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题名激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正
被引量：12
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作者
彭留永
王宣雅
周建涛
裴红星
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机构
郑州大学物理工程学院
河南煤业化工集团洛阳永龙能化有限公司
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期601-604,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10974183)
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文摘
为了消除激光打标系统中由2维振镜物镜前扫描引起的打标点几何畸变误差,分析误差产生的原因,在振镜扫描角度(α,β)理想计算公式的基础上,采用最小二乘曲线拟合的方法,得到用打标点坐标(x,y)表示的补偿(α,β)误差的拟合多项式,从而对激光打标点的畸变误差进行了校正。通过校正,可以将激光打标点的最大几何畸变误差由3.2mm降至20μm以内,且计算量小、速度快。结果表明,该误差校正算法可以满足高速、高精度激光打标的需要;同时可通过改变物镜焦距计算出新的补偿公式,以应用于不同参量的激光打标系统。
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关键词
激光技术
激光打标
多项式拟合
2维振镜
误差校正
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Keywords
laser technique
laser marker
polynimial fitting
2-D galvanometer
error correction
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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