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低能等离子体轰击对单晶硅表面性能的影响
1
作者
余天翔
薛转转
+1 位作者
武鹏远
Oleksiy Penkov
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第2期89-97,共9页
为了研究低能等离子体轰击对单晶硅表面物理性能的影响。通过控制刻蚀时间和真空腔内气体压强等因素,使用低能等离子体对单面抛光单晶硅(100)进行刻蚀。通过测量刻蚀后硅片的刻蚀深度、硅片表面粗糙度、拉曼光谱以及接触角,研究硅片表...
为了研究低能等离子体轰击对单晶硅表面物理性能的影响。通过控制刻蚀时间和真空腔内气体压强等因素,使用低能等离子体对单面抛光单晶硅(100)进行刻蚀。通过测量刻蚀后硅片的刻蚀深度、硅片表面粗糙度、拉曼光谱以及接触角,研究硅片表面物理性能的变化。实验结果表明,随着刻蚀时间的增加,硅片刻蚀深度基本不变,而随着刻蚀压力的增加,硅片刻蚀深度先减小后增加。当刻蚀电流为0.1 A,气体压力为2 mTorr时,硅片表面粗糙度在刻蚀时间为40 s时达到极小值。对刻蚀后硅片的拉曼光谱进行测量,发现拉曼二阶峰在总体上随刻蚀时间的增加而略微降低。分别使用氩离子和氮离子对硅片进行刻蚀,发现两者在空气中保存一段时间后水滴角均会有不同程度的增加。将刻蚀后的硅片分别置于氩气、氮气和空气环境中保存,硅片表面水滴角变化趋势几乎完全一致。证明低温等离子体轰击在较短的刻蚀时间内对硅片厚度没有明显影响,对硅片表面的粗糙度有一定的提高效果,对硅片表面的润湿性也起到了一定的减小作用,其中氩离子轰击处理的硅片更是在保存一段时间后发生了由亲水性到疏水性的转变。
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关键词
单晶硅
等离子体轰击
刻蚀深度
表面粗糙度
拉曼光谱
接触角
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职称材料
FRP约束方钢管混凝土短柱轴压性能研究
被引量：
16
2
作者
张倚天
肖岩
《湖南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期50-56,共7页
通过对8个不同FRP材料(碳纤维、玻璃纤维和玄武岩纤维)约束的钢管混凝土方柱的轴压试验研究,揭示此类构件的受力机理与破坏形态,探讨不同FRP约束材料对约束方钢管混凝土的轴向力学性能的影响.试验结果表明,碳纤维约束试件强度和延性提...
通过对8个不同FRP材料(碳纤维、玻璃纤维和玄武岩纤维)约束的钢管混凝土方柱的轴压试验研究,揭示此类构件的受力机理与破坏形态,探讨不同FRP约束材料对约束方钢管混凝土的轴向力学性能的影响.试验结果表明,碳纤维约束试件强度和延性提高最为明显.FRP材料的约束强度越大,约束钢管混凝土的轴向承载力越高并且延性越好.在相同约束强度下,玄武岩纤维约束试件的延性优于玻璃纤维约束试件.针对FRP约束钢管混凝土方柱,提出了承载力计算公式.与本试验和其他学者试验结果对比显示,该公式计算结果与试验值吻合良好.
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关键词
约束钢管混凝土
承载力
FRP
约束
CCFT
方形截面
轴压
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职称材料
题名
低能等离子体轰击对单晶硅表面性能的影响
1
作者
余天翔
薛转转
武鹏远
Oleksiy Penkov
机构
浙江大学
浙江大学-伊利诺伊大学厄巴纳香槟校区联合学院
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第2期89-97,共9页
文摘
为了研究低能等离子体轰击对单晶硅表面物理性能的影响。通过控制刻蚀时间和真空腔内气体压强等因素,使用低能等离子体对单面抛光单晶硅(100)进行刻蚀。通过测量刻蚀后硅片的刻蚀深度、硅片表面粗糙度、拉曼光谱以及接触角,研究硅片表面物理性能的变化。实验结果表明,随着刻蚀时间的增加,硅片刻蚀深度基本不变,而随着刻蚀压力的增加,硅片刻蚀深度先减小后增加。当刻蚀电流为0.1 A,气体压力为2 mTorr时,硅片表面粗糙度在刻蚀时间为40 s时达到极小值。对刻蚀后硅片的拉曼光谱进行测量,发现拉曼二阶峰在总体上随刻蚀时间的增加而略微降低。分别使用氩离子和氮离子对硅片进行刻蚀,发现两者在空气中保存一段时间后水滴角均会有不同程度的增加。将刻蚀后的硅片分别置于氩气、氮气和空气环境中保存,硅片表面水滴角变化趋势几乎完全一致。证明低温等离子体轰击在较短的刻蚀时间内对硅片厚度没有明显影响,对硅片表面的粗糙度有一定的提高效果,对硅片表面的润湿性也起到了一定的减小作用,其中氩离子轰击处理的硅片更是在保存一段时间后发生了由亲水性到疏水性的转变。
关键词
单晶硅
等离子体轰击
刻蚀深度
表面粗糙度
拉曼光谱
接触角
Keywords
Monocrystalline silicon
Plasma bombardment
Etching depth
Surface roughness
Raman spectroscopy
Contact angle
分类号
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
FRP约束方钢管混凝土短柱轴压性能研究
被引量：
16
2
作者
张倚天
肖岩
机构
湖南
大学
土木工程
学院
浙江大学-伊利诺伊大学厄巴纳香槟校区联合学院
教育部建筑安全与节能重点实验室(湖南
大学
)
出处
《湖南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期50-56,共7页
基金
国家自然科学基金重点项目(51438010)
湖南省自然科学基金青年项目(2019JJ50093)~~
文摘
通过对8个不同FRP材料(碳纤维、玻璃纤维和玄武岩纤维)约束的钢管混凝土方柱的轴压试验研究,揭示此类构件的受力机理与破坏形态,探讨不同FRP约束材料对约束方钢管混凝土的轴向力学性能的影响.试验结果表明,碳纤维约束试件强度和延性提高最为明显.FRP材料的约束强度越大,约束钢管混凝土的轴向承载力越高并且延性越好.在相同约束强度下,玄武岩纤维约束试件的延性优于玻璃纤维约束试件.针对FRP约束钢管混凝土方柱,提出了承载力计算公式.与本试验和其他学者试验结果对比显示,该公式计算结果与试验值吻合良好.
关键词
约束钢管混凝土
承载力
FRP
约束
CCFT
方形截面
轴压
Keywords
confined concrete filled tubes
bearing capacity
FRP
confinement
CCFT
square sections
axial compression
分类号
TU398.9 [建筑科学—结构工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低能等离子体轰击对单晶硅表面性能的影响
余天翔
薛转转
武鹏远
Oleksiy Penkov
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
FRP约束方钢管混凝土短柱轴压性能研究
张倚天
肖岩
《湖南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
16
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职称材料
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