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题名CO_2激光直写PMMA微流道实验研究
被引量：1
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作者
相恒富
傅建中
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机构
中国石油大学机电工程学院
浙江大学微系统研究与发展中心
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出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2009年第11期1447-1450,共4页
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文摘
激光直写法制造聚合物微流控芯片是一种新型微细加工技术,为了研究激光加工工艺参数与微流道深度的关系,利用实验室研制的精密实验台进行了CO2激光直写PMMA微流道实验研究。得到了激光功率、扫描速度、激光加工次数与微流道深度的关系,并对流道长度、流道深度和流道宽度的相互关系也进行了研究。实验结果表明,当激光功率在15 W～35 W,扫描速度在0.2 m/s～0.45 m/s范围内,理论模型与实验结果偏差最小,不超过6μm,该范围为最佳激光工艺参数范围。
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关键词
CO2激光
直写
微细加工
微流控芯片
微流道
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Keywords
CO2 laser
direct-writing
micromachining
microfluidic chip
microchannel
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名基于模态分析的静电驱动圆薄板宏模型建立方法
被引量：3
- 2
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作者
林谢昭
应济
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机构
浙江大学微系统研究与发展中心
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1368-1371,共4页
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基金
国家自然科学基金项目资助(50105020
50475104)
福州大学科技发展基金项目(2004-XY-10)
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文摘
为了研究静电致动圆板静态和动态特性,在模态分析法的基础上,利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法,将板的动能、弹性能和电容写成以模态坐标表示的解析式.结合Hamilton原理,导出静电致动微圆板的动力学特性方程的宏模型.以此为基础研究了板的静态特性及其三角波、方波信号激励下的动态响应.结果表明,模态分析方法能够考虑到残余应力的影响,所建立的动态宏模型不仅大大地减少了计算费用,而且具有足够的仿真精度.
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关键词
微机电系统(MEMS)
宏模型
模态分析方法
静电驱动
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Keywords
MEMS
compact model
mode analysis method
electrostatically actuated
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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