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光学薄膜的损耗测试与分析
被引量：
10
1
作者
季一勤
崔玉平
+5 位作者
刘华松
宗杰
宋洪君
洪伟
姜福灏
孙赤权
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008年第3期505-508,共4页
随着激光基准系统和高精度激光测量系统的发展和应用,推动了超低损耗薄膜技术的发展,进一步控制损耗各分量的大小和分布,需要对光学薄膜总损耗进行测试分析。采用DIBS镀膜工艺在超光滑基底上镀制了高反膜和减反膜,给出了镀膜的工艺方法...
随着激光基准系统和高精度激光测量系统的发展和应用,推动了超低损耗薄膜技术的发展,进一步控制损耗各分量的大小和分布,需要对光学薄膜总损耗进行测试分析。采用DIBS镀膜工艺在超光滑基底上镀制了高反膜和减反膜,给出了镀膜的工艺方法及工艺参数。通过分析时间衰减法测试总损耗的原理,分别采用时间衰减法和频率扫描法测试了光学薄膜的总损耗,在632.8nm波长点的测试结果为:高反膜层吸收为19.6×10-6,反射率达到99.99686%;减反膜层总损耗为78×10-6。最后对光学薄膜总损耗的构成和工艺改进进行了探讨。
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关键词
总损耗
测试
分析
高反膜
减反膜
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职称材料
题名
光学薄膜的损耗测试与分析
被引量：
10
1
作者
季一勤
崔玉平
刘华松
宗杰
宋洪君
洪伟
姜福灏
孙赤权
机构
天津
津航技术物理研究所
北京自动化控制
设备
研究所
海装天津局驻天津兵器设备军代表室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008年第3期505-508,共4页
文摘
随着激光基准系统和高精度激光测量系统的发展和应用,推动了超低损耗薄膜技术的发展,进一步控制损耗各分量的大小和分布,需要对光学薄膜总损耗进行测试分析。采用DIBS镀膜工艺在超光滑基底上镀制了高反膜和减反膜,给出了镀膜的工艺方法及工艺参数。通过分析时间衰减法测试总损耗的原理,分别采用时间衰减法和频率扫描法测试了光学薄膜的总损耗,在632.8nm波长点的测试结果为:高反膜层吸收为19.6×10-6,反射率达到99.99686%;减反膜层总损耗为78×10-6。最后对光学薄膜总损耗的构成和工艺改进进行了探讨。
关键词
总损耗
测试
分析
高反膜
减反膜
Keywords
Whole loss
Test
Analysis
High reflection
Anti-reflection
分类号
O432 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学薄膜的损耗测试与分析
季一勤
崔玉平
刘华松
宗杰
宋洪君
洪伟
姜福灏
孙赤权
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008
10
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