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静电探针测量射频感应耦合等离子体密度
被引量：
3
1
作者
曹小明
顾彪
+1 位作者
徐茵
张砚臣
《实用测试技术》
CAS
1999年第4期35-37,共3页
本文介绍了一种可以测量射频感应耦合等离子体密度的静电探针方法。并给出了它的测量原理，实验方法和实验结果。实验结果表明：所测等离子体密度反映了等离子体的特性，并且诊断手段简单、易行，为等离子体诊断提供了一种很好的实验手段。
关键词
等离子体诊断
静电探针
等离子体密度
射频感应耦合
在线阅读
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职称材料
题名
静电探针测量射频感应耦合等离子体密度
被引量：
3
1
作者
曹小明
顾彪
徐茵
张砚臣
机构
中科院沈阳金属所
大连理工大学电磁系
深圳华为集团产品部
出处
《实用测试技术》
CAS
1999年第4期35-37,共3页
文摘
本文介绍了一种可以测量射频感应耦合等离子体密度的静电探针方法。并给出了它的测量原理，实验方法和实验结果。实验结果表明：所测等离子体密度反映了等离子体的特性，并且诊断手段简单、易行，为等离子体诊断提供了一种很好的实验手段。
关键词
等离子体诊断
静电探针
等离子体密度
射频感应耦合
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
TL657 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电探针测量射频感应耦合等离子体密度
曹小明
顾彪
徐茵
张砚臣
《实用测试技术》
CAS
1999
3
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职称材料
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