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飞秒激光加工光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器
1
作者
唐前浩
朱一新
+6 位作者
郑怀锦
李生杰
李春波
肖海兵
于永芹
杜晨林
阮双琛
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第5期283-292,共10页
光纤高温传感技术是一种新型的温度测量技术,在工业领域的应用中,不仅要求高温传感器精度高、稳定性好、响应快,而且希望降低传感器的制造成本。目前常见的光纤高温传感器结构过于追求灵敏度的提高而牺牲稳定性,同时,加工工艺复杂,难以...
光纤高温传感技术是一种新型的温度测量技术,在工业领域的应用中,不仅要求高温传感器精度高、稳定性好、响应快,而且希望降低传感器的制造成本。目前常见的光纤高温传感器结构过于追求灵敏度的提高而牺牲稳定性,同时,加工工艺复杂,难以批量制备。针对以上情况,采用飞秒激光微加工,设计并制作了一种基于法布里-珀罗干涉仪的高温光纤传感器。把飞秒激光束聚焦在光纤端面附近刻蚀宽度30μm、深度79μm的微腔,形成光纤法布里-珀罗干涉结构,并测试其高温传感特性。结果表明,最高测量温度可达800℃,高温灵敏度为11.3 pm/℃,线性度达99.7%。该结构具有良好的温度稳定性和重复性,在800℃下测得的最大温度偏差不超过±1.77℃。这种全光纤传感结构具有制造简单、成本低、体积小、可批量生产等优点,在石油勘探和热核反应堆等领域的远程温度测量方面具有一定的实用价值。
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关键词
高温传感
光纤传感器
微加工
飞秒激光
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职称材料
题名
飞秒激光加工光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器
1
作者
唐前浩
朱一新
郑怀锦
李生杰
李春波
肖海兵
于永芹
杜晨林
阮双琛
机构
深圳技术大学中德智能制造学院广东省高校先进光学精密制造技术重点实验室
深圳
信息职业
技术
学院
智能
制造
与装备
学院
出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第5期283-292,共10页
基金
国家自然科学基金项目(61935014)
深圳市科技项目(JCYJ20200109144012410)
+2 种基金
深圳市科技计划项目(GJHZ20220913143012022)
深圳技术大学研究生院与企业合作项目(XQHZ202201)
广东省普通高校科研项目(2021KCXTD058)。
文摘
光纤高温传感技术是一种新型的温度测量技术,在工业领域的应用中,不仅要求高温传感器精度高、稳定性好、响应快,而且希望降低传感器的制造成本。目前常见的光纤高温传感器结构过于追求灵敏度的提高而牺牲稳定性,同时,加工工艺复杂,难以批量制备。针对以上情况,采用飞秒激光微加工,设计并制作了一种基于法布里-珀罗干涉仪的高温光纤传感器。把飞秒激光束聚焦在光纤端面附近刻蚀宽度30μm、深度79μm的微腔,形成光纤法布里-珀罗干涉结构,并测试其高温传感特性。结果表明,最高测量温度可达800℃,高温灵敏度为11.3 pm/℃,线性度达99.7%。该结构具有良好的温度稳定性和重复性,在800℃下测得的最大温度偏差不超过±1.77℃。这种全光纤传感结构具有制造简单、成本低、体积小、可批量生产等优点,在石油勘探和热核反应堆等领域的远程温度测量方面具有一定的实用价值。
关键词
高温传感
光纤传感器
微加工
飞秒激光
Keywords
high temperature sensing
optical fiber sensor
micromachining
femtosecond laser
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
飞秒激光加工光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器
唐前浩
朱一新
郑怀锦
李生杰
李春波
肖海兵
于永芹
杜晨林
阮双琛
《红外与激光工程》
北大核心
2025
0
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