大尺寸金刚石激光闪射法热导率测试研究 被引量：1

1

作者 张雅淋 安晓明 +2 位作者 葛新岗 姜龙 李义锋 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期503-510,550,共9页

为解决大尺寸金刚石热导率的测试问题,本文在耐驰LFA467激光闪射仪的基础上,设计了垂直模式和In-Plane模式的φ100 mm测试样品架,从理论分析和实际测试两方面证明了φ100 mm样品架的可行性。从理论分析结果得出,新样品架带来的样品边界... 为解决大尺寸金刚石热导率的测试问题,本文在耐驰LFA467激光闪射仪的基础上,设计了垂直模式和In-Plane模式的φ100 mm测试样品架,从理论分析和实际测试两方面证明了φ100 mm样品架的可行性。从理论分析结果得出,新样品架带来的样品边界条件的变化对测试结果影响不大。从实际测试结果来看,垂直模式和In-Plane模式的φ100 mm样品架的热导率比标准样品架的热导率分别高3.6%和6.5%,仍在可接受范围内。本文设计的φ100 mm样品架最大能够测试φ100 mm的样品,有助于保护样品的完整性,实现激光闪射法大尺寸金刚石热导率的无损测试。 展开更多

关键词 金刚石 激光闪射法 热导率 大尺寸 热扩散系数

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高功率CO_(2)激光器CVD金刚石窗口制备研究 被引量：4

2

作者 安晓明 葛新岗 +3 位作者 刘晓晨 李义锋 姜龙 罗海瀚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第6期1010-1015,共6页

本文研究制备了可应用于高功率CO_(2)激光器的CVD金刚石窗口。首先使用环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置沉积制备直径2英寸(1英寸=2.54 cm)金刚石自支撑膜,然后将膜片双面抛光,激光切割成矩形基片,再采用蒸镀法在基片表面制备中心波长在1... 本文研究制备了可应用于高功率CO_(2)激光器的CVD金刚石窗口。首先使用环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置沉积制备直径2英寸(1英寸=2.54 cm)金刚石自支撑膜,然后将膜片双面抛光,激光切割成矩形基片,再采用蒸镀法在基片表面制备中心波长在10.6μm的增透膜,最终制备得到金刚石光学窗口。采用傅里叶红外透射谱、热导仪、爆破试验台测试了金刚石基片镀膜前后的红外透过率、热导率和爆破强度。利用自行搭建的光学平台,测试了CVD金刚石基片增透膜能承受的激光功率密度。结果显示CVD金刚石基片在10.6μm处的透过率为70.9%,利用光谱计算的吸收系数为0.06 cm^(-1),热导率>19.5 W/(cm·K),爆破强度>5.62 MPa,镀膜后的透过率为99.2%,增透膜可承受的激光功率密度>995 W/mm2。 展开更多

关键词 CVD金刚石 增透膜 光学窗口 高功率CO_(2)激光器

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氦-氖激光照射穴位治疗慢性活动型肝炎的临床研究

3

作者 王志明 田琦琦 +7 位作者 陈伟华 王二平 李明山 侯芳青 王玉敏 王英才 唐才先 强春生 《解放军医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 1989年第4期286-288,共3页

为探索中西医结合治疗慢性活动型肝炎的有效方法,我们于1987年1月至1988年8月。

关键词 氦-氖激光 穴位照射 慢性活动肝炎

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数据可视化研究综述 被引量：37

4

作者 刘滨 刘增杰 +8 位作者 刘宇 李子文 陈莉 孙中贤 王莹 张一辉 赵佳盛 张红斌 刘青 《河北科技大学学报》 CAS 北大核心 2021年第6期643-654,共12页

数据可视化对于从海量数据中发现规律、增强数据表现、提升交互效率具有重要作用。目前,数据可视化的概念及相关研究领域不断扩展,就数据类型而言,可视化研究逐渐聚焦于多维数据、时序数据、网络数据和层次化数据等领域。通过对中国知网... 数据可视化对于从海量数据中发现规律、增强数据表现、提升交互效率具有重要作用。目前,数据可视化的概念及相关研究领域不断扩展,就数据类型而言,可视化研究逐渐聚焦于多维数据、时序数据、网络数据和层次化数据等领域。通过对中国知网(CNKI)中外文文献进行分析可知:2014年、2015年是数据可视化领域研究热度升级、理论成果大量产出的"里程碑"式年份;中国大数据领域研究热潮形成后,数据可视化是迅速发展的一个重要支撑领域;国内外数据可视化领域的研究,在时间上基本同步,而武汉大学、浙江大学、北京邮电大学、国防科技大学、电子科技大学等都是在该领域研究活跃度较高的国内高校。要获得良好的视觉效果,帮助用户降低理解难度,高效分析数据和洞悉价值,通常还需要注意色彩与语义、突出核心数据、防止数据过载、防止思维过度发散等技术要点。现有的数据可视化技术主要分为基于几何技术、基于图标技术、基于降维技术、面向像素技术、基于时间序列技术、基于网络数据技术的数据可视化方法,以及层次可视化技术和分布技术等。基于几何技术的可视化方法,包括平行坐标、散点图矩阵、Andrews曲线等。基于坐标的可视化方法,可以清晰展示变量间的关系,但受限于屏幕尺寸,当数据维度超过3个时,难以直观显示全部维度,需要结合人机交互技术进行展示,适用于表达不同维度之间的相关关系,比如学生学习行为之间的关联关系等。基于图标的可视化方法,主要包括星绘法和Chernoff面法,以几何图形作为图标刻画多维数据,直观反映出图标各个维度所表示的意义,适用于工作完成情况、激励工作进度概览等。基于降维技术的可视化方法,根据维度属性确定点的坐标,在保持数据关系不变的前提下映射到低维可视空间中,主要涉及主成分分析、自组织映射、等距映射等。基于时间序列的可视化方法,是一种显示数据间相互关系和影响程度的可视化方法,主要包含线形图、堆积图、地平线图等,随着时间发展采集相应数据,并利用上述3类可视化方法进行呈现,适用于表示信息数据流动和变化状态,如不同时间段成绩流向趋势分布、主题概念的变迁等。基于网络数据的可视化方法,核心是自动布局算法,通过自动布局与计算绘制成网状结构图形,主要有力导向布局、圆形布局、网格布局等,常用来表示大规模社交网络结构,适用于活跃度分析、引文关系展现等。层次可视化技术,主要包括节点链接、空间填充、混合方法等,通过绘制不同形状的节点和包围框来表示层次结构的数据,适用于表示群组成员间交互关系的发现和挖掘,如在线协作员工之间的交互。基于CNKI,通过对数据可视化研究情况的分析,提出数据可视化研究过程中的注意点,指出数据可视化需要重点考虑色彩的匹配,在色彩与数据内容的重要度之间建立关联;可视化方案应在满足业务需求的基础上以业务逻辑为依据,合理组合与应用相关可视化技术;统一的可视化风格有助于提升人们理解数据的连贯性、一致性和效率,兼顾用户的审美要求,在风格与色彩之间建立合理的匹配关系;数据可视化应以实用、合理、高效地表现关键过程、关键目标、关键结果为主要面向。此外,对可视化应用实例Echarts展开综述,包括Echarts交互组件(markPoint和markLine标注点组件、dataZoom区域组件、图例交互组件)在可视化中的应用,以及动态数据绘制等。最后,对可视化存在的挑战以及未来研究方向进行了分析和展望,指出虚拟现实、可视化系统和数据分析是可视化未来的研究方向,其应用热点领域还包括统计可视化、新闻可视化、思维可视化、社交网络可视化和搜索日志可视化等。 展开更多

关键词 计算机图形学 数据可视化 多维数据 时序数据 网络数据 层次化数据

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基于半监督光学分类的白洋淀叶绿素a浓度反演方法

5

作者 陈雯玥 赵起超 +2 位作者 杨秀峰 韩宝辉 张雨晴 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第7期2068-2077,共10页

利用遥感技术反演叶绿素a浓度(Chlorophyll-a,Chl-a)被认为是实现水体富营养化监测的有效途径。由于内陆水体光学性质复杂且存在较大时空分异性,单一的反演模型难以准确反演Chl-a浓度,基于水体光学分类结果进行针对性建模反演是内陆水体... 利用遥感技术反演叶绿素a浓度(Chlorophyll-a,Chl-a)被认为是实现水体富营养化监测的有效途径。由于内陆水体光学性质复杂且存在较大时空分异性,单一的反演模型难以准确反演Chl-a浓度,基于水体光学分类结果进行针对性建模反演是内陆水体Chl-a反演的重要技术方法之一。以白洋淀为研究区,以实测反射光谱和Chl-a浓度为数据源,提出一种基于半监督光学分类的反演方法。首先,为确保分类后各类别样本数量足以支持反演模型的构建,按照7∶1的比例对样本进行划分建模集和验证集。通过多种光谱指数及摩尔投票算法选取出白洋淀具有代表性的标记样本。其次,选取模糊C均值聚类算法和随机森林算法构建半监督分类器,基于获取的代表性标记样本,进一步挖掘未标记样本中的潜在信息,提高未标记样本的分类精度。最后,针对各水体类型分别建立反演模型,计算各水体类型的质心光谱,利用距离权重进行混合加权获取最终反演结果。结果表明,白洋淀水体可根据光谱特征分为浮游植物主导型、中间型和悬浮物主导型,不同类型水体具有较为明显的光学性质差异,根据光学分类结果可针对性选择最优反演模型,提升反演精度。与传统的光学分类策略相比,本方法表现最佳,其平均相对误差、均方根误差和平均绝对误差均有所下降,能更加准确的反演Chl-a浓度(MRE=0.10,RMSE=0.126μg·L^(-1),MAE=0.106μg·L^(-1))。此外,应用ZY01-02E影像数据进行Chl-a反演,能够有效揭示Chl-a浓度的空间分布状况。该方法展现出在水体富营养化监测中的应用潜力,也为内陆水体Chl-a浓度的遥感反演提供了新思路。 展开更多

关键词 半监督分类 水体光学类型 叶绿素A 白洋淀

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CVD法制备高质量金刚石单晶研究进展 被引量：8

6

作者 刘晓晨 郭辉 +2 位作者 安晓明 李义锋 姜龙 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第10期1897-1901,共5页

本文介绍了制备单晶金刚石的主要方法并对其进行了对比,从籽晶选择、预处理和生长工艺几个方面综述了微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石单晶的研究进展,并简单介绍了目前国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶在电子... 本文介绍了制备单晶金刚石的主要方法并对其进行了对比,从籽晶选择、预处理和生长工艺几个方面综述了微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石单晶的研究进展,并简单介绍了目前国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶在电子领域的应用进行了展望。 展开更多

关键词 微波等离子体 化学气相沉积(CVD) 金刚石单晶

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CVD金刚石砂轮修整工具应用研究 被引量：2

7

作者 王志娜 郭辉 +4 位作者 孙振路 张平伟 刘秀军 蔡云虹 张瑞芹 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第2期61-63,68,共4页

CVD金刚石具有很高的热导率、良好的热稳定性和极高的耐磨性,非常适合制作砂轮修整工具;本文通过砂轮修整试验研究了在CVD金刚石砂轮修整工具应用过程中,修整导程、CVD金刚石修整截面面积和CVD金刚石磨耗比等对其使用寿命的影响。研究... CVD金刚石具有很高的热导率、良好的热稳定性和极高的耐磨性,非常适合制作砂轮修整工具;本文通过砂轮修整试验研究了在CVD金刚石砂轮修整工具应用过程中,修整导程、CVD金刚石修整截面面积和CVD金刚石磨耗比等对其使用寿命的影响。研究结果表明,在保证砂轮的锋利度的情况下,使用较小的修整导程,可以延长修整工具的使用寿命;增大CVD金刚石的修整截面面积,有利于提高修整工具的寿命,但修整截面过大,砂轮的锋利度会降低;CVD金刚石的磨耗比对修整工具寿命没有明显影响,但修整效果有明显区别。在实际应用过程中,要根据所修整的砂轮的类型和修整要求,选用适当的修整参数,使CVD金刚石修整工具发挥其最佳作用。 展开更多

关键词 CVD金刚石 砂轮修整工具 磨耗比

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硼掺杂金刚石厚膜电极对高浓度工业废水的降解实验研究 被引量：2

8

作者 杨志亮 鲁新如 +4 位作者 徐健 王朝阳 李义锋 孙振路 唐伟忠 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期212-218,共7页

目的探索BDD厚膜电极处理高浓度有机废水方案的可行性。方法利用直流电弧等离子体喷射法制备BDD厚膜电极,对其结构和电化学性能进行表征,并利用BDD厚膜作为电解阳极对高浓度模拟废水(葡萄糖溶液)和实际工业过程产生的橡胶助剂废水进行... 目的探索BDD厚膜电极处理高浓度有机废水方案的可行性。方法利用直流电弧等离子体喷射法制备BDD厚膜电极,对其结构和电化学性能进行表征,并利用BDD厚膜作为电解阳极对高浓度模拟废水(葡萄糖溶液)和实际工业过程产生的橡胶助剂废水进行电化学氧化处理。结果对电极样品的表征表明,其在0.5 mol/L H_(2)SO_(4)溶液中的电化学窗口和析氧电位分别为3.02 V和2.07 V。对模拟废水(葡萄糖溶液)和橡胶助剂工业废水的电化学降解实验表明,BDD厚膜电极对废水中的有机物有很好的去除效果。对于初始COD(化学需氧量)值为18940 mg/L的高浓度葡萄糖溶液,在电解8 h后,COD值的去除率为91.02%。对于初始COD值为18380 mg/L的高浓度橡胶助剂废水,在电解10 h后,COD值的去除率为97.42%。结论直流电弧等离子体喷射法制备的重掺杂BDD厚膜电极有着较宽的电化学窗口和高的析氧电位,能有效地降低有机溶液的COD值。BDD厚膜电极的最佳工作条件为:在高有机物浓度环境下,为提高降解效率,应选择较高的电流密度。对于高COD值葡萄糖溶液和橡胶助剂废水,最优电流密度为200 mA。在低有机物浓度环境下,为降低能耗,应该选择较低的电流密度。对于低COD值葡萄糖溶液,最优电流密度为50 mA。 展开更多

关键词 硼掺杂金刚石厚膜 电化学性能 有机废水 电化学氧化法

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用于小角散射原位加载测试的单晶金刚石窗口制备工艺研究 被引量：2

9

作者 刘晓晨 葛新岗 +3 位作者 李义锋 姜龙 安晓明 郭辉 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第11期1992-1998,共7页

根据小角散射原位加载测试的应用需求,采用自行研制的2. 45 GHz/6 k W穹顶式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行高质量单晶金刚石窗口的制备,对晶托结构进行改进,并系统研究了沉积温度对单晶金刚石生长速率、表面形貌、结晶质量、... 根据小角散射原位加载测试的应用需求,采用自行研制的2. 45 GHz/6 k W穹顶式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行高质量单晶金刚石窗口的制备,对晶托结构进行改进,并系统研究了沉积温度对单晶金刚石生长速率、表面形貌、结晶质量、X射线透过率的影响。实验结果表明,新型晶托结构使籽晶表面温度分布均匀,有利于提升单晶金刚石结晶质量;沉积温度1000℃下制备单晶金刚石样品表面形貌、拉曼曲线半峰宽、摇摆曲线半峰宽、X射线透过率均优于其它温度的样品,并最终在该温度下制备出Φ7×0. 5 mm2的单晶金刚石窗口。经测试,样品生长速率可达11. 6μm/h,厚度偏差小于±2%,其Raman半峰宽为2. 08 cm-1,XRD摇摆曲线半峰宽为28arcsec,PL谱中未出现与氮相关的杂质峰,X射线透过率超过80%且窗口耐压达到27 MPa,所有性能均满足小角散射原位加载测试的应用需求。 展开更多

关键词 小角散射 MPCVD 单晶金刚石

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用相机测量金刚石膜透光性的研究 被引量：1

10

作者 罗廷礼 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第5期17-21,共5页

为了方便测量、记录和交流金刚石膜的透光性,对用相机测定金刚石膜透光性的技术问题进行了研究。其原理是由相机的感光度、光圈、快门速度先得到一张级差为20%的25级金刚石膜透光性的速查表。测量中,得知膜的快门速度后查表,即可知膜的... 为了方便测量、记录和交流金刚石膜的透光性,对用相机测定金刚石膜透光性的技术问题进行了研究。其原理是由相机的感光度、光圈、快门速度先得到一张级差为20%的25级金刚石膜透光性的速查表。测量中,得知膜的快门速度后查表,即可知膜的透光性级数和透光率。该法表征金刚石膜透光性的方式,可适用于多散点单参数膜25级平面坐标图示法和单散点多参数膜相关信息元素的多项式法。该方法快速方便、简单可靠,无需大型设备,保证了金刚石膜的完整性,觧决了整片金刚石膜透光性的测量、表征和分级的问题。 展开更多

关键词 化学气相沉积 金刚石膜 透光率 测量和分级

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对金刚石膜中黑色缺陷的研究

11

作者 罗廷礼 蔡云虹 +2 位作者 张平伟 高亮 刁习刚 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2015年第3期29-34,共6页

为了提高金刚石膜的透光性和技术参数的稳定性,对高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色缺陷进行了研究。黑色缺陷可以分为点状、块状、纹理状和层状四种,用多种光学显微镜仔细观察、分析、测量、对比,研究发现:膜中粒状... 为了提高金刚石膜的透光性和技术参数的稳定性,对高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色缺陷进行了研究。黑色缺陷可以分为点状、块状、纹理状和层状四种,用多种光学显微镜仔细观察、分析、测量、对比,研究发现:膜中粒状金属杂质、碳素体、孔洞、贯穿孪晶对光的遮挡和散射作用产生点状缺陷;晶柱间晶面倾角和走向的改变对光产生的散射和反射作用产生块状和条带状缺陷;膜中应力产生条纹缺陷;膜中不同层位导电元素对光的吸收产生层状缺陷。缺陷的存在严重影响金刚石膜的透光性、磨耗比、热导率和3点抗弯断裂强度的提高及稳定性。且本研究也提出了一些解决缺陷的方法。 展开更多

关键词 化学气相沉积 金刚石膜 黑色点状缺陷 黑色块状缺陷 黑色层状缺陷

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金刚石膜/硅复合基片的制备工艺研究

12

作者 王志娜 李国华 +2 位作者 王朝阳 姜龙 张瑞芹 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第6期67-70,共4页

通过等离子体喷射法硅衬底制备金刚石的试验,研究了硅片规格、硅片前期预处理、金刚石膜沉积以及后期热处理等对制备复合基片性质和裂纹产生的影响,对各个工序进行优化和改进,确定了制备金刚石膜/硅复合基片最佳的工艺流程。实验结果表... 通过等离子体喷射法硅衬底制备金刚石的试验,研究了硅片规格、硅片前期预处理、金刚石膜沉积以及后期热处理等对制备复合基片性质和裂纹产生的影响,对各个工序进行优化和改进,确定了制备金刚石膜/硅复合基片最佳的工艺流程。实验结果表明:在硅基片制备的金刚石膜厚度大于20μm,抛光后金刚石膜表面粗糙度Ra达到5.2 nm,剩余金刚石膜厚度大于10μm,平面度小于30μm,复合基片各项指标均达到电子器件制作的技术要求。 展开更多

关键词 等离子体喷射法 金刚石膜/硅复合基片 裂纹

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金刚石涂层游动芯头制备及其在铜管生产中的应用

13

作者 崔玉明 王勇 +2 位作者 李国华 姜龙 董旺 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第4期456-462,共7页

通过沉积方式和旋转装置设计,采用直流电弧等离子体喷射法在硬质合金游动芯头表面均匀沉积金刚石涂层,并利用白光干涉仪、扫描电子显微镜、Raman光谱仪和压痕法对涂层的表面粗糙度、形貌、质量均匀性和膜–基附着力等进行测试分析。结... 通过沉积方式和旋转装置设计,采用直流电弧等离子体喷射法在硬质合金游动芯头表面均匀沉积金刚石涂层,并利用白光干涉仪、扫描电子显微镜、Raman光谱仪和压痕法对涂层的表面粗糙度、形貌、质量均匀性和膜–基附着力等进行测试分析。结果表明:金刚石涂层抛光后的表面平均粗糙度S_(a)为76.4 nm,金刚石涂层脱落位置到压痕中心的平均距离为287.9μm,且各位置的金刚石涂层厚度均匀性和质量均较好。将制备的金刚石涂层游动芯头应用于高精度精密铜管生产线中,与硬质合金游动芯头对比,其在降低劳动强度、保证铜管一致性和延长芯头使用寿命方面都有显著效果。 展开更多

关键词 铜管 直流电弧等离子体喷射法 游动芯头 金刚石涂层

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环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜 被引量：7

14

作者 李义锋 唐伟忠 +4 位作者 苏静杰 安晓明 刘晓晨 姜龙 孙振路 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期2028-2033,共6页

介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜。在真空泄漏速率约2.5×1... 介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜。在真空泄漏速率约2.5×10^(-6)Pa·m^3/s的条件下金刚石膜的生长速率达到6μm/h,金刚石膜厚度偏差小于±2.1%。抛光后的金刚石膜红外透过率在6.5~25μm范围内接近71%;紫外透过率在270 nm处超过50%,金刚石膜样品的光学吸收边约为225 nm;通过紫外吸收光谱计算的金刚石膜样品中的氮杂质含量约为1.5 ppm;金刚石膜的拉曼半峰宽小于1.8 cm^(-1)。 展开更多

关键词 金刚石膜 化学气相沉积 高功率 氮杂质 椭球谐振腔

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CVD单晶金刚石X射线位置探测器研制 被引量：1

15

作者 刘晓晨 李贞杰 +7 位作者 王炳杰 常广才 刘鹏 刘瑶光 姜龙 安晓明 李义锋 葛新岗 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2022年第2期355-359,共5页

为满足高亮度同步辐射X射线的监测需求,采用微波等离子体化学气相沉积技术制备出CVD单晶金刚石材料,制作了一种四象限型X射线位置探测器(XBPM).实验测试结果表明:探测器暗电流小于0.2 pA;光强强度的测量精度为0.3%,位置分辨能力可以达到... 为满足高亮度同步辐射X射线的监测需求,采用微波等离子体化学气相沉积技术制备出CVD单晶金刚石材料,制作了一种四象限型X射线位置探测器(XBPM).实验测试结果表明:探测器暗电流小于0.2 pA;光强强度的测量精度为0.3%,位置分辨能力可以达到400 nm.该探测器能满足同步辐射X射线光束诊断的测量要求. 展开更多

关键词 CVD单晶金刚石 同步辐射 XBPM探测器

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微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜 被引量：2

16

作者 林晨 李义锋 张锦文 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期7001-7005,7011,共6页

为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,改变CH_(4)、H_(2)、Ar气体比例以及衬底温度,在不同生长条件下制备了5组金刚石... 为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,改变CH_(4)、H_(2)、Ar气体比例以及衬底温度,在不同生长条件下制备了5组金刚石薄膜样品。5组样品分别使用ESEM和拉曼光谱进行成膜质量、形貌、结构以及组分的表征,分析了不同薄膜的成因和工艺参数的影响,并提出了进一步优化的方向。 展开更多

关键词 纳米金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积 表面预处理

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电子级金刚石材料生长及其MESFET器件特性

17

作者 王晶晶 何泽召 +4 位作者 宋旭波 张平伟 郭辉 冯志红 蔡树军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期685-690,共6页

采用直流电弧喷射法制备了电子级自支撑金刚石材料。采用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察金刚石膜表面形貌,用Raman光谱仪和X射线衍射仪进行晶体分析及表征,结果表明,金刚石薄膜为(110)择优取向,厚度均匀,... 采用直流电弧喷射法制备了电子级自支撑金刚石材料。采用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察金刚石膜表面形貌,用Raman光谱仪和X射线衍射仪进行晶体分析及表征,结果表明,金刚石薄膜为(110)择优取向,厚度均匀,电学性能稳定。研究了抛光转速和压力对金刚石膜抛光效率的影响,抛光处理后金刚石表面粗糙度(R ms)为0.569 nm。采用氢等离子体处理方法对该样品进行处理形成p型表面沟道,并采用自对准工艺制作出具有射频特性的金刚石场效应晶体管,其饱和电流密度为330.9 mA/mm,电流截止频率f T为9.3 GHz,最大振荡频率f max为18.5 GHz。 展开更多

关键词 直流电弧喷射法 多晶金刚石 射频场效应晶体管（RF MESFET） 射频特性 抛光速率

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915 MHz高功率MPCVD装置制备大面积高品质金刚石膜 被引量：12

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作者 李义锋 唐伟忠 +8 位作者 姜龙 葛新岗 张雅淋 安晓明 刘晓晨 何奇宇 张平伟 郭辉 孙振路 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第7期1262-1267,共6页

采用自行研制的915MHz/75kW高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,在输入功率60kW,沉积气压20kPa的条件下制备了直径5英寸的大面积自支撑金刚石膜,并对金刚石膜的厚度,热导率,线膨胀系数,结晶质量,光学透过率等参数进行了表征。... 采用自行研制的915MHz/75kW高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,在输入功率60kW,沉积气压20kPa的条件下制备了直径5英寸的大面积自支撑金刚石膜,并对金刚石膜的厚度,热导率,线膨胀系数,结晶质量,光学透过率等参数进行了表征。实验结果表明,制备的大面积自支撑金刚石厚膜均匀完整,相关性能参数达到较高水平,具有较好质量。热学级金刚石膜的生长厚度超过5mm,生长速率达到12.5μm/h;室温25℃热导率2010W·m-1·K^-1,180℃条件下的热导率仍达到1320W·m^-1·K^-1;室温25.4℃时线膨胀系数为1.07×10^-6℃^-1,300℃时升高至2.13×10^-6℃^-1。光学级金刚石膜的生长厚度接近1mm,生长速率约为2.3μm/h,厚度偏差小于±2.7%;双面抛光后的金刚石膜厚度约为700μm,其Raman半峰宽为2.0cm^-1,PL谱中未出现明显与氮相关的杂质峰;其光学吸收边约为223nm,270nm处的紫外透过率接近60%,在8~25μm范围内的光学透过率超过70%。 展开更多

关键词 915MHz MPCVD 金刚石薄膜

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直流电弧等离子体喷射法制备金刚石涂层拉拔模具 被引量：5

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作者 崔玉明 李国华 姜龙 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第6期25-29,共5页

线材拉拔加工正向精密、高速、低耗、高生产效率方向发展,金刚石涂层拉拔模具是最受用户青睐的产品之一。在综述直流电弧等离子体喷射技术制备金刚石涂层拉拔模具方法的基础上,利用洛氏硬度计、表面粗糙度轮廓测量仪、拉曼光谱仪和光学... 线材拉拔加工正向精密、高速、低耗、高生产效率方向发展,金刚石涂层拉拔模具是最受用户青睐的产品之一。在综述直流电弧等离子体喷射技术制备金刚石涂层拉拔模具方法的基础上,利用洛氏硬度计、表面粗糙度轮廓测量仪、拉曼光谱仪和光学显微镜进行涂层质量检测。检测结果显示:金刚石涂层的纯度和厚度均匀性均较好;在1470 N载荷下薄膜压痕的边缘区域无严重裂纹及薄膜脱落现象,其表面粗糙度R a平均值为18 nm。 展开更多

关键词 直流电弧等离子体喷射法 拉拔模具 金刚石涂层

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MPCVD金刚石单晶的制备及其应用前景 被引量：3

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作者 刘晓晨 姜龙 安晓明 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期643-648,共6页

金刚石具有优异的物理化学性能,在很多领域的应用前景十分诱人。用化学气相沉积(CVD)法实现高沉积速率、高质量、大面积金刚石单晶的制备成为了当今研究的一个热点。本文综述了影响微波等离子体化学气相沉积法制备单晶金刚石的工艺参数... 金刚石具有优异的物理化学性能,在很多领域的应用前景十分诱人。用化学气相沉积(CVD)法实现高沉积速率、高质量、大面积金刚石单晶的制备成为了当今研究的一个热点。本文综述了影响微波等离子体化学气相沉积法制备单晶金刚石的工艺参数,并简单介绍了国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶的应用前景进行了展望。 展开更多

关键词 MPCVD 金刚石单晶 综述

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