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一种电驱动双活塞式气体流量标准装置的研制 被引量:10
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作者 陈慧云 程佳 +2 位作者 黄震威 李东升 徐志鹏 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第1期87-90,共4页
为了解决活塞式气体流量标准装置的最大检定流量受活塞缸容积限制的问题,开发了一种双活塞式气体流量标准装置。该装置利用2个活塞交替运行连续产生标准流量。简述了该双活塞式气体流量标准装置的检定原理,根据临界流流量计的检定规程... 为了解决活塞式气体流量标准装置的最大检定流量受活塞缸容积限制的问题,开发了一种双活塞式气体流量标准装置。该装置利用2个活塞交替运行连续产生标准流量。简述了该双活塞式气体流量标准装置的检定原理,根据临界流流量计的检定规程和流量特性研究了装置的检定模型,介绍了装置软硬件设计,对装置进行重复性实验,结果表明:重复性优于0.05%,可以用于临界流流量计的检定。 展开更多
关键词 气体流量标准装置 双活塞 临界流流量计
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