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基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响
被引量：
2
1
作者
马群
王佐平
+1 位作者
黄建余
边东梅
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2009年第14期105-108,共4页
使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明...
使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明显影响。
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关键词
类石墨复合膜
渗碳淬火
非平衡闭合磁控溅射
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职称材料
题名
基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响
被引量：
2
1
作者
马群
王佐平
黄建余
边东梅
机构
海装驻西安地区军事代表室
中国船舶重工集团公司第十二研究所
乌鲁木齐石油设备安装公司
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2009年第14期105-108,共4页
文摘
使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明显影响。
关键词
类石墨复合膜
渗碳淬火
非平衡闭合磁控溅射
Keywords
graphite-like composite coating
carburizing and quench hardening
closed field unbalanced magnetron sputter iron plating
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响
马群
王佐平
黄建余
边东梅
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2009
2
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职称材料
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