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热电薄膜与薄膜温差电池研究进展 被引量:6
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作者 范平 郑壮豪 +1 位作者 张东平 梁广兴 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期700-704,共5页
热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。近年来研究发现,薄膜热电材料及其器件有高的热电转换效率和实用性,具有重要的研究价值和市场实用价值。本文首先介绍国内外低温B-i Sb-Te系热电薄膜材料的研究现状... 热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。近年来研究发现,薄膜热电材料及其器件有高的热电转换效率和实用性,具有重要的研究价值和市场实用价值。本文首先介绍国内外低温B-i Sb-Te系热电薄膜材料的研究现状,在阐述提高B-i Sb-Te系薄膜热电材料性能的方法、途径以及其应用的基础上,介绍了热电薄膜制备技术方面的关键科学问题所在。其次介绍了国内外薄膜温差电池的研究进展和发展趋势。在总结薄膜热电材料及其器件发展历史和分析热电理论的基础上,阐述了薄膜温差电池方面的研究进展和关键技术所在。 展开更多
关键词 热电薄膜 薄膜温差电池 薄膜热电性能 优值 功率因子
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铜铟镓硒薄膜太阳电池的研究进展 被引量:6
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作者 陈超铭 范平 +3 位作者 梁广兴 郑壮豪 罗景庭 张东平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1011-1018,共8页
综述了国内外铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池的研究现状;概述了CIGS薄膜太阳电池的典型结构及其吸收层的材料特性;重点介绍了CIGS薄膜吸收层的制备方法,如多元共蒸发法、预置层后硒化法、单靶磁控溅射法、离子束溅射法和电沉积法;最后探讨... 综述了国内外铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池的研究现状;概述了CIGS薄膜太阳电池的典型结构及其吸收层的材料特性;重点介绍了CIGS薄膜吸收层的制备方法,如多元共蒸发法、预置层后硒化法、单靶磁控溅射法、离子束溅射法和电沉积法;最后探讨了CIGS薄膜太阳电池存在的问题及今后研究方向。 展开更多
关键词 太阳电池 铜铟镓硒 薄膜 制备方法
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氧分压对磁控溅射VO_2薄膜相变性能的影响 被引量:2
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作者 张东平 朱茂东 +4 位作者 杨凯 刘毅 黄仁桂 蔡兴民 范平 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期645-651,共7页
采用直流反应磁控溅射工艺在不同氧分压下制备VO2相变薄膜.分别用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、四探针方阻测量系统和分光光度计对薄膜微结构、表面形貌、电学及光学特性进行表征.测量结果表明,薄膜样品是由包含VO2相在内的多相复杂体... 采用直流反应磁控溅射工艺在不同氧分压下制备VO2相变薄膜.分别用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、四探针方阻测量系统和分光光度计对薄膜微结构、表面形貌、电学及光学特性进行表征.测量结果表明,薄膜样品是由包含VO2相在内的多相复杂体系构成的,随着氧分压的增加,薄膜中高价态相的钒氧化物增多.所有薄膜均呈现出压应力,压应力大小随着氧分压的升高而逐渐减小.方块电阻温变结果表明,薄膜具有明显半导体-金属相变特性,相变性能随着氧分压的升高呈先增后减特征.高低温透射谱表明,薄膜具有良好红外开关特性.氧分压改变导致膜中氧空位缺陷密度和微结构变化是VO2薄膜半导体-金属相变性能改变的主因.本实验条件下,具有良好热致相变性能的VO2薄膜的最佳生长氧分压是0.04 Pa. 展开更多
关键词 凝聚态物理 VO2薄膜 磁控溅射 氧分压 相变 微结构 光学透过率
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