期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究
被引量：
2
1
作者
杨伟
彭信翰
张骏
《红外技术》
CSCD
北大核心
2009年第7期373-376,共4页
采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化,分别在空气中和碱溶液中使用紫外激光对钛酸锶钡(BST)材料进行划线,分析了溶液和激光参数的影响。使用KOH溶液作为辅助介质时,获得了宽为8μm,深约25μm,边缘光滑,侧壁...
采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化,分别在空气中和碱溶液中使用紫外激光对钛酸锶钡(BST)材料进行划线,分析了溶液和激光参数的影响。使用KOH溶液作为辅助介质时,获得了宽为8μm,深约25μm,边缘光滑,侧壁垂直度高的微槽,已满足了实际应用要求。
展开更多
关键词
激光刻蚀
紫外激光
BST
非制冷红外焦平面阵列
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究
被引量：
2
1
作者
杨伟
彭信翰
张骏
机构
烟台大学光电学院
深圳市木森科技有限公司
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2009年第7期373-376,共4页
文摘
采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化,分别在空气中和碱溶液中使用紫外激光对钛酸锶钡(BST)材料进行划线,分析了溶液和激光参数的影响。使用KOH溶液作为辅助介质时,获得了宽为8μm,深约25μm,边缘光滑,侧壁垂直度高的微槽,已满足了实际应用要求。
关键词
激光刻蚀
紫外激光
BST
非制冷红外焦平面阵列
Keywords
laser etching
UV laser
BST
uncooled infrared focal plane arrays
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
TN249 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究
杨伟
彭信翰
张骏
《红外技术》
CSCD
北大核心
2009
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
