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微波等离子体化学气相沉积制备碳氮晶体薄膜被引量：4: 1; 作者江锦春程文娟 +2 位作者张阳朱鹤孙沈德忠《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期930-934,939,共6页; 利用微波等离子体化学气相沉积系统 ,以甲烷、氮气和氢气作为气源 ,在Si( 1 0 0 )衬底上成功地制备出了碳氮晶体薄膜 ,并对两种衬底温度下的薄膜性质进行了比较。用高分辨率场发射扫描电子显微镜观察薄膜 ,可以看出晶型完整 ,结构致密 ... 展开更多; 关键词立方晶体薄膜衬底温度微波等离子体化学气相沉积原子喇曼光谱晶相 β-C3N4 结晶质量 X射线能谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

CLBO晶体生长与紫外倍频性能研究被引量：3: 2; 作者孙同庆王晓青 +3 位作者沈光球鲁向阳林林沈德忠《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期133-136,共4页; CLBO晶体是一种性能优良的新型激光紫外倍频晶体材料,本文采用改进的顶部籽晶法生长出大尺寸、高光学质量的CLBO晶体。用尺寸为6mm×5mm×10mm的CLBO四倍频样品测量了晶体对Nd:YAG,1064nm四倍频的紫外倍频性能,266nm激光输出功... 展开更多; 关键词 CLBO晶体紫外倍频性能晶体生长机理激光输出功率硼酸铯锂; 在线阅读下载PDF 职称材料

硼酸锶钡(Ba_(0.87)Sr_(3.13)B_(14)O_(25))晶体的生长、结构和性质研究被引量：1: 3; 作者孙同庆潘峰 +2 位作者王晓青沈光球沈德忠《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期935-939,共5页; 本文报道了一种新的硼酸盐化合物—Ba0 .87Sr3 .1 3 B1 4O2 5,采用泡生法已生长出尺寸为 35mm× 2 5mm× 5mm的晶体。该晶体为单斜晶系 ,C2 /m空间群 ,a =1 .6 4 2 5 ( 3)nm ,b =0 .77739( 1 6 )nm ,c =1 .6 6 6 5 ( 3)nm ,β =... 展开更多; 关键词晶体单斜晶系空间群原子透过谱性质研究多面体硼酸盐金属阳离子阴离子; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波水热条件对氧化锌晶体的形态和粒度的影响被引量：11: 4; 作者江锦春程文娟 +2 位作者张阳朱鹤孙沈德忠《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期255-258,254,共5页; 利用微波水热法,以氢氧化锌为前驱物,在反应温度不小于100℃的情况下,成功地制备出氧化锌微晶.研究了水热条件对氧化锌微晶的晶粒大小和形貌的影响.在水热环境下,当反应温度一达到100℃,氧化锌微粒就能快速形成和生长.反应温度在100℃时... 展开更多; 关键词氧化锌微晶微波水热法粒度氢氧化锌 PH值晶体; 在线阅读下载PDF 职称材料

晶体的超精密抛光被引量：17: 5; 作者谢会东王晓青沈光球《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1035-1040,共6页; 超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义。超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法。本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评价方法等进行了介绍。同时... 展开更多; 关键词超精密抛光抛光效果超光滑表面描述发展阶段技术发展趋势评价方法现状质量; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列(英文) 被引量：2: 6; 作者程文娟张阳 +1 位作者江锦春朱鹤孙《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期496-499,共4页; 本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)系统 ,以CH4,H2 ,N2 作为源气体 ,以Si棒作为Si源 ,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列。样品的形貌由场发射扫描电子显微镜 (SEM)表征分析。用X射线光电子谱 (XPS)、Raman散射谱及X... 展开更多; 关键词微波等离子体化学气相沉积制备 SiCN结晶膜 SiCN微米棒 CH4 H2 N2 氰化硅甲烷氢气氮气; 在线阅读下载PDF 职称材料

SiCN薄膜在Si衬底上的沉积被引量：1: 7; 作者程文娟张阳 +1 位作者江锦春朱鹤孙《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期913-917,共5页; 本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)系统 ,在单晶Si衬底上制备出了SiCN薄膜。所采用的源气体为高纯CH4和N2 ,而Si源来自于Si衬底、SiH4和Si棒。用场发射扫描电镜 (SEM)、X射线光电子能谱 (XPS)和X射线衍射谱 (XRD)对样品进行了... 展开更多; 关键词 SI衬底衬底温度薄膜 X射线衍射谱 X射线光电子能谱(XPS) 三元化合物 MPCVD 场发射扫描电镜微波等离子体化学气相沉积 CN; 在线阅读下载PDF 职称材料

高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD 被引量：6: 8; 作者常开朋程文娟 +3 位作者江锦春张阳朱鹤孙沈德忠《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期382-385,共4页; 本文采用高纯无氧铜 (Cu)片作为基片 ,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统 ,制备出了高质量多晶金刚石膜。用场发射扫描电子显微镜 (SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱 (XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析 ,其结果证明金刚石... 展开更多; 关键词质量金刚石膜无氧铜衬底 MPCVD 微波等离子体化学气相沉积表征; 在线阅读下载PDF 职称材料

金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积被引量：2: 9; 作者常开朋程文娟 +3 位作者江锦春张阳朱鹤孙沈德忠《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期610-612,共3页; 采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了... 展开更多; 关键词金刚石膜 SI(100) 硅衬底微波等离子体化学气相沉积铜网模板选择沉积; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波等离子体化学气相沉积制备碳氮晶体薄膜被引量：4: 1; 作者江锦春程文娟张阳朱鹤孙沈德忠; 机构清华大学化学系; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期930-934,939,共6页; 文摘利用微波等离子体化学气相沉积系统 ,以甲烷、氮气和氢气作为气源 ,在Si( 1 0 0 )衬底上成功地制备出了碳氮晶体薄膜 ,并对两种衬底温度下的薄膜性质进行了比较。用高分辨率场发射扫描电子显微镜观察薄膜 ,可以看出晶型完整 ,结构致密 ,结晶质量较好。X射线能谱证明了碳氮是以C─N和CN共价键的形式存在 ,氮碳元素的原子比均为 1 .3。X射线衍射确定出在衬底温度为 90 0± 1 0℃时薄膜样品的主要晶相成份是α C3N4,β C3N4,赝立方C3N4,立方C3N4和一个未知相 (面间距d =0 .4 0 0 2nm) ,而在 95 0± 1 0℃时薄膜样品的主要晶相成份是α C3N4,β C3N4,赝立方C3N4,类石墨C3N4和一个未知相 (面间距d =0 .3 984nm)。喇曼光谱分析也证实了薄膜中主要存在α C3N4,β; 关键词立方晶体薄膜衬底温度微波等离子体化学气相沉积原子喇曼光谱晶相 β-C3N4 结晶质量 X射线能谱; Keywords C_3N_4 crystallites MPCVD thin film; 分类号 O484 [理学—固体物理] TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名CLBO晶体生长与紫外倍频性能研究被引量：3: 2; 作者孙同庆王晓青沈光球鲁向阳林林沈德忠; 机构清华大学化学系功能晶体与薄膜研究所北京大学物理学院重离子物理研究所; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期133-136,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.50132010); 文摘 CLBO晶体是一种性能优良的新型激光紫外倍频晶体材料,本文采用改进的顶部籽晶法生长出大尺寸、高光学质量的CLBO晶体。用尺寸为6mm×5mm×10mm的CLBO四倍频样品测量了晶体对Nd:YAG,1064nm四倍频的紫外倍频性能,266nm激光输出功率达到780mW。针对CLBO晶体的潮解开裂问题,在CLBO倍频器工作和存放时,采用恒温加热套管保护,有效地防止了晶体的潮解开裂。; 关键词 CLBO晶体紫外倍频性能晶体生长机理激光输出功率硼酸铯锂; Keywords cesium lithium borate crystal growth frequency conversion to UV preventing from cracking; 分类号 O782 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硼酸锶钡(Ba_(0.87)Sr_(3.13)B_(14)O_(25))晶体的生长、结构和性质研究被引量：1: 3; 作者孙同庆潘峰王晓青沈光球沈德忠; 机构清华大学化学系; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期935-939,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 1 32 0 1 0 ); 文摘本文报道了一种新的硼酸盐化合物—Ba0 .87Sr3 .1 3 B1 4O2 5,采用泡生法已生长出尺寸为 35mm× 2 5mm× 5mm的晶体。该晶体为单斜晶系 ,C2 /m空间群 ,a =1 .6 4 2 5 ( 3)nm ,b =0 .77739( 1 6 )nm ,c =1 .6 6 6 5 ( 3)nm ,β =1 1 9.2 2 ( 3)°,Z =4。结构中B3 O8六元环通过O原子和BO3 三角形相互连接 ,构成三维的硼氧阴离子骨架 ,金属阳离子占据多面体间的空隙。测量了BSBO晶体的透过谱 ,该晶体的显微硬度为 5 78kg/mm2 。; 关键词晶体单斜晶系空间群原子透过谱性质研究多面体硼酸盐金属阳离子阴离子; Keywords barium strontium borate crystal growth crystal structure transmittance spectrum; 分类号 O734 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波水热条件对氧化锌晶体的形态和粒度的影响被引量：11: 4; 作者江锦春程文娟张阳朱鹤孙沈德忠; 机构清华大学化学系功能晶体与薄膜研究所北京理工大学材料中心; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期255-258,254,共5页; 文摘利用微波水热法,以氢氧化锌为前驱物,在反应温度不小于100℃的情况下,成功地制备出氧化锌微晶.研究了水热条件对氧化锌微晶的晶粒大小和形貌的影响.在水热环境下,当反应温度一达到100℃,氧化锌微粒就能快速形成和生长.反应温度在100℃时,延长反应时间(～4h)氧化锌微晶的形貌和晶粒大小均没有受到大的影响;然而,升高反应温度氧化锌微晶的晶粒大小会略微地减小.另一方面,当反应前溶液中的pH值从9增大到12时,氧化锌微晶的形态从不规则的片状颗粒改变到长柱状晶粒.另外,随着溶液中pH值的增加,氧化锌微晶的结晶性变好、粒度变大.合理地解释了反应温度、溶液中的pH值对制得的氧化锌微晶的形态、晶粒粒度的影响.; 关键词氧化锌微晶微波水热法粒度氢氧化锌 PH值晶体; Keywords zinc oxide crystallite microwave hydrothermal processing morphology particle size; 分类号 O782 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名晶体的超精密抛光被引量：17: 5; 作者谢会东王晓青沈光球; 机构清华大学化学系; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1035-1040,共6页; 文摘超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义。超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法。本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评价方法等进行了介绍。同时描述了超精密抛光的发展阶段。; 关键词超精密抛光抛光效果超光滑表面描述发展阶段技术发展趋势评价方法现状质量; Keywords supersmooth surfaces superpolishing surface roughness flatness; 分类号 O734 [理学—晶体学] TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列(英文) 被引量：2: 6; 作者程文娟张阳江锦春朱鹤孙; 机构清华大学化学系清华大学光子与电子技术研究中心; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期496-499,共4页; 文摘本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)系统 ,以CH4,H2 ,N2 作为源气体 ,以Si棒作为Si源 ,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列。样品的形貌由场发射扫描电子显微镜 (SEM)表征分析。用X射线光电子谱 (XPS)、Raman散射谱及X射线衍射 (XRD)对样品的键合状态及结构进行表征 ,结果表明 ,所得到的SiCN薄膜是一具有新的六方结构的三元化合物。; 关键词微波等离子体化学气相沉积制备 SiCN结晶膜 SiCN微米棒 CH4 H2 N2 氰化硅甲烷氢气氮气; Keywords silicon carbon nitride microrods MPCVD; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SiCN薄膜在Si衬底上的沉积被引量：1: 7; 作者程文娟张阳江锦春朱鹤孙; 机构清华大学化学系; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期913-917,共5页; 文摘本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)系统 ,在单晶Si衬底上制备出了SiCN薄膜。所采用的源气体为高纯CH4和N2 ,而Si源来自于Si衬底、SiH4和Si棒。用场发射扫描电镜 (SEM)、X射线光电子能谱 (XPS)和X射线衍射谱 (XRD)对样品进行了表征与分析。结果表明 ,外加Si源、高的衬底温度、高流量N2 有助于提高样品的成膜质量。; 关键词 SI衬底衬底温度薄膜 X射线衍射谱 X射线光电子能谱(XPS) 三元化合物 MPCVD 场发射扫描电镜微波等离子体化学气相沉积 CN; Keywords SiCN film MPCVD SEM XPS XRD; 分类号 O484 [理学—固体物理] TN304 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD 被引量：6: 8; 作者常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠; 机构清华大学化学系; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期382-385,共4页; 文摘本文采用高纯无氧铜 (Cu)片作为基片 ,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统 ,制备出了高质量多晶金刚石膜。用场发射扫描电子显微镜 (SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱 (XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析 ,其结果证明金刚石膜具有较优的质量。; 关键词质量金刚石膜无氧铜衬底 MPCVD 微波等离子体化学气相沉积表征; Keywords diamond films Cu substrate MPCVD; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积被引量：2: 9; 作者常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠; 机构清华大学化学系功能晶体与薄膜研究所; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期610-612,共3页; 文摘采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较。结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高。; 关键词金刚石膜 SI(100) 硅衬底微波等离子体化学气相沉积铜网模板选择沉积; Keywords diamond films Si (100) substrates MPCVD; 分类号 TQ164.8 [化学工程—高温制品工业] O782 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微波等离子体化学气相沉积制备碳氮晶体薄膜	江锦春程文娟张阳朱鹤孙沈德忠	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	CLBO晶体生长与紫外倍频性能研究	孙同庆王晓青沈光球鲁向阳林林沈德忠	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	硼酸锶钡(Ba_(0.87)Sr_(3.13)B_(14)O_(25))晶体的生长、结构和性质研究	孙同庆潘峰王晓青沈光球沈德忠	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	微波水热条件对氧化锌晶体的形态和粒度的影响	江锦春程文娟张阳朱鹤孙沈德忠	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	11	在线阅读下载PDF 职称材料
5	晶体的超精密抛光	谢会东王晓青沈光球	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	17	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列(英文)	程文娟张阳江锦春朱鹤孙	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	SiCN薄膜在Si衬底上的沉积	程文娟张阳江锦春朱鹤孙	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD	常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	6	在线阅读下载PDF 职称材料
9	金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积	常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	2	在线阅读下载PDF 职称材料