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基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换散斑形貌测量技术
被引量：
4
1
作者
马志芳
高秀梅
孙平
《应用光学》
CAS
CSCD
2008年第6期874-877,共4页
提出了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的方法。采用典型的迈克尔逊干涉光路,将物体偏转一微小角度(等效为物面与参考面间形成空气楔)产生等厚干涉,可在物体的表面引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。用CCD采集该载波条纹图,利用傅...
提出了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的方法。采用典型的迈克尔逊干涉光路,将物体偏转一微小角度(等效为物面与参考面间形成空气楔)产生等厚干涉,可在物体的表面引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。用CCD采集该载波条纹图,利用傅里叶变换法可解调出物体高度的位相信息,从而实现物体的形貌测量。介绍了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的原理,并进行了实物测量,给出了实验结果。由于该方法采用散斑干涉方法测量物体形貌,所以具有灵敏度高的优点。
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关键词
物理光学
电子散斑干涉
形貌测量
傅里叶变换
迈克尔逊干涉
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职称材料
题名
基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换散斑形貌测量技术
被引量：
4
1
作者
马志芳
高秀梅
孙平
机构
山东师范大学物理与电子科学
学院
济南市铁道职业技术学院电气工程系
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2008年第6期874-877,共4页
基金
山东省科技攻关项目(2007GG20004002)
文摘
提出了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的方法。采用典型的迈克尔逊干涉光路,将物体偏转一微小角度(等效为物面与参考面间形成空气楔)产生等厚干涉,可在物体的表面引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。用CCD采集该载波条纹图,利用傅里叶变换法可解调出物体高度的位相信息,从而实现物体的形貌测量。介绍了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的原理,并进行了实物测量,给出了实验结果。由于该方法采用散斑干涉方法测量物体形貌,所以具有灵敏度高的优点。
关键词
物理光学
电子散斑干涉
形貌测量
傅里叶变换
迈克尔逊干涉
Keywords
physical optics
electronic speckle pattern interferometry （ESPI）
shapemeasurement
Fourier transform
Michelson interference
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
O348 [理学—固体力学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换散斑形貌测量技术
马志芳
高秀梅
孙平
《应用光学》
CAS
CSCD
2008
4
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