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单晶硅太阳电池的表面织构化
被引量：
27
1
作者
席珍强
杨德仁
+6 位作者
吴丹
张辉
陈君
李先杭
黄笑容
蒋敏
阙端麟
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期285-289,共5页
一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也...
一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也很低。通过SEM观察发现 :开始时 ,随着腐蚀时间的增加 ,金字塔的密度越来越大 ,最后达到饱和 ;而且对于不同的浓度 ,温度 ,这种饱和时间不同 ;如果腐蚀时间过长 ,金字塔的顶部就会发生崩塌 ,从而导致表面发射率的升高。虽然异丙醇 (IPA)在氢氧化钠 (NaOH)溶液中会明显地改善织构化的效果 ,但是在磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液中却会对织构化有很强的负面效应。最后 ,在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入地探讨并认为 :择优腐蚀是金字塔形成的最基本的原因 ,而缺陷、PO3 -4 或HPO2 -4 和异丙醇等仅仅是促进大金字塔形成的原因。这种腐蚀剂的成本很低 ,不易污染工作环境且可重复性好 ,所以有可能用于大规模生产。
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关键词
单晶硅
织构
磷酸钠
腐蚀
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职称材料
题名
单晶硅太阳电池的表面织构化
被引量：
27
1
作者
席珍强
杨德仁
吴丹
张辉
陈君
李先杭
黄笑容
蒋敏
阙端麟
机构
浙江大学
硅
材料
国家重点实验室
浙江大学
分析测试中心
浙江大学半导体材料有限责任公司
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期285-289,共5页
基金
国家自然科学基金项目 ( 5 9976 0 35 )
教育部高校博士基金
教育部优秀年轻教师基金
文摘
一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也很低。通过SEM观察发现 :开始时 ,随着腐蚀时间的增加 ,金字塔的密度越来越大 ,最后达到饱和 ;而且对于不同的浓度 ,温度 ,这种饱和时间不同 ;如果腐蚀时间过长 ,金字塔的顶部就会发生崩塌 ,从而导致表面发射率的升高。虽然异丙醇 (IPA)在氢氧化钠 (NaOH)溶液中会明显地改善织构化的效果 ,但是在磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液中却会对织构化有很强的负面效应。最后 ,在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入地探讨并认为 :择优腐蚀是金字塔形成的最基本的原因 ,而缺陷、PO3 -4 或HPO2 -4 和异丙醇等仅仅是促进大金字塔形成的原因。这种腐蚀剂的成本很低 ,不易污染工作环境且可重复性好 ,所以有可能用于大规模生产。
关键词
单晶硅
织构
磷酸钠
腐蚀
Keywords
Etching
Silicon
Sodium compounds
Texturing
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶硅太阳电池的表面织构化
席珍强
杨德仁
吴丹
张辉
陈君
李先杭
黄笑容
蒋敏
阙端麟
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
27
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