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薄膜表面粗糙度对内应力测量的影响初析
被引量：
1
1
作者
何建波
何百林
朱云贵
《合肥工业大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
2001年第1期85-89,共5页
薄膜表面粗糙度对内应力的测量产生复杂的影响。文章通过理论分析和计算 ,得到如下结论 :表面粗糙度使得内应力的测量值小于其真实值 ;当表面粗糙颗粒可以用球体描述时 ,粗糙度对内应力测量值的影响仅取决于球状颗粒与表平面之间的接触...
薄膜表面粗糙度对内应力的测量产生复杂的影响。文章通过理论分析和计算 ,得到如下结论 :表面粗糙度使得内应力的测量值小于其真实值 ;当表面粗糙颗粒可以用球体描述时 ,粗糙度对内应力测量值的影响仅取决于球状颗粒与表平面之间的接触角 ,而与颗粒的半径大小无关 ,若颗粒恰为半球体 ,内应力测量值与实际值之比为 0 .785 4;当粗糙表面轮廓线可以用正弦曲线表示时 ,上述影响则取决于正弦波的波幅和波距之比。
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关键词
表面粗糙度
内应力
薄膜
测量
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职称材料
题名
薄膜表面粗糙度对内应力测量的影响初析
被引量：
1
1
作者
何建波
何百林
朱云贵
机构
合肥
工业
大学化学工程学院
深圳市科技工业园
出处
《合肥工业大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
2001年第1期85-89,共5页
基金
安徽省自然科学基金资助项目! (985 3 3 5 40 )
文摘
薄膜表面粗糙度对内应力的测量产生复杂的影响。文章通过理论分析和计算 ,得到如下结论 :表面粗糙度使得内应力的测量值小于其真实值 ;当表面粗糙颗粒可以用球体描述时 ,粗糙度对内应力测量值的影响仅取决于球状颗粒与表平面之间的接触角 ,而与颗粒的半径大小无关 ,若颗粒恰为半球体 ,内应力测量值与实际值之比为 0 .785 4;当粗糙表面轮廓线可以用正弦曲线表示时 ,上述影响则取决于正弦波的波幅和波距之比。
关键词
表面粗糙度
内应力
薄膜
测量
Keywords
roughness of surface
intrinsic stress
thin film
分类号
O484.2 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜表面粗糙度对内应力测量的影响初析
何建波
何百林
朱云贵
《合肥工业大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
2001
1
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