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微机电系统的发展现状和应用
被引量：
9
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作者
胡雪梅
吕俊霞
《机电设备》
2005年第6期I0041-I0044,共4页
微机电系统是一项20世纪末兴起、21世纪初开始快速发展起来的高新技术,该文介绍了微机电系统的起源和特点,对微机电系统的加工技术、封装技术、测试技术、应用、国内发展现状及发展前景进行了较全面的论述．
关键词
微机电系统(MEMS)
微加工技术
应用
前景
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职称材料
题名
微机电系统的发展现状和应用
被引量：
9
1
作者
胡雪梅
吕俊霞
机构
西安电子科技大学 机电工程
学院
河南工业职工技术学院
出处
《机电设备》
2005年第6期I0041-I0044,共4页
文摘
微机电系统是一项20世纪末兴起、21世纪初开始快速发展起来的高新技术,该文介绍了微机电系统的起源和特点,对微机电系统的加工技术、封装技术、测试技术、应用、国内发展现状及发展前景进行了较全面的论述．
关键词
微机电系统(MEMS)
微加工技术
应用
前景
Keywords
micro electromechanical system （MEMS）
micromachining
application
prospect
分类号
TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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1
微机电系统的发展现状和应用
胡雪梅
吕俊霞
《机电设备》
2005
9
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