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蓝宝石加工过程中金刚石线锯生命周期表面形貌及抗拉极限载荷实验研究
被引量：
1
1
作者
倪永明
黎振
李国和
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第4期62-66,共5页
为优化金刚石线锯多线切割加工蓝宝石晶片的工艺参数,通过加工实验,获得金刚石线锯生命周期内各个阶段样本,采用扫描电镜分析样本表面形貌;用拉伸试验机对样本抗拉极限载荷进行测试,得到样本的抗拉极限载荷,并对断口形貌进行分析。实验...
为优化金刚石线锯多线切割加工蓝宝石晶片的工艺参数,通过加工实验,获得金刚石线锯生命周期内各个阶段样本,采用扫描电镜分析样本表面形貌;用拉伸试验机对样本抗拉极限载荷进行测试,得到样本的抗拉极限载荷,并对断口形貌进行分析。实验结果表明:金刚石磨粒在生命周期内,经历包覆磨损、显露、碎裂、脱落的过程;磨粒碎裂是导致脱落的主要原因;生命周期内,金刚石线锯抗拉极限并没有随着线磨损、金刚石颗粒掉落而降低;断口分为裂纹扩展区、瞬断区、电镀层区,且电镀层区与瞬断区发生分离。在分析结果的基础上,给出工艺参数优化方法。
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关键词
金刚石线锯
蓝宝石
多线切割
表面形貌
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职称材料
外延硅片表面时间雾的形成及其机理
2
作者
李慎重
梁兴勃
+2 位作者
田达晰
马向阳
杨德仁
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期266-273,共8页
外延片生产中有时会遇到外延硅片在洁净室中暴露--段时间后产生雾状宏观缺陷(即所谓的时间雾)的不利情形,然而关于外延硅片表面时间雾的成因目前尚不清楚。通过探究常压化学气相外延工艺生长的外延硅片表面时间雾的形成条件,发现外延硅...
外延片生产中有时会遇到外延硅片在洁净室中暴露--段时间后产生雾状宏观缺陷(即所谓的时间雾)的不利情形,然而关于外延硅片表面时间雾的成因目前尚不清楚。通过探究常压化学气相外延工艺生长的外延硅片表面时间雾的形成条件,发现外延硅片取出之前生长腔和传递腔之间的压力差是时间雾形成与否的关键因素。分析认为:取片之前,当生长腔相对传递腔为正压时,外延尾气的返流使得外延硅片表面吸附了尾气中的SiCl_(2)及其团簇(SiCl_(2))_(n),进一步吸附空气中的水分并与之发生化学反应,这是时间雾形成的内因。采用扫描电子显微镜(SEM)、X光能量色散谱(EDS)和全反射X光荧光光谱(TXRF)等手段,对时间雾相关的颗粒形貌和组分进行表征。结果表明:时间雾相关的颗粒呈现为规则多面体和球形两种典型形貌,前者与NH_(4)Cl小晶体有关,而后者与有机物有关。分析认为:洁净室空气中的含NH_(4)^(+)无机组分以及异丙醇(IPA)等有机组分是形成时间雾的外因。生产中避免外延硅片表面时间雾的根本措施在于,在外延炉腔中取片之前必须避免外延工艺的尾气不会返流至生长腔。
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关键词
外延硅片
时间雾
无机组分
有机组分
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职称材料
题名
蓝宝石加工过程中金刚石线锯生命周期表面形貌及抗拉极限载荷实验研究
被引量：
1
1
作者
倪永明
黎振
李国和
机构
浙江金瑞泓科技股份有限公司
天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第4期62-66,共5页
基金
国家自然科学基金(51505336)
国家自然科学基金(51305301)
+3 种基金
天津职业技术师范大学科研发展基金(KJ15–03)
天津科技创新体系及平台建设计划(14TXGCCX00011)
天津市高等学校创新团队培养计划(TD12–5043)
天津市应用基础与前沿计划项目(14JCQNJC05100)
文摘
为优化金刚石线锯多线切割加工蓝宝石晶片的工艺参数,通过加工实验,获得金刚石线锯生命周期内各个阶段样本,采用扫描电镜分析样本表面形貌;用拉伸试验机对样本抗拉极限载荷进行测试,得到样本的抗拉极限载荷,并对断口形貌进行分析。实验结果表明:金刚石磨粒在生命周期内,经历包覆磨损、显露、碎裂、脱落的过程;磨粒碎裂是导致脱落的主要原因;生命周期内,金刚石线锯抗拉极限并没有随着线磨损、金刚石颗粒掉落而降低;断口分为裂纹扩展区、瞬断区、电镀层区,且电镀层区与瞬断区发生分离。在分析结果的基础上,给出工艺参数优化方法。
关键词
金刚石线锯
蓝宝石
多线切割
表面形貌
Keywords
diamond wire saw
sapphire
multi-wire sawing
surface topography
分类号
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
外延硅片表面时间雾的形成及其机理
2
作者
李慎重
梁兴勃
田达晰
马向阳
杨德仁
机构
浙江
大学硅材料国家重点实验室
浙江金瑞泓科技股份有限公司
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期266-273,共8页
基金
浙江省重点研发计划(2020C01009)
国家自然科学基金(51532007,61674126)资助项目。
文摘
外延片生产中有时会遇到外延硅片在洁净室中暴露--段时间后产生雾状宏观缺陷(即所谓的时间雾)的不利情形,然而关于外延硅片表面时间雾的成因目前尚不清楚。通过探究常压化学气相外延工艺生长的外延硅片表面时间雾的形成条件,发现外延硅片取出之前生长腔和传递腔之间的压力差是时间雾形成与否的关键因素。分析认为:取片之前,当生长腔相对传递腔为正压时,外延尾气的返流使得外延硅片表面吸附了尾气中的SiCl_(2)及其团簇(SiCl_(2))_(n),进一步吸附空气中的水分并与之发生化学反应,这是时间雾形成的内因。采用扫描电子显微镜(SEM)、X光能量色散谱(EDS)和全反射X光荧光光谱(TXRF)等手段,对时间雾相关的颗粒形貌和组分进行表征。结果表明:时间雾相关的颗粒呈现为规则多面体和球形两种典型形貌,前者与NH_(4)Cl小晶体有关,而后者与有机物有关。分析认为:洁净室空气中的含NH_(4)^(+)无机组分以及异丙醇(IPA)等有机组分是形成时间雾的外因。生产中避免外延硅片表面时间雾的根本措施在于,在外延炉腔中取片之前必须避免外延工艺的尾气不会返流至生长腔。
关键词
外延硅片
时间雾
无机组分
有机组分
Keywords
epitaxial silicon wafer
time-dependent haze(TDH)
inorganic species
organic species
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
蓝宝石加工过程中金刚石线锯生命周期表面形貌及抗拉极限载荷实验研究
倪永明
黎振
李国和
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
外延硅片表面时间雾的形成及其机理
李慎重
梁兴勃
田达晰
马向阳
杨德仁
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
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职称材料
已选择
0
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