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从头算分子动力学模拟Pd团簇负载UiO-66材料结构及稳定性被引量：4: 1; 作者陈德利杨鹏勇 +2 位作者武胜男何思慧王芳芳《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期1210-1215,共6页; 采用从头算分子动力学模拟与密度泛函理论相结合的方法,计算模拟了不同尺寸的Pdn(n=1~32)金属团簇在UiO-66孔道中的稳定构型,并对金属团簇与材料骨架之间的作用方式、结合能及骨架形变能等进行了讨论.采用Bader电荷分析方法对该体系的... 展开更多; 关键词 UiO-66 钯金属团簇从头算分子动力学密度泛函理论电荷转移; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子气体净化器现状与趋势被引量：4: 2; 作者叶向荣陈刚周黎旸《低温与特气》 CAS 2015年第2期1-6,共6页; 电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍... 展开更多; 关键词净化器电子气体在线净化净化材料痕量杂质; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于表面官能团反应的HCl电子气体深度除水研究被引量：4: 3; 作者叶向荣刘华平 +4 位作者黄明星张广第李军陈刚张坚文《低温与特气》 CAS 2020年第2期1-10,共10页; HCl电子气体是集成电路制程中刻蚀和清洗的关键气体,其水分、金属离子等有害杂质需严格控制,ppbv(10-9)级深度除水对保障HCl电子气体的纯度、品质稳定性和制程应用效果至关重要。常规活性炭虽然耐HCl腐蚀,具有较高比表面积,但除水活性... 展开更多; 关键词氯化氢电子气体深度除水活性炭酰氯化表面官能团; 在线阅读下载PDF 职称材料

HCl电子气体超纯纯化技术研究被引量：3: 4; 作者叶向荣刘华平 +4 位作者黄明星钟军张坚文王树华陈刚《低温与特气》 CAS 2019年第1期34-39,共6页; 报道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化,5N HCl电子气体中的水分,可由10-6(体积分数)级降至100×10-9(体积分数)以下,且重现性良好,水分最低降至12×10-9(体积分数);纯化过程不额外释出痕量的挥发性... 展开更多; 关键词纯化材料纯化器氯化氢深度除水吸附滞留; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名从头算分子动力学模拟Pd团簇负载UiO-66材料结构及稳定性被引量：4: 1; 作者陈德利杨鹏勇武胜男何思慧王芳芳; 机构浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室浙江师范大学化学与生命科学学院; 出处《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期1210-1215,共6页; 基金浙江省自然科学基金(批准号:LQ14B030001) 国家自然科学基金(批准号:21403198 21303165)资助~~; 文摘采用从头算分子动力学模拟与密度泛函理论相结合的方法,计算模拟了不同尺寸的Pdn(n=1~32)金属团簇在UiO-66孔道中的稳定构型,并对金属团簇与材料骨架之间的作用方式、结合能及骨架形变能等进行了讨论.采用Bader电荷分析方法对该体系的电荷转移情况进行了计算分析.结果表明,Pdn团簇稳定负载于UiO-66材料的四面体笼中,且均呈堆积型构型.当Pd原子个数为28时体系的热力学稳定性最好,这与金属团簇和有机配体的成键方式相关,是金属团簇内部结合能和骨架形变能综合作用的结果.; 关键词 UiO-66 钯金属团簇从头算分子动力学密度泛函理论电荷转移; Keywords UiO-66 transfer UiO-66, which could be used as the models for further investigations of the reaction @ UiO-66 as catalysts. Pd metal cluster Ab initio molecular dynamics Density functional theory Charge; 分类号 O641 [理学—物理化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子气体净化器现状与趋势被引量：4: 2; 作者叶向荣陈刚周黎旸; 机构浙江巨化股份有限公司浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室; 出处《低温与特气》 CAS 2015年第2期1-6,共6页; 文摘电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍和展望。; 关键词净化器电子气体在线净化净化材料痕量杂质; Keywords purifier electronic gas online purification purification media trace impurity; 分类号 TQ116 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于表面官能团反应的HCl电子气体深度除水研究被引量：4: 3; 作者叶向荣刘华平黄明星张广第李军陈刚张坚文; 机构浙江博瑞电子科技有限公司浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室衢州氟硅技术研究院; 出处《低温与特气》 CAS 2020年第2期1-10,共10页; 基金国家重点研发计划项目课题(2017YFB04055801)。; 文摘 HCl电子气体是集成电路制程中刻蚀和清洗的关键气体,其水分、金属离子等有害杂质需严格控制,ppbv(10-9)级深度除水对保障HCl电子气体的纯度、品质稳定性和制程应用效果至关重要。常规活性炭虽然耐HCl腐蚀,具有较高比表面积,但除水活性有限。该工作对活性炭进行了酰氯化修饰,并研究了酰氯化活性炭对HCl电子气体的深度除水作用。结果表明,活性炭经氧化酸化和酰氯化处理后,形成的表面酰氯化官能团可选择性地与HCl电子气体中的ppmv(10-6)级水分反应,将水分转化为HCl,使HCl电子气体中水分降至ppbv级,同时自身水解生成表面羧基等官能团,对存在HCl电子气体中和活性炭可能释出的痕量金属离子,有吸附阻滞作用,抑制了深度除水后HCl电子气体中金属离子的显著增加。由于表面羧基等官能团可重新酰氯化,活性炭材料对HCl电子气体的高效、选择性深度除水能力再生成为可能。该工作也为探索石墨烯、碳纳米管等新型碳材料在电子气体深度纯化上的新应用提供了依据。; 关键词氯化氢电子气体深度除水活性炭酰氯化表面官能团; Keywords HCl electronic gas deep dehydration activated carbon chlorination surface functional groups; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名HCl电子气体超纯纯化技术研究被引量：3: 4; 作者叶向荣刘华平黄明星钟军张坚文王树华陈刚; 机构浙江博瑞电子科技有限公司浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室衢州氟硅技术研究院; 出处《低温与特气》 CAS 2019年第1期34-39,共6页; 基金国家重点研发计划项目课题(2017YFB0405801); 文摘报道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化,5N HCl电子气体中的水分,可由10-6(体积分数)级降至100×10-9(体积分数)以下,且重现性良好,水分最低降至12×10-9(体积分数);纯化过程不额外释出痕量的挥发性金属杂质,对HCl中的多数金属杂质有吸附滞留作用。; 关键词纯化材料纯化器氯化氢深度除水吸附滞留; Keywords purification media purifier HCl deep dehydration adsorptive retention; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	从头算分子动力学模拟Pd团簇负载UiO-66材料结构及稳定性	陈德利杨鹏勇武胜男何思慧王芳芳	《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2017	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	电子气体净化器现状与趋势	叶向荣陈刚周黎旸	《低温与特气》 CAS	2015	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于表面官能团反应的HCl电子气体深度除水研究	叶向荣刘华平黄明星张广第李军陈刚张坚文	《低温与特气》 CAS	2020	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	HCl电子气体超纯纯化技术研究	叶向荣刘华平黄明星钟军张坚文王树华陈刚	《低温与特气》 CAS	2019	3	在线阅读下载PDF 职称材料