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UHV/CVD硅外延的实时硼掺杂研究
1
作者
王亚东
黄靖云
+3 位作者
叶志镇
汪雷
马德群
赵炳辉
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2001年第2期33-35,共3页
本文利用超高真空化学气相沉积系统 (UHV CVD)在 72 0℃Si(10 0 )衬底上进行了实时B掺杂的硅外延。采用二次离子质谱仪 (SIMS) ,傅立叶红外光谱 (FTIR) ,扩展电阻仪 (SRP)对外延层的性能进行研究。研究表明 :72 0℃生长时已经实时掺入了...
本文利用超高真空化学气相沉积系统 (UHV CVD)在 72 0℃Si(10 0 )衬底上进行了实时B掺杂的硅外延。采用二次离子质谱仪 (SIMS) ,傅立叶红外光谱 (FTIR) ,扩展电阻仪 (SRP)对外延层的性能进行研究。研究表明 :72 0℃生长时已经实时掺入了B原子 ,10 0 0℃退火 5分钟后 ,外延层中B原子被激活 ,浓度达到 10 17~ 10 18cm-3 。
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关键词
超高真空化学气相沉积
硅
外延
硼
掺杂
半导体材料
生长
在线阅读
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职称材料
电光相位调制器谐波响应对光纤陀螺的影响
被引量:
14
2
作者
王冬云
毛彩虹
+2 位作者
朱辉
牟旭东
杨国光
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期1053-1055,共3页
从电光相位调制器的谐波响应出发 ,对干涉型光纤陀螺信号零偏、零漂的产生来源进行了探讨 用干涉理论和正弦波调制解调分析从原理上指出调制器的振幅与相位两种谐波可产生陀螺信号的零偏和零漂 根据调制器典型数据所做的模拟与人为加...
从电光相位调制器的谐波响应出发 ,对干涉型光纤陀螺信号零偏、零漂的产生来源进行了探讨 用干涉理论和正弦波调制解调分析从原理上指出调制器的振幅与相位两种谐波可产生陀螺信号的零偏和零漂 根据调制器典型数据所做的模拟与人为加入温漂时所得的试验结果相当吻合 从而证实调制器谐波响应是产生陀螺信号偏移和漂移的主要原因 。
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关键词
干涉型光纤陀螺
电光相位调制器
谐波响应
零偏
零漂
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职称材料
电弧放电法制备大面积高纯单壁碳纳米管薄膜
被引量:
5
3
作者
李振华
姜源
+3 位作者
赵沛
尚学府
杨辉
王淼
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2395-2398,共4页
介绍了一种制备大面积高纯度单壁碳纳米管(SWCNT)薄膜的新方法. 利用改进的电弧放电法, 在真空放电室内分别安装两枚石墨极板, 使之形成一个球冠型电容器. 使用这种新型装置, 可以在两枚球冠型石墨极板之间产生一个合适的附加电场和成...
介绍了一种制备大面积高纯度单壁碳纳米管(SWCNT)薄膜的新方法. 利用改进的电弧放电法, 在真空放电室内分别安装两枚石墨极板, 使之形成一个球冠型电容器. 使用这种新型装置, 可以在两枚球冠型石墨极板之间产生一个合适的附加电场和成膜基板, 通过控制放电时间, 可在阴极的球冠型石墨极板上制备出厚度从数微米至 1 毫米不等的 SWCNT 薄膜.场发射扫描电子显微镜(FESEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、拉曼光谱和热重分析(TGA)的表征结果表明, 这个方法可以高效地制备具有高纯度的 SWCNT 薄膜.
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关键词
单壁碳纳米管
薄膜
电弧放电法
球冠形电容器
拉曼光谱
热重分析
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职称材料
纳米碳管制备的新进展
被引量:
5
4
作者
王新庆
李振华
+1 位作者
何少龙
王淼
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2001年第2期100-102,共3页
本文讨论了有关纳米碳管制备的方法及工艺要求 。
关键词
纳米碳管
制备方法
电弧放电法
催化裂解法
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职称材料
题名
UHV/CVD硅外延的实时硼掺杂研究
1
作者
王亚东
黄靖云
叶志镇
汪雷
马德群
赵炳辉
机构
浙江大学
硅材料国家重点实验室
浙江大学微系统研究与开发中心
出处
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2001年第2期33-35,共3页
基金
浙江省计划项目资助
文摘
本文利用超高真空化学气相沉积系统 (UHV CVD)在 72 0℃Si(10 0 )衬底上进行了实时B掺杂的硅外延。采用二次离子质谱仪 (SIMS) ,傅立叶红外光谱 (FTIR) ,扩展电阻仪 (SRP)对外延层的性能进行研究。研究表明 :72 0℃生长时已经实时掺入了B原子 ,10 0 0℃退火 5分钟后 ,外延层中B原子被激活 ,浓度达到 10 17~ 10 18cm-3 。
关键词
超高真空化学气相沉积
硅
外延
硼
掺杂
半导体材料
生长
Keywords
UHV/CVD
Real time B doped
Si epilayer
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
电光相位调制器谐波响应对光纤陀螺的影响
被引量:
14
2
作者
王冬云
毛彩虹
朱辉
牟旭东
杨国光
机构
浙江大学
现代光学仪器国家重点实验室
浙江大学微系统研究与开发中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期1053-1055,共3页
基金
86 3资助项目
文摘
从电光相位调制器的谐波响应出发 ,对干涉型光纤陀螺信号零偏、零漂的产生来源进行了探讨 用干涉理论和正弦波调制解调分析从原理上指出调制器的振幅与相位两种谐波可产生陀螺信号的零偏和零漂 根据调制器典型数据所做的模拟与人为加入温漂时所得的试验结果相当吻合 从而证实调制器谐波响应是产生陀螺信号偏移和漂移的主要原因 。
关键词
干涉型光纤陀螺
电光相位调制器
谐波响应
零偏
零漂
Keywords
I FOG
Harmonic response
Electro optic phase modulator
Signal bias
Bias stability
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
O318 [理学—一般力学与力学基础]
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职称材料
题名
电弧放电法制备大面积高纯单壁碳纳米管薄膜
被引量:
5
3
作者
李振华
姜源
赵沛
尚学府
杨辉
王淼
机构
浙江大学
力学系
沈阳工业
大学
物理系
浙江大学
物理系
浙江大学微系统研究与开发中心
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2395-2398,共4页
基金
浙江省自然科学基金(Y1080543
Y107394)资助项目~~
文摘
介绍了一种制备大面积高纯度单壁碳纳米管(SWCNT)薄膜的新方法. 利用改进的电弧放电法, 在真空放电室内分别安装两枚石墨极板, 使之形成一个球冠型电容器. 使用这种新型装置, 可以在两枚球冠型石墨极板之间产生一个合适的附加电场和成膜基板, 通过控制放电时间, 可在阴极的球冠型石墨极板上制备出厚度从数微米至 1 毫米不等的 SWCNT 薄膜.场发射扫描电子显微镜(FESEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、拉曼光谱和热重分析(TGA)的表征结果表明, 这个方法可以高效地制备具有高纯度的 SWCNT 薄膜.
关键词
单壁碳纳米管
薄膜
电弧放电法
球冠形电容器
拉曼光谱
热重分析
Keywords
Single-walled carbon nanotube
Film
Arc-discharge method
Capacitor of spherical cap
Raman spectrum
Thermogravimetric analysis
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
纳米碳管制备的新进展
被引量:
5
4
作者
王新庆
李振华
何少龙
王淼
机构
浙江大学
物理系
浙江大学微系统研究与开发中心
浙江大学
力学系
出处
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2001年第2期100-102,共3页
文摘
本文讨论了有关纳米碳管制备的方法及工艺要求 。
关键词
纳米碳管
制备方法
电弧放电法
催化裂解法
Keywords
carbon nanotubes(CNTs)
synthesis method
newt development
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
UHV/CVD硅外延的实时硼掺杂研究
王亚东
黄靖云
叶志镇
汪雷
马德群
赵炳辉
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2001
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
电光相位调制器谐波响应对光纤陀螺的影响
王冬云
毛彩虹
朱辉
牟旭东
杨国光
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
14
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
电弧放电法制备大面积高纯单壁碳纳米管薄膜
李振华
姜源
赵沛
尚学府
杨辉
王淼
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2009
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
纳米碳管制备的新进展
王新庆
李振华
何少龙
王淼
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2001
5
在线阅读
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职称材料
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