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前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响 被引量:1
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作者 周佳 韩高荣 李敏睿 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期120-122,共3页
采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制... 采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制备出沿(002)晶面取向生长的样品,具有优良的均匀性和致密性。同时在可见光区也表现出80%以上的高透过率。 展开更多
关键词 ZNO 超声雾化热解法 取向生长
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超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究 被引量:5
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作者 周佳 韩高荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期576-579,共4页
以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜。经X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在450~500℃下制备的... 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜。经X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在450~500℃下制备的薄膜显示出良好的结晶性能,并且沿(002)晶面择优取向生长,薄膜具有优良的均匀性和致密性。同时,制备得到的薄膜在可见光区也表现出80%以上的高透过率。 展开更多
关键词 ZNO 超声喷雾热解法 取向生长 XRD
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