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面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述被引量：5: 1; 作者杨津宇杨军 +5 位作者白晓蓉任政钢刘成卫龚轩胡亮阮晓东《液压与气动》北大核心 2022年第5期1-17,共17页; 湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制... 展开更多; 关键词半导体湿法制程超洁净流控磁悬浮泵波纹管泵隔膜阀超声波流量传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

PTFE材料正交切削切屑成形特性研究被引量：1: 2; 作者倪敬孙静波 +2 位作者何利华崔智薛飞《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第22期2733-2740,共8页; 为了研究PTFE材料在切削过程中的成屑机理,设计了单因素正交切削实验以及准静态力学实验。首先,基于剪切平面理论和断裂理论,以切削速度、切削厚度为变量,提出了PTFE材料的连续切屑及切屑毛边成形机理;然后通过分析毛边高度和间距,探究... 展开更多; 关键词聚四氟乙烯(PTFE) 成屑形成机理切屑毛边剪切面理论断裂理论分形理论; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于声速追踪的超声波液体流量计量方法被引量：5: 3; 作者赵楠楠徐安察 +1 位作者胡亮付新《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第9期41-46,共6页; 针对环境因素、介质更换等造成液体介质声速变化引起的流量计量偏差,提出一种基于声速自适应的超声液体流量计算方法。在阈值法和求和互相关等方法的基础上,获取声波传播时间信息对流量进行修正。并通过实验,验证了该方法能够有效抑制... 展开更多; 关键词时差法超声波流量计渡越时间差声速流量补偿; 在线阅读下载PDF 职称材料

超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响被引量：3: 4; 作者颖惠民付婧媛 +2 位作者刘范苏芮阮晓东《液压与气动》北大核心 2022年第5期26-35,共10页; 聚四氟乙烯(PTEE)是超洁净流控元件的主要材料之一。针对聚四氟乙烯机械加工后的表面粗糙度问题,从改变进给量及车刀材料选择和切削液是否使用的角度探究机械加工PTFE表面形貌的形成机理,发现了随着车刀停留时间的增加,PTFE表面粗糙度... 展开更多; 关键词 PTFE 车削表面形貌粗糙度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述被引量：5: 1; 作者杨津宇杨军白晓蓉任政钢刘成卫龚轩胡亮阮晓东; 机构浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室浙江启尔机电技术有限公司; 出处《液压与气动》北大核心 2022年第5期1-17,共17页; 文摘湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。; 关键词半导体湿法制程超洁净流控磁悬浮泵波纹管泵隔膜阀超声波流量传感器; Keywords semiconductor wet process ultra-clean flow control magnetic levitation pump bellows pump diaphragm valve ultrasonic flow sensor; 分类号 TH137 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PTFE材料正交切削切屑成形特性研究被引量：1: 2; 作者倪敬孙静波何利华崔智薛飞; 机构杭州电子科技大学机械工程学院浙江启尔机电技术有限公司; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第22期2733-2740,共8页; 基金国家自然科学基金(52175395)。; 文摘为了研究PTFE材料在切削过程中的成屑机理,设计了单因素正交切削实验以及准静态力学实验。首先,基于剪切平面理论和断裂理论,以切削速度、切削厚度为变量,提出了PTFE材料的连续切屑及切屑毛边成形机理;然后通过分析毛边高度和间距,探究切削参数对毛边形态的影响规律;最后,利用分形理论对切削力稳定性进行分析,揭示了毛边数量、出现频率与切削力稳定性的关系。结果表明,PTFE连续切屑的产生是因为切削过程中材料真实压缩应变未超过断裂屈服应变,毛边的产生则是因为切屑边缘片层状结构处裂纹的形核与扩展。此外,切削参数会影响毛边生成,在切削速度100 mm/min、切削厚度0.3 mm工况下,切屑毛边数量最少、出现频率最小,切削力最稳定。研究结果可为PTFE材料切削过程毛边抑制和表面加工质量优化提供参考。; 关键词聚四氟乙烯(PTFE) 成屑形成机理切屑毛边剪切面理论断裂理论分形理论; Keywords polytetrafluoroethylene(PTFE) mechanism of chip formation chip edge shear plane theory fracture theory fractal theory; 分类号 TB324 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于声速追踪的超声波液体流量计量方法被引量：5: 3; 作者赵楠楠徐安察胡亮付新; 机构浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室浙江启尔机电技术有限公司; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第9期41-46,共6页; 基金国家自然科学基金(51575476) 国家自然科学创新团队基金(51821093)。; 文摘针对环境因素、介质更换等造成液体介质声速变化引起的流量计量偏差,提出一种基于声速自适应的超声液体流量计算方法。在阈值法和求和互相关等方法的基础上,获取声波传播时间信息对流量进行修正。并通过实验,验证了该方法能够有效抑制声速变化对基于超声波方法计量液体流量的影响,提高了液体超声流量传感器流量计量的稳定性和可靠性。; 关键词时差法超声波流量计渡越时间差声速流量补偿; Keywords transit-time ultrasonic flowmeter transit time difference acoustic speed flowrate compensation; 分类号 TH814 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响被引量：3: 4; 作者颖惠民付婧媛刘范苏芮阮晓东; 机构浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室浙江启尔机电技术有限公司; 出处《液压与气动》北大核心 2022年第5期26-35,共10页; 基金国家自然科学基金(52105071) 中央高校基本科研业务费专项资金(2021QNA4002)。; 文摘聚四氟乙烯(PTEE)是超洁净流控元件的主要材料之一。针对聚四氟乙烯机械加工后的表面粗糙度问题,从改变进给量及车刀材料选择和切削液是否使用的角度探究机械加工PTFE表面形貌的形成机理,发现了随着车刀停留时间的增加,PTFE表面粗糙度迅速降低并最终保持在一个稳定值,而车刀材料和是否使用切削液也对PTFE机械加工后的表面形貌有非常显著的影响;通过共聚焦激光显微镜和原子力显微镜(AFM),在不同的尺度下观察了加工后PTFE的表面形貌,为从微观层面解释聚四氟乙烯机械加工后表面形貌的形成提供了直观的观测结果,从而揭示了表面形貌与车削加工参数的映射关系,并为氟塑料车削工艺的优化提供了指导性依据。; 关键词 PTFE 车削表面形貌粗糙度; Keywords polytetrafluoroethylene turning process surface topography roughness; 分类号 TH137 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述	杨津宇杨军白晓蓉任政钢刘成卫龚轩胡亮阮晓东	《液压与气动》北大核心	2022	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	PTFE材料正交切削切屑成形特性研究	倪敬孙静波何利华崔智薛飞	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于声速追踪的超声波液体流量计量方法	赵楠楠徐安察胡亮付新	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2022	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响	颖惠民付婧媛刘范苏芮阮晓东	《液压与气动》北大核心	2022	3	在线阅读下载PDF 职称材料