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气静压轴承及其在电主轴中的应用
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作者 商顺德 《轴承》 北大核心 2006年第4期39-42,共4页
介绍了气静压轴承的特性、基本结构型式以及国内外气静压轴承电主轴的应用状况。以实际应用的电主轴为例,剖析了气静压轴承电主轴的性能和基本结构特点。
关键词 气静压轴承 硅片切割 PCB钻铣削 磨削 电主轴
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