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静电MEMS开关的数学分析(英文)
1
作者
张瑞凤
赵乐
《应用数学》
CSCD
北大核心
2014年第1期56-64,共9页
本文研究在电压阶梯函数的驱动下,微电子机械系统含有阻尼项与不含阻尼项时的动态响应.对于受非线性弹性力作用的无阻尼静电开关系统,证明当电压低于临界值时,系统存在停滞时间、停滞位移;当电压高于临界值时,开关系统将在有限时间发生...
本文研究在电压阶梯函数的驱动下,微电子机械系统含有阻尼项与不含阻尼项时的动态响应.对于受非线性弹性力作用的无阻尼静电开关系统,证明当电压低于临界值时,系统存在停滞时间、停滞位移;当电压高于临界值时,开关系统将在有限时间发生短路.对于含阻尼项的系统,稳定的开关电压是有限值,此时系统的位移将接近初始驱动差距的1/3.进一步估计静电开关短路发生的时间.
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关键词
动态分析
静电开关
非线性弹性力
能量方法
渐近稳定性
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职称材料
题名
静电MEMS开关的数学分析(英文)
1
作者
张瑞凤
赵乐
机构
河南大学现代数学所
河南大学
数学
与信息科学学院
出处
《应用数学》
CSCD
北大核心
2014年第1期56-64,共9页
基金
Supported by the Natural Science Foundation of China(11271052)
the Natural Science Foundation of Henan Province
文摘
本文研究在电压阶梯函数的驱动下,微电子机械系统含有阻尼项与不含阻尼项时的动态响应.对于受非线性弹性力作用的无阻尼静电开关系统,证明当电压低于临界值时,系统存在停滞时间、停滞位移;当电压高于临界值时,开关系统将在有限时间发生短路.对于含阻尼项的系统,稳定的开关电压是有限值,此时系统的位移将接近初始驱动差距的1/3.进一步估计静电开关短路发生的时间.
关键词
动态分析
静电开关
非线性弹性力
能量方法
渐近稳定性
Keywords
Dynamic analysis
Electrostatic switch
Nonlinear spring
Energy method
Asymptotic stability
分类号
O175.1 [理学—基础数学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
静电MEMS开关的数学分析(英文)
张瑞凤
赵乐
《应用数学》
CSCD
北大核心
2014
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