河北美泰电子科技有限公司申报国家重点研发计划获准立项

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《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期944-944,共1页

2016年3月科技部发布了国家重点研发计划＂重大科学仪器设备开发＂重点专项2016年度项目申报指南。河北美泰电子科技有限公司对照指南要求,结合我公司产品研究基础和未来发展,申报了＂高精度电子流量/压力控制部件开发及应用＂项目。通... 2016年3月科技部发布了国家重点研发计划＂重大科学仪器设备开发＂重点专项2016年度项目申报指南。河北美泰电子科技有限公司对照指南要求,结合我公司产品研究基础和未来发展,申报了＂高精度电子流量/压力控制部件开发及应用＂项目。通过积极准备, 展开更多

关键词 项目申报 电子科技 研发 北美 立项 设备开发 科学仪器 控制部件

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应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证

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作者 许鹏 聂靖宇 +1 位作者 王伟忠 李保岭 《微纳电子技术》 2025年第5期80-86,共7页

为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊... 为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊封装工艺,结合模块化装配的设计思路,开发了一款应用于汽车空调系统的压力温度传感器,并通过仿真手段证明了传感器的结构可靠性。通过对传感器进行测试,传感器的压力精度可以达到全温区±0.5%Vcc(Vcc为传感器供电电压),过载压力可达6 MPa,破裂压力达10 MPa。寿命测试后,传感器的误差范围依旧在±1%Vcc内。同时,传感器通过了功能测试和可靠性测试,应用前景广阔。 展开更多

关键词 热泵空调系统 压力温度传感器 模块化装配 压阻式微电子机械系统(MEMS) 无引线封装

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信息时代背景下电子制造业生产过程质量管理的研究

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作者 李艳丽 《中国新通信》 2022年第8期122-124,共3页

伴随着我国现代企业的发展逐步走向成熟化,各行业领域之间的生产产品质量成为企业在市场上占据有利地位的重要因素,企业竞争逐步走向白热化。在电子制造业领域有效的质量管理模式,能够推动现代企业向着更加持续化的方向发展,尤其是在现... 伴随着我国现代企业的发展逐步走向成熟化,各行业领域之间的生产产品质量成为企业在市场上占据有利地位的重要因素,企业竞争逐步走向白热化。在电子制造业领域有效的质量管理模式,能够推动现代企业向着更加持续化的方向发展,尤其是在现今竞争激烈的环境下进行信息化的转型改革已经成为电子制造业的重要举措,推动质量管理的精益化和信息化十分重要,本篇文章主要阐述了电子制造业的发展建设背景以及现阶段存在的问题,同时对我国电子制造业发挥信息化质量管理的要素进行了分析,并提出了相应措施,以期能够推动电子企业产品生产过程质量控制的品质。 展开更多

关键词 信息技术 电子制造业 生产过程 流程重建

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粒子群优化算法在MEMS压力传感器电桥电阻计算与零偏补偿中的应用

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作者 王帆 王津津 +1 位作者 王伟忠 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第8期142-149,共8页

采用粒子群优化(PSO)算法对微机电系统(MEMS)压力传感器电桥电阻进行了优化设计和验证。基于PSO算法的基本原理,建立电桥参数模型,充分利用冗余的测量数据配置优化条件,通过迭代运算得到了传感器惠斯通电桥电阻数值解,并将其作为零偏补... 采用粒子群优化(PSO)算法对微机电系统(MEMS)压力传感器电桥电阻进行了优化设计和验证。基于PSO算法的基本原理,建立电桥参数模型,充分利用冗余的测量数据配置优化条件,通过迭代运算得到了传感器惠斯通电桥电阻数值解,并将其作为零偏补偿的依据。然后根据计算和测试结果进行了零偏补偿,对补偿后结果进行了验证。结果表明,计算输出零偏值与实测输出零偏值之间的相对误差<1%;补偿后传感器的零偏值控制在0.5mV以内,实测零偏满量程误差≤0.1%。研究证明采用该算法模型可有效计算出MEMS压力传感器的电桥电阻参数,基于其计算结果的补偿方案可提升传感器电桥精度。 展开更多

关键词 压力传感器 惠斯通电桥 微机电系统(MEMS) 粒子群优化(PSO)算法 零偏补偿

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一种用于MEMS加速度计温度性能提升的双质量全差分结构

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作者 陈鹏旭 任臣 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期120-125,共6页

微电子机械系统(MEMS)加速度计作为应力敏感器件,很容易受到外界应力的影响,尤其是对温度应力非常敏感,MEMS加速度计的温度性能成为了制约加速度计性能提升的关键因素。为了提高MEMS加速度计的温度性能,减小温度漂移,提出了一种新型的... 微电子机械系统(MEMS)加速度计作为应力敏感器件,很容易受到外界应力的影响,尤其是对温度应力非常敏感,MEMS加速度计的温度性能成为了制约加速度计性能提升的关键因素。为了提高MEMS加速度计的温度性能,减小温度漂移,提出了一种新型的双质量、全差分MEMS敏感结构方案。通过双质量的差分效果,可以将外界温度变化引起的变形差分掉,从而降低加速度计的温度系数,提高温度性能。利用有限元仿真的手段,优化双质量结构的布局,验证加速度计的温度漂移结果。实验结果表明,加速度计温度性能得到了有效提升。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 双质量全差分结构 温度性能 有限元分析

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用于双极化T/R组件的X~Ku波段MEMS环行隔离组件的设计

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作者 周嘉 汪蔚 高纬钊 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期93-97,共5页

多极化合成孔径雷达(SAR)能够提供丰富的目标特性,增强目标的识别、分类和抗干扰能力,成为重要的发展方向。其关键组件T/R组件采用了发射分时、接收同时的模式,每个通道射频(RF)前端包含一路发射通路和两路接收通路。利用微电子机械系统... 多极化合成孔径雷达(SAR)能够提供丰富的目标特性,增强目标的识别、分类和抗干扰能力,成为重要的发展方向。其关键组件T/R组件采用了发射分时、接收同时的模式,每个通道射频(RF)前端包含一路发射通路和两路接收通路。利用微电子机械系统(MEMS)技术设计了一款X~Ku波段环行隔离组件,在实现射频前端小型化双接收通路集成的同时解决了两路通道隔离问题。该环行隔离组件工作频率为10~18 GHz,尺寸为6 mm×11 mm×2.5 mm,三端口回波损耗均≥16 dB,并且双接收通路的隔离度≥29 dB。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) 双极化 环行器 隔离器 共轭匹配 X~Ku波段

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采用基片集成波导技术的毫米波MEMS环行器

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作者 董建利 李志东 +1 位作者 翟晓飞 周嘉 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期131-137,共7页

设计并制备了一款毫米波的微机电系统(MEMS)环行器。该毫米波MEMS环行器芯片采用高阻硅作为衬底,利用基片集成波导(SIW)技术,基于硅基MEMS工艺,采用低损耗金属化技术,实现了硅通孔金属化的制备。采用三维电磁仿真软件进行模拟,设计了该... 设计并制备了一款毫米波的微机电系统(MEMS)环行器。该毫米波MEMS环行器芯片采用高阻硅作为衬底,利用基片集成波导(SIW)技术,基于硅基MEMS工艺,采用低损耗金属化技术,实现了硅通孔金属化的制备。采用三维电磁仿真软件进行模拟,设计了该毫米波MEMS环行器的结构以及SIW与微带线的过渡匹配,并在此基础上优化设计了一套通用的制备毫米波MEMS环行器的工艺流程。并对制备的毫米波MEMS环行器进行了性能测试。结果表明,该环行器的频率范围为24~28 GHz,频带内插入损耗≤0.5 dB,隔离度≥17 dB,尺寸仅为5 mm×5 mm×2.5 mm,能够满足大部分应用需求。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 环行器 毫米波 基片集成波导(SIW) 高阻硅

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高抗振双质量块硅微陀螺仪 被引量：3

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作者 张志勇 杨拥军 +2 位作者 任臣 徐淑静 付迪 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第6期558-563,569,共7页

设计并制备了一种高抗振双质量块硅微陀螺仪。阐述了双质量块陀螺仪的工作原理,分析了陀螺仪抗振性能较差的原因。在此基础上,采用差分梳齿电容检测结构和双质量块耦合结构对陀螺仪敏感结构进行了优化,通过抑制线振动共模干扰信号、提... 设计并制备了一种高抗振双质量块硅微陀螺仪。阐述了双质量块陀螺仪的工作原理,分析了陀螺仪抗振性能较差的原因。在此基础上,采用差分梳齿电容检测结构和双质量块耦合结构对陀螺仪敏感结构进行了优化,通过抑制线振动共模干扰信号、提高工作模态频率、隔离干扰模态频率,提高了陀螺仪的抗振性能。利用绝缘体上硅(SOI)体硅加工工艺和圆片级气密封装技术实现了陀螺仪芯片的加工,采用无引脚芯片载体(LCC)封装实现了陀螺仪的立体集成封装。封装后陀螺仪整体尺寸为9.0 mm×9.0 mm×2.8 mm,功耗为125 mW,质量为0.9 g。测试了陀螺仪的典型性能参数,陀螺仪量程达到±500°/s,角度随机游走为0.036°√h,随机振动实验中零偏稳定性和零偏差分别为2°/h和2.7°/h,能够满足大部分工程应用需求。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 双质量块 立体集成封装 圆片级气密封装

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一种振动测量用电容式硅基MEMS加速度计 被引量：4

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作者 王宁 杨拥军 +1 位作者 任臣 温彦志 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第1期108-115,共8页

为了解决目前微电子机械系统(MEMS)加速度计在振动测量领域量程小和振动测量精度低等问题,基于绝缘体上硅(SOI)加工工艺,设计并制作了一款梳齿电容式MEMS加速度计。通过提高工作模态频率和干扰模态频差,提升了加速度计振动环境适应性;... 为了解决目前微电子机械系统(MEMS)加速度计在振动测量领域量程小和振动测量精度低等问题,基于绝缘体上硅(SOI)加工工艺,设计并制作了一款梳齿电容式MEMS加速度计。通过提高工作模态频率和干扰模态频差,提升了加速度计振动环境适应性;加速度计量程达到±50g,非线性度0.2%,横向灵敏度0.17%,分辨率优于0.5mg,体积9 mm×9 mm×2.7 mm,功率损耗30 mW。针对随机振动环境对加速度计的输出精度进行了实验验证,结果表明,MEMS加速度计与标准传感器的输出误差为2.69%,能够满足大部分工程应用需求。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 绝缘体上硅(SOI) 振动测量 高精度

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电动汽车热泵空调系统用MEMS压力温度传感器 被引量：4

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作者 王伟忠 许旭 +2 位作者 刘聪聪 付志杰 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1102-1107,共6页

基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简单、成本低的平膜结构。结合MEMS加工工艺,利用低温硅-硅键合技术、硅通孔(TSV)技术实现了压敏电阻的芯片级介质隔离。设计了传感器的全金属密封结构,搭建了汽车热管理核心热泵空调系统台架,并进行了长期可靠性验证。结果表明,该传感器的基本性能良好,全温区(-40~135℃)传感器压力精度<0.3%FS,可长期应用于新能源电动汽车热管理核心热泵空调系统。 展开更多

关键词 压力温度传感器 微电子机械系统(MEMS) 硅通孔(TSV) 全金属密封结构 新能源电动汽车

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应用于MEMS惯性器件的高精度Σ-Δ调制器 被引量：1

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作者 李明昊 杨拥军 +1 位作者 任臣 付迪 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第12期926-931,共6页

为了实现微电子机械系统(MEMS)惯性器件的高精度数字化输出,设计了一款单环5阶Σ-Δ调制器。利用Matlab在系统级完成了Σ-Δ调制器的结构设计,确定调制器为带有零点优化的级联积分器前馈(CIFF)结构,并在Simulink中完成了调制器非理想模... 为了实现微电子机械系统(MEMS)惯性器件的高精度数字化输出,设计了一款单环5阶Σ-Δ调制器。利用Matlab在系统级完成了Σ-Δ调制器的结构设计,确定调制器为带有零点优化的级联积分器前馈(CIFF)结构,并在Simulink中完成了调制器非理想模型的建立。在电路设计时,调制器整体采用全差分的开关电容电路来实现。为了降低整体调制器的噪声,在第1级积分器中加入了斩波稳定模块,并采用了具有低回踢噪声的动态比较器作为一位量化器。本设计在0.18μm BCD工艺下实现,工作电压为5 V、采样频率为500 kHz、过采样率为128时,调制器的功耗约为4.25 mW,有效位数为19.06 bit。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS)惯性器件 Σ-Δ调制器 斩波放大器 高速动态比较器 回踢噪声

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芯片粘接对MEMS加速度计性能影响分析

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作者 王伟忠 刘聪聪 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第8期1282-1287,共6页

研究了一种针对微电子机械系统(MEMS)变电容间隙式加速度计芯片粘接应力对零位输出影响的分析方法。通过建立加速度计的数学解析模型,从理论上推导出了电容变化量与间隙变化量的关系式。然后对影响间隙变化量的粘接应力进行了分析,得到... 研究了一种针对微电子机械系统(MEMS)变电容间隙式加速度计芯片粘接应力对零位输出影响的分析方法。通过建立加速度计的数学解析模型,从理论上推导出了电容变化量与间隙变化量的关系式。然后对影响间隙变化量的粘接应力进行了分析,得到了影响粘接应力的因素,并选取关键影响因素(粘结胶点直径)进行仿真分析。为了验证降低加速度计零位输出随温度变化的改进思路,分别装配了0.9 mm直径胶点和1.5 mm直径胶点粘接的加速度计进行了实验。实验结果表明,改进封装方案有效,采用直径0.9 mm胶点方案使零位输出变化量降低了75%。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 封装 芯片粘接 变电容

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一种应用于低成本动中通天线的组合导航算法设计 被引量：1

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作者 王青江 《电讯技术》 北大核心 2023年第5期707-711,共5页

卫星/微机电惯性组合导航系统具有体积小、成本低等优点,可以为动中通天线提供位置、速度以及姿态信息,然而其无法依靠自身完成航向初始化,除此之外在静态场景下由于航向可观测性较差,面临航向发散的问题。结合动中通天线的特征,设计并... 卫星/微机电惯性组合导航系统具有体积小、成本低等优点,可以为动中通天线提供位置、速度以及姿态信息,然而其无法依靠自身完成航向初始化,除此之外在静态场景下由于航向可观测性较差,面临航向发散的问题。结合动中通天线的特征,设计并开发了一种应用于动中通天线的组合导航算法。通过该算法得到的跑车测试结果北向、东向以及天向的位置信息精度分别为2.1 m、1.9 m及1.7 m,北向、东向以及天向的速度精度分别为0.05 m/s、0.05 m/s、0.04 m/s,横滚角、俯仰角、航向角精度依次为0.05°、0.08°、0.11°。长时间的摇摆台测试结果表明采用该方案场强跟踪信号强度均值为8.93 dBW,信号跟踪平稳。 展开更多

关键词 动中通 组合导航 动态测姿 扩展卡尔曼滤波(EKF)

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GNSS/INS组合导航算法设计及仿真系统实现 被引量：1

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作者 王青江 付迪 《长江信息通信》 2023年第3期35-37,共3页

GNSS/INS具有良好的互补性,其中INS提供预测信息,GNSS提供量测更新信息从而实现优势互补。在实际应用中,需要通过大量的测试来对卡尔曼滤波的数学模型及其参数进行优化,然而在弹载、机载、航空等领域实际的测试需要耗费大量的人力财力,... GNSS/INS具有良好的互补性,其中INS提供预测信息,GNSS提供量测更新信息从而实现优势互补。在实际应用中,需要通过大量的测试来对卡尔曼滤波的数学模型及其参数进行优化,然而在弹载、机载、航空等领域实际的测试需要耗费大量的人力财力,因此需要搭建仿真系统验证卡尔曼滤波的性能并且对其进行优化。文章基于MATLAB可视化平台设计并搭建了GNSS/INS仿真平台,该平台可以仿真车载、弹载等应用场景,并且可以评估不同的滤波参数对导航性能及精度的影响。通过与成熟组合导航软件IE进行对比验证了仿真平台的正确性。 展开更多

关键词 卫星导航 组合导航 卡尔曼滤波 仿真平台

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