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题名基于等温容腔的气动隔振H_(∞)主动控制
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作者
刘晓霞
许少峰
吴继繁
孙治博
王一轩
石岩
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机构
北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院
六盘山实验室
浙江亿日气动科技有限公司
北京航空航天大学工程训练中心
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出处
《液压与气动》
北大核心
2024年第12期99-106,共8页
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基金
国家自然科学基金(52205043)
宁波重点研发计划暨第二批“揭榜挂帅”专项(2023Z018)。
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文摘
气动隔振是精密仪器和半导体制造中保持清洁、微振动工作环境的关键系统。被动气动隔离不能满足低频隔振的需求,甚至会产生共振现象。开发了一种基于等温容腔的主动气动隔振器,并采用H_(∞)控制方法抑制低频振动的干扰。首先,将等温材料填充到隔振器的腔室中,以减少充气和放气过程中温度变化的影响。然后,基于鲁棒H_(∞)控制理论,设计了一种能够抑制低频振动扰动、鲁棒性高的控制器。最后,应用1~10 Hz的激励信号测试气动隔振系统在H_(∞)主动控制情况下的性能,并与被动隔振效果进行比较。结果表明,等温材料的加入降低了腔室充放气过程的温度变化,主动控制方法提高了低频范围内的隔振性能,有效衰减了系统的谐振峰。
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关键词
气动隔振
恒温室
温度变化
鲁棒H_(∞)控制
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Keywords
pneumatic vibration isolation
constant temperature room
temperature changes
Robust H_(∞)control
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分类号
TH138
[机械工程—机械制造及自动化]
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