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基于双判别器深度卷积生成对抗网络的数字散斑干涉相位条纹修复
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作者 李仁豪 吴思进 +2 位作者 王昊伟 李伟仙 匡翠方 《探测与控制学报》 北大核心 2025年第4期80-87,共8页
数字散斑干涉测量技术作为一种高精度的光学非接触式全场测量方法,已经广泛应用于航空航天、高端制造等领域,但由于环境扰动影响,导致得到的相位条纹滤波后经常出现不连续的问题,会对检测结果产生严重影响。为此,提出一种基于双判别器... 数字散斑干涉测量技术作为一种高精度的光学非接触式全场测量方法,已经广泛应用于航空航天、高端制造等领域,但由于环境扰动影响,导致得到的相位条纹滤波后经常出现不连续的问题,会对检测结果产生严重影响。为此,提出一种基于双判别器深度卷积生成对抗网络的相位条纹修复方法,该方法能够学习到相位条纹的独特结构特征,从而有效地修复条纹。实验表明,修复后的条纹图在后续解包裹过程中“拉丝”现象明显减少,提高了相位恢复的准确性。 展开更多
关键词 数字散斑干涉 相位图 条纹修复 深度学习
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星载反射式成像系统计算光学设计方法综述 被引量:3
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作者 高金铭 郭劲英 +7 位作者 孙越 卞殷旭 于钱 彭吉龙 贺融 罗茂 匡翠方 司徒国海 《航天返回与遥感》 CSCD 北大核心 2023年第6期1-11,共11页
星载反射式遥感成像系统的结构集成度高、光学面型复杂,面临光学初始结构难以求解和像质优化难以收敛的设计难题。综述着重探讨星载反射式成像系统中的计算光学设计方法。星载反射式成像系统计算光学设计,包括复杂曲面反射镜、曲面反射... 星载反射式遥感成像系统的结构集成度高、光学面型复杂,面临光学初始结构难以求解和像质优化难以收敛的设计难题。综述着重探讨星载反射式成像系统中的计算光学设计方法。星载反射式成像系统计算光学设计,包括复杂曲面反射镜、曲面反射型光栅等硬件设计,以及计算成像图像解码等算法设计。面对星载遥感成像的不同应用,文章从深度学习光学结构设计、合成孔径计算成像、景深延拓计算成像、主动光学计算像差补偿和曲面光栅计算光谱成像等几个方面进行系统性地分类讨论。本综述结论为:基于计算光学的设计方法,无论在光学结构与面型求解方面,还是图像信号非线性逆问题求解方面,都具有强大的设计能力。在发展趋势上,计算光学在航天光学系统的设计潜力刚刚被挖掘。在“人工智能时代”的软、硬件算力支持下,计算光学方法将大大提升星载反射式成像系统设计的便捷性。 展开更多
关键词 遥感成像 光学设计 人工智能 计算光学
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极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展
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作者 李佳慧 匡翠方 +4 位作者 徐月暑 卞殷旭 梁佳栋 崔玉栋 刘旭 《光学精密工程》 2025年第17期2661-2690,共30页
极紫外光刻作为半导体制造领域的核心技术,对光学元件表面质量提出了原子级精度的严苛要求,并要求光学元件近乎为零的表面/亚表面损伤。本文聚焦光学元件超精密制造,介绍了光学元件材料特性与制造工艺引起的表面误差形成机理,剖析了不... 极紫外光刻作为半导体制造领域的核心技术,对光学元件表面质量提出了原子级精度的严苛要求,并要求光学元件近乎为零的表面/亚表面损伤。本文聚焦光学元件超精密制造,介绍了光学元件材料特性与制造工艺引起的表面误差形成机理,剖析了不同空间尺度误差检测的技术挑战与研究进展。针对低频面形误差检测,重点分析了绝对检测技术与子孔径拼接检测技术。对于粗糙度检测,分析了白光干涉显微技术、原子力显微技术,超分辨白光干涉技术的研究进展。针对光学元件表面/亚表面缺陷的多模态表征需求,对比了各类电镜、干涉、探针、散射等检测方式的优缺点。最后,基于当前技术瓶颈与高性能光学元件需求,展望了光学元件检测技术向智能化、多物理场耦合表征及原位监测等方向的发展趋势,为关键装备部件国产化提供技术参考。 展开更多
关键词 先进光学制造 光学测量 面形检测 粗糙度检测 缺陷检测
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超表面的矢量光场调控 被引量:2
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作者 梁茂伟 卢德宙 马耀光 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期5-27,共23页
矢量光场由于其独特的光场分布特性,在许多领域都得到了广泛且深入的研究与应用。传统光场调控手段受限于材料的光学特性及物理尺寸,难以实现灵活高效的动态操控功能。超表面凭借其亚波长结构设计所带来的额外自由度,突破了上述局限,使... 矢量光场由于其独特的光场分布特性,在许多领域都得到了广泛且深入的研究与应用。传统光场调控手段受限于材料的光学特性及物理尺寸,难以实现灵活高效的动态操控功能。超表面凭借其亚波长结构设计所带来的额外自由度,突破了上述局限,使得对矢量光场的振幅、相位、偏振态乃至传播方向等的独立调控成为可能。本文结合国内外矢量光场领域的基础理论及最新进展,系统地阐述了矢量光场的基本原理及其数学模型,重点介绍了目前超表面生成矢量光场的方法,以及这种矢量光场在聚焦、轨道角动量检测、高精度定位等方面应用的具体案例与创新成果。 展开更多
关键词 矢量光场 超表面 光场调控
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基于主成分分析和节点像差理论的公差降敏方法 被引量:1
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作者 官子涵 王敏 李晓彤 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期187-196,共10页
为了在设计阶段预测光学系统加工装配后的像质并降低加工装配难度,提升设计效率,文中提供了一个高效的公差灵敏度降低方法。首先使用Zernike多项式量化像差,基于线性代数理论和Monte Carlo分析寻找引入扰动后系统的像差变化规律,通过降... 为了在设计阶段预测光学系统加工装配后的像质并降低加工装配难度,提升设计效率,文中提供了一个高效的公差灵敏度降低方法。首先使用Zernike多项式量化像差,基于线性代数理论和Monte Carlo分析寻找引入扰动后系统的像差变化规律,通过降维后的像差场以及特征值分布确定主要引入像差;对系统制造过程中可能出现的失对称扰动和轴向扰动进行建模,基于节点像差理论描述扰动造成的引入像差,并通过统计分析确定关键表面;根据Zernike项与波像差的对应关系对像差空间进行变换,提出相应的评价函数纳入优化,进而抑制新像差的产生。将这一方法应用于两个不同的光学系统的设计,优化后预期加工性能(指定空间频率处98%置信度的MTF表现)分别提升了约68%和20%。与使用Zemax软件中TOLR操作数优化相比,结构1的优化时间由7 h缩短到36 min,并且在结构2的优化中成功实现了公差降敏。结果表明,该方法能够在提升效率的同时有效降低公差灵敏度。 展开更多
关键词 光学设计 公差降敏 主成分分析 节点像差理论
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面向六孔径结构的大气湍流特征参数提取方法
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作者 于佳鑫 姚海峰 +6 位作者 刘智 王伟豪 田少乾 曹钟予 董科研 高士明 白帆 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期257-265,共9页
大气相干长度是度量大气湍流对光波前影响程度的重要参数,在多个领域中具有关键意义。为提高其测量精度,提出一种基于六孔径K-means聚类算法的大气湍流特征参数提取方法,解决了在测量过程中出现光斑边界不清晰甚至粘连的问题。此外,建... 大气相干长度是度量大气湍流对光波前影响程度的重要参数,在多个领域中具有关键意义。为提高其测量精度,提出一种基于六孔径K-means聚类算法的大气湍流特征参数提取方法,解决了在测量过程中出现光斑边界不清晰甚至粘连的问题。此外,建立了大气相干长度测量系统,系统选用小口径光学天线和六孔径掩膜装置,在增加了统计值的同时兼顾了系统的便携性。利用该系统对长春地区进行多日全天实验监测,其实验数据表明,全天测量呈现出的趋势及数值符合湍流强度变化规律,所提方法相较于传统的阈值分割算法的精确性提升了33.05%,相关实验可为长春地区的湍流监测提供技术手段。 展开更多
关键词 大气光学 大气相干长度 K-MEANS聚类算法 差分像运动法 大气湍流特征参数
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基于光场式时栅空间调制函数特征分析的辅助装配调校系统研究
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作者 金重宇 付敏 +2 位作者 邓晶月 苟李 冉茂明 《光学精密工程》 CSCD 北大核心 2024年第22期3323-3335,共13页
位移传感器的装配精确性直接决定了传感器的测量精度,而辅助调校系统是实现精确装配的关键。本文基于光场式时栅结构特征与测量原理,分析其输出信号的空间调制函数与装配的关系,提出了一种以传感器输出测量信号为安装指标的辅助装配调... 位移传感器的装配精确性直接决定了传感器的测量精度,而辅助调校系统是实现精确装配的关键。本文基于光场式时栅结构特征与测量原理,分析其输出信号的空间调制函数与装配的关系,提出了一种以传感器输出测量信号为安装指标的辅助装配调校系统。根据光场式时栅传感器测量原理,结合实际装配结构,研究了动定尺安装姿态对测量误差的影响,确定以滚转角校准为安装姿态校准的主要目标;建立滚转角与测量信号相关的数学模型,基于该函数模型设计利用原始测量信号获得校准指标的辅助装配调校系统。实验表明:该系统能够直观地给出滚转角调校参数,帮助用户装配校准,能够将光场时栅传感器的原始误差降低至±1.3μm,具备环节简单、易于集成的优点。 展开更多
关键词 时栅 光栅 装配误差 滚转角
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