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ITO膜层蚀刻性能实验研究 被引量:7
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作者 汤安东 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期48-50,共3页
讨论了ITO膜的湿法蚀刻特性,得出了有关蚀刻速率的定量关系;比较了ITO膜的不同配比的蚀刻没,并指出了加热至50℃~60℃的、体积比为50∶(3~9)∶50的HCl和HNO_3与水混合液比较适合于大规模生产需要。
关键词 ITO膜 蚀刻 膜层
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玻璃基板的表面特征对STN-LCD显示特性的影响
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作者 汤安东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第3期273-278,共6页
基于STN -LCD显示的双折射干涉原理并结合人眼视觉系统因素 ,从理论上说明了液晶盒间隙的不均匀性与STN -LCD显示出现彩虹的关系 ,进而阐述了ITO玻璃基板的表面形貌特征对STN -LCD显示特性的影响。实践表明 :致使STN
关键词 超扭曲向列液晶显示器 双折射 浮法玻璃 表面特征
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LCD工艺中使用的碱性溶液对SiO_2膜层的刻蚀作用
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作者 汤安东 刘金瑞 +1 位作者 王秋花 黄永卓 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第3期74-78,共5页
钠钙玻璃基片上的SiO2膜层在很大程度上决定了液晶显示器件(LCD)的化学稳定性及使用寿命。本文以射频溅射法制备的SiO2膜层为样品,结合LCD工艺特点,初步研究分析了其工艺流程中所使用的不同碱性溶液对SiO2膜层不... 钠钙玻璃基片上的SiO2膜层在很大程度上决定了液晶显示器件(LCD)的化学稳定性及使用寿命。本文以射频溅射法制备的SiO2膜层为样品,结合LCD工艺特点,初步研究分析了其工艺流程中所使用的不同碱性溶液对SiO2膜层不同的刻蚀作用。本文的结论有利于在LCD工艺中更好地保护SiO2膜层。 展开更多
关键词 液晶显示器件 SiO2膜层 碱性溶液 刻蚀
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