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线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具
被引量：
5
1
作者
钟金明
伍晓宇
+3 位作者
徐斌
罗烽
李积彬
阮双琛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期988-995,共8页
采用线切割和真空压力热扩散焊组合工艺制备了高深宽比的三维微结构。分别研究了线切割与热扩散焊工艺并获得了较好的工艺参数用于制备微模具。首先,在脉冲宽度为10μs,脉冲间隔为40μs,线切割电流为0.28A,电压为60V的条件下,对100μm...
采用线切割和真空压力热扩散焊组合工艺制备了高深宽比的三维微结构。分别研究了线切割与热扩散焊工艺并获得了较好的工艺参数用于制备微模具。首先,在脉冲宽度为10μs,脉冲间隔为40μs,线切割电流为0.28A,电压为60V的条件下,对100μm厚的铜箔进行线切割,获得了多层二维微结构。然后,在热扩散温度为850℃,热扩散时间为10h,压力为1.0μPa的工艺参数作用下,对多层铜箔二维微结构进行真空压力热扩散焊接,通过多层二维微结构的叠加形成微模具,并制备了六棱台微型腔模具及微型级联齿轮模具。实验结果表明:三维微模具表面形貌较好,制作结果较理想,与设计模型基本相符。最后,通过超声模压成型分别获得了二阶和三阶的塑料级联齿轮。这些微塑件质量良好,验证了该工艺方法的可行性。
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关键词
三维微结构
微注塑模具
线切割
真空压力热扩散焊
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职称材料
题名
线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具
被引量：
5
1
作者
钟金明
伍晓宇
徐斌
罗烽
李积彬
阮双琛
机构
深圳大学
机电与控制工程学院
深圳
市模具
先进
制造
技术
重点
实验室
深圳大学广东省高校先进光学精密制造技术重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期988-995,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51175348
No.51375315
+3 种基金
No.51405306)
中国博士后科学基金资助项目(No.2014M552233)
深圳市科技研发资金基础研究项目(No.JCYJ20130329143934356
No.JCYJ20140418095735629)
文摘
采用线切割和真空压力热扩散焊组合工艺制备了高深宽比的三维微结构。分别研究了线切割与热扩散焊工艺并获得了较好的工艺参数用于制备微模具。首先,在脉冲宽度为10μs,脉冲间隔为40μs,线切割电流为0.28A,电压为60V的条件下,对100μm厚的铜箔进行线切割,获得了多层二维微结构。然后,在热扩散温度为850℃,热扩散时间为10h,压力为1.0μPa的工艺参数作用下,对多层铜箔二维微结构进行真空压力热扩散焊接,通过多层二维微结构的叠加形成微模具,并制备了六棱台微型腔模具及微型级联齿轮模具。实验结果表明:三维微模具表面形貌较好,制作结果较理想,与设计模型基本相符。最后,通过超声模压成型分别获得了二阶和三阶的塑料级联齿轮。这些微塑件质量良好,验证了该工艺方法的可行性。
关键词
三维微结构
微注塑模具
线切割
真空压力热扩散焊
Keywords
3D micro-structure
micro-injection mold
Wire Electrical Discharge Mechining（WEDM） vacuum pressure thermal diffusion welding
分类号
TG76 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具
钟金明
伍晓宇
徐斌
罗烽
李积彬
阮双琛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
5
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职称材料
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