期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究
1
作者 陈灵 刘正义 +3 位作者 邱万奇 黄元盛 刘铁林 欧阳光胜 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期379-381,共3页
用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐... 用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐蚀、化学稳定性好。 展开更多
关键词 射频辉光放电等离子体 化学气相沉积 类金刚石膜 制备 力学性能 光学性能 化学性能
在线阅读 下载PDF
金刚石膜材料研制及应用
2
作者 刘南林 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期65-65,共1页
金刚石膜材料属于国家863项目,被国际材料界称为决定21世纪技术潜力的战略材料。该材料具有高硬度、高透光率、耐磨损、生物惰性、化学惰性、导热良好和传音速度快等优于其他材料的多项性能。雷地公司成功地实现了在常温常压条件下生成... 金刚石膜材料属于国家863项目,被国际材料界称为决定21世纪技术潜力的战略材料。该材料具有高硬度、高透光率、耐磨损、生物惰性、化学惰性、导热良好和传音速度快等优于其他材料的多项性能。雷地公司成功地实现了在常温常压条件下生成大面积优质金刚石膜的技术突破.拥有从工艺、设备到产品的全部知识产权,已获发明专利8项,并在军工、电子、医学、声学、化工、机械等领域开发了20多项新产品。 展开更多
关键词 金刚石材料 研制 应用
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部