较浅的残余深度;多层膜的划痕临界载荷高于坡莫合金单层膜的值. 展开更多

关键词 坡莫合金 铜磁性多层膜 微观力学性能 压痕 划痕

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离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长

11

作者 谷宇 曾飞 +1 位作者 高阳 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期500-503,共4页

高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备。本文运用Ar离子束辅助沉积技术,在64°Y-X切向的铌酸锂基片上成功的制备出(111)高度取向的铝薄膜,并研究了Ar离子的注入角度对薄膜的织构形成的影响。结果表明,薄... 高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备。本文运用Ar离子束辅助沉积技术,在64°Y-X切向的铌酸锂基片上成功的制备出(111)高度取向的铝薄膜,并研究了Ar离子的注入角度对薄膜的织构形成的影响。结果表明,薄膜织构度对辅助离子束入射角度非常敏感,在辅助离子束入射角为35°时,薄膜(111)织构最强,电阻率最小,附着力最好,适合于声表面波器件中的应用。 展开更多

关键词 高织构铝薄膜 离子束辅助沉积 入射角 机械性能 沟道效应

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离子束轰击诱导硅表面纳米结构和铁纳米条纹

12

作者 唐光盛 刘宏燕 +1 位作者 曾飞 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1055-1059,共5页

研究了氩离子束轰击诱导硅表面自组装纳米结构和铁纳米条纹的形成规律。在单晶Si(100)表面水平放置直径为2mm的铁棒,采用3 keV氩离子束垂直轰击硅样品表面。扫描电镜观察表明:在金属铁棒周围由近及远,硅表面形成纳米条纹和纳米点阵,纳... 研究了氩离子束轰击诱导硅表面自组装纳米结构和铁纳米条纹的形成规律。在单晶Si(100)表面水平放置直径为2mm的铁棒,采用3 keV氩离子束垂直轰击硅样品表面。扫描电镜观察表明:在金属铁棒周围由近及远,硅表面形成纳米条纹和纳米点阵,纳米条纹向纳米点阵的过渡形貌为链状纳米椭圆结构;并在铁棒区域自组装出金属铁纳米条纹。通过阻尼Kuramoto-Sivashinsky方程对离子束作用下固体表面纳米结构的形成机理进行了合理的诠释与讨论。 展开更多

关键词 离子束轰击 自组装纳米结构 表面形貌 阻尼Kuramoto-Sivashinsky方程

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