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题名氧化锌中的本征点缺陷对材料光电性能的影响
被引量：6
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作者
章炜巍
朱大中
沈相国
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机构
浙江大学信电系微电子技术与系统设计研究所
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第9期79-82,共4页
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基金
国家自然科学基金(No.60176027)
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文摘
ZnO薄膜中的本征点缺陷对材料的电学、发光性能有着至关重要的影响。目前,对本征点缺陷的研究是ZnO领域的一大热点,也是实现ZnO基光电器件的关键技术之一。本文结合最新研究,扼要综述了本征点缺陷的电荷特性、对本征ZnO为n型的作用机理、对p型ZnO制备的影响及点缺陷对薄膜绿光发光的贡献。
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关键词
本征
点缺陷
光电性能
光电器件
发光性能
绿光
ZNO薄膜
氧化锌
电学
领域
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Keywords
ZnO thin film
intrinsic point defects
intrinsic n-type
p-type ZnO
green luminescence
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
O413.1
[理学—理论物理]
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题名双声路声表面波质量传感器的研究
被引量：2
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作者
陈继凯
朱大中
黄浙隆
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机构
浙江大学信电系微电子技术与系统设计研究所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第2期91-93,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60176027)
浙江省自然科学基金资助项目(600026)
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文摘
在LiNbO3晶片上设计并实现了一种新型的双声路延迟线型声表面波质量传感器。利用光刻工艺在每个声传播路径上构造了一个方形质量沉积区,当有物质沉积到该区时,由于质量沉积效应,声表面波的波速发生变化,使以延迟线作为反馈回路的振荡器的振荡频率发生变化,并通过这一变化反映出沉积物的质量。为了补偿温度对器件传输频谱的影响,该器件采用双声路结构,一路为传感声路,一路为参考声路。介绍了器件的设计、工艺流程和测试方法,最后对测试结果进行了分析和讨论。测试结果表明该传感器的温度系数为7Hz/°C,灵敏度为4.9×10-6cm2/g。
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关键词
声表面波
质量沉积效应
双声路
传感器
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Keywords
SAW(Surface Acoustic Wave)
mass-loading effect
dual-path
sensor
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分类号
TN722
[电子电信—电路与系统]
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