本文介绍了ITO(Indium Tin Oxide)透明导电膜的制备工艺,对影响其光学和电学特性的因素作了分析。并讨论了透明导电的机理,在K9玻璃上制备的ITO透明导电膜,在500~600nm波长范围内,典型的峰值透过率为90%,面电阻为40~50Ω/□。用该技...本文介绍了ITO(Indium Tin Oxide)透明导电膜的制备工艺,对影响其光学和电学特性的因素作了分析。并讨论了透明导电的机理,在K9玻璃上制备的ITO透明导电膜,在500~600nm波长范围内,典型的峰值透过率为90%,面电阻为40~50Ω/□。用该技术制备的样品作为透明电极,在液晶光阀空间光调制器中得到了应用。展开更多
文摘本文介绍了ITO(Indium Tin Oxide)透明导电膜的制备工艺,对影响其光学和电学特性的因素作了分析。并讨论了透明导电的机理,在K9玻璃上制备的ITO透明导电膜,在500~600nm波长范围内,典型的峰值透过率为90%,面电阻为40~50Ω/□。用该技术制备的样品作为透明电极,在液晶光阀空间光调制器中得到了应用。