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SiO_2薄膜TO与LO振动模式的数值研究
被引量：
1
1
作者
刘华松
罗征
+5 位作者
刘幕霄
姜玉刚
王利栓
季一勤
张锋
陈德应
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第11期3746-3750,共5页
对Si-SiO2基底薄膜系统进行数值实验,将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比,讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式。在正入射的红外透过率光谱中,仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式...
对Si-SiO2基底薄膜系统进行数值实验,将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比,讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式。在正入射的红外透过率光谱中,仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式;在倾斜入射的s偏振透过率光谱中没有激发的LO模式;在倾斜入射的p偏振透过率光谱中,当入射角小于60°时,三个TO振动模式全部被激发;当入射角大于60°时,三个LO振动模式都被激发,而TO模式仅能激发两个。在反射椭偏光谱中,TO模式未被激发,仅能激发LO模式。在透过率光谱和反射椭偏谱中,振动频率分别具有向高波数和低波数方向频移的现象。
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关键词
SIO2薄膜
TO模式
LO模式
透过率光谱
反射椭偏谱
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职称材料
题名
SiO_2薄膜TO与LO振动模式的数值研究
被引量：
1
1
作者
刘华松
罗征
刘幕霄
姜玉刚
王利栓
季一勤
张锋
陈德应
机构
中国航天科工飞航技术研究院
天津
津航技术物理研究所
天津
市薄膜光学重点实验
室
哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验
室
海军装备部天津局驻天津地区兵器设备军事代表室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第11期3746-3750,共5页
基金
国家自然科学基金(61235011)
国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164)
+1 种基金
天津市科委项目(14JCQNJC02400
13JCYBJC17300)
文摘
对Si-SiO2基底薄膜系统进行数值实验,将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比,讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式。在正入射的红外透过率光谱中,仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式;在倾斜入射的s偏振透过率光谱中没有激发的LO模式;在倾斜入射的p偏振透过率光谱中,当入射角小于60°时,三个TO振动模式全部被激发;当入射角大于60°时,三个LO振动模式都被激发,而TO模式仅能激发两个。在反射椭偏光谱中,TO模式未被激发,仅能激发LO模式。在透过率光谱和反射椭偏谱中,振动频率分别具有向高波数和低波数方向频移的现象。
关键词
SIO2薄膜
TO模式
LO模式
透过率光谱
反射椭偏谱
Keywords
SiO2 film
TO mode
LO mode
transmission spectrum
reflection spectroscopic ellipsometry
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SiO_2薄膜TO与LO振动模式的数值研究
刘华松
罗征
刘幕霄
姜玉刚
王利栓
季一勤
张锋
陈德应
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014
1
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