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电子能量损失谱在BaTiO_(3)基多层陶瓷电容器中的应用研究
1
作者
吴鲁康
傅正钱
+4 位作者
于子怡
杨俊
周斌
陈学锋
许钫钫
《无机材料学报》
北大核心
2025年第6期683-689,共7页
消费电子、航空航天和国防科研等领域对BaTiO_(3)基多层陶瓷电容器(Multi-layer Ceramic Capacitor, MLCC)的性能要求日益提高。在MLCC复杂制作工艺过程中,元素的分布和偏析会显著影响其相组成、微结构和性能,亟需一个有效的分析手段在...
消费电子、航空航天和国防科研等领域对BaTiO_(3)基多层陶瓷电容器(Multi-layer Ceramic Capacitor, MLCC)的性能要求日益提高。在MLCC复杂制作工艺过程中,元素的分布和偏析会显著影响其相组成、微结构和性能,亟需一个有效的分析手段在微观尺度上对MLCC进行元素精确解析。基于先进透射电镜(Transmission Electron Microscope,TEM)的元素分析技术因在亚埃尺度的超高空间分辨率而展现出独特优势。其中, X射线能谱(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)可快速定性分析金属元素,但对轻元素O的检测灵敏度较低,且因能量分辨率较低(~130eV),致使Ba和Ti元素存在谱峰重叠,无法进行准确的定量分析。相比之下,电子能量损失谱(Electron Energy-loss Spectroscopy, EELS)不仅具有超高能量分辨率(<1.0 eV),而且能够给出化学价态等信息,在MLCC微观尺度元素分析中具有较大的潜力与优势。本工作一方面利用EELS解决了EDS因谱峰重叠而不能区分Ba和Ti元素的问题;另一方面通过EELS揭示了在较小晶粒中Ti^(3+)离子占比更多,且单晶粒的EELS线扫分析发现烧结过程中Ba的扩散比Ti更容易。基于高空间分辨率的EELS可以提供更为准确和丰富的元素和价态信息,为MLCC的工艺改良和性能优化提供重要支撑。
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关键词
多层陶瓷电容器
元素分析
电子能量损失谱
BaTiO_(3)
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职称材料
题名
电子能量损失谱在BaTiO_(3)基多层陶瓷电容器中的应用研究
1
作者
吴鲁康
傅正钱
于子怡
杨俊
周斌
陈学锋
许钫钫
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所
深圳市宇阳科技发展有限公司
出处
《无机材料学报》
北大核心
2025年第6期683-689,共7页
基金
国家重点研发计划(2023YFB3508200)
上海市无机材料测试与表征技术平台(19DZ2290700)。
文摘
消费电子、航空航天和国防科研等领域对BaTiO_(3)基多层陶瓷电容器(Multi-layer Ceramic Capacitor, MLCC)的性能要求日益提高。在MLCC复杂制作工艺过程中,元素的分布和偏析会显著影响其相组成、微结构和性能,亟需一个有效的分析手段在微观尺度上对MLCC进行元素精确解析。基于先进透射电镜(Transmission Electron Microscope,TEM)的元素分析技术因在亚埃尺度的超高空间分辨率而展现出独特优势。其中, X射线能谱(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)可快速定性分析金属元素,但对轻元素O的检测灵敏度较低,且因能量分辨率较低(~130eV),致使Ba和Ti元素存在谱峰重叠,无法进行准确的定量分析。相比之下,电子能量损失谱(Electron Energy-loss Spectroscopy, EELS)不仅具有超高能量分辨率(<1.0 eV),而且能够给出化学价态等信息,在MLCC微观尺度元素分析中具有较大的潜力与优势。本工作一方面利用EELS解决了EDS因谱峰重叠而不能区分Ba和Ti元素的问题;另一方面通过EELS揭示了在较小晶粒中Ti^(3+)离子占比更多,且单晶粒的EELS线扫分析发现烧结过程中Ba的扩散比Ti更容易。基于高空间分辨率的EELS可以提供更为准确和丰富的元素和价态信息,为MLCC的工艺改良和性能优化提供重要支撑。
关键词
多层陶瓷电容器
元素分析
电子能量损失谱
BaTiO_(3)
Keywords
multi-layer ceramic capacitor
elemental analysis
electron energy-loss spectroscopy
BaTiO_(3)
分类号
TQ533 [化学工程—煤化学工程]
TM534 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电子能量损失谱在BaTiO_(3)基多层陶瓷电容器中的应用研究
吴鲁康
傅正钱
于子怡
杨俊
周斌
陈学锋
许钫钫
《无机材料学报》
北大核心
2025
0
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