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透射式透明薄膜厚度的在线测量
被引量：
1
1
作者
陈方涵
赵光宇
蒋仕龙
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2019年第3期12-17,共6页
为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集放置薄膜前后的图像灰度,将其作为入射与出射能量并计算其光密度,再通过比尔-朗伯定律建立光密度与厚度之间的关系...
为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集放置薄膜前后的图像灰度,将其作为入射与出射能量并计算其光密度,再通过比尔-朗伯定律建立光密度与厚度之间的关系.为减小测量误差,采用标准光密度标定板对系统进行标定,对计算的理论光密度进行偏移校正.该系统结构简单,单次测量面积可达100 mm×75 mm;以聚四氟乙烯薄膜为例进行验证,测量的平均误差为5.7%,标准偏差为6.66%,为薄膜厚度全场在线检测提供了新的可行性.
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关键词
透明薄膜
透射光密度
厚度测量
比尔-朗伯定律
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职称材料
题名
透射式透明薄膜厚度的在线测量
被引量：
1
1
作者
陈方涵
赵光宇
蒋仕龙
机构
深港产学研基地运动控制技术实验室
华南师范大学华南先进光电子研究院
出处
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2019年第3期12-17,共6页
基金
国家自然科学基金项目(U1613209)
深圳市未来产业专项资金项目(JCYJ20150402104008943)
文摘
为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集放置薄膜前后的图像灰度,将其作为入射与出射能量并计算其光密度,再通过比尔-朗伯定律建立光密度与厚度之间的关系.为减小测量误差,采用标准光密度标定板对系统进行标定,对计算的理论光密度进行偏移校正.该系统结构简单,单次测量面积可达100 mm×75 mm;以聚四氟乙烯薄膜为例进行验证,测量的平均误差为5.7%,标准偏差为6.66%,为薄膜厚度全场在线检测提供了新的可行性.
关键词
透明薄膜
透射光密度
厚度测量
比尔-朗伯定律
Keywords
thin film
optical transmission density
thickness measurement
Beer-Lambert law
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
透射式透明薄膜厚度的在线测量
陈方涵
赵光宇
蒋仕龙
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2019
1
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职称材料
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