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题名半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析
被引量：8
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作者
职远
张丁超
刘俊杰
夏群艳
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机构
天津大学
天津大学环境科学与工程学院
深圳市华净科技有限公司
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出处
《暖通空调》
2021年第3期46-50,共5页
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基金
国家重点研发计划项目“洁净空调厂房的节能设计与关键技术设备研究”(编号:2018YFC0705203)。
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文摘
以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控制效果。并对比了室外空气环境及运行前后污染物种类的不同,确定了洁净室不同气态化学污染物的污染源信息。测试发现,新风机组的化学过滤器实际去除效率仅仅达到50%,无法满足规范中70%的要求。而微电子洁净室的酸性污染物主要来自于室外空气,氨气浓度较高,来源于室外空气和水泥等建筑材料;凝结物的污染源主要是室内源,来自室内的装修材料、清洗剂及生产工艺材料。
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关键词
洁净室
在线监测
污染源分析
气态化学污染物
化学过滤器
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Keywords
clean-room
online monitoring
pollutant source analysis
gaseous chemical contaminant
chemical filter
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分类号
X51
[环境科学与工程—环境工程]
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