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ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析
被引量：
9
1
作者
薛俊明
黄宇
+4 位作者
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期701-705,共5页
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄...
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。
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关键词
中频脉冲磁控溅射
ZnO:Al(ZAO)薄膜
绒面结构
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职称材料
ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究
被引量：
2
2
作者
薛俊明
黄宇
+4 位作者
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期504-508,共5页
利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了溅射功率、工...
利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了溅射功率、工作压力、腐蚀时间以及溶液浓度对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:低功率、低气压、腐蚀时间20 s、溶液浓度0.5%的条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在应用前景。
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关键词
凝聚态物理学
中频脉冲磁控溅射
ZnO:A1薄膜
绒面
溅射功率
工作气压
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职称材料
衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响
被引量：
1
3
作者
黄宇
熊强
+4 位作者
薛俊明
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期891-894,共4页
ZnO：Al（ZAO）薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关，以掺杂质量2％Al的Zn（纯度99．99％）金属材料做靶，采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响，获得适合太阳电池的高效能薄膜，薄膜厚度700nm左右...
ZnO：Al（ZAO）薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关，以掺杂质量2％Al的Zn（纯度99．99％）金属材料做靶，采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响，获得适合太阳电池的高效能薄膜，薄膜厚度700nm左右，其电阻率为4．6×10^-4Ω·cm，载流子浓度1．98×10^20cm^-3，霍尔迁移率61．9cm^2／（V·s），可见光范围内（波长400～800nm）的平均透过率大于85％．
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关键词
凝聚态物理学
中频磁控溅射
ZnO:Al(ZAO)薄膜
衬底温度
载流子浓度
霍尔迁移率
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职称材料
题名
ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析
被引量：
9
1
作者
薛俊明
黄宇
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&天津市重点实验室
光电
信息
技术科学教育部重点实验室
河北省信息产业厅唐山无线电管理分局
仪器科学与动态测试教育部重点实验室
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期701-705,共5页
基金
天津市重点科技攻关项目(06YFGZGX02100)
国家"973"重点基础研究项目(2006CB202602
+1 种基金
2006CB202603)
天津市自然科学重点基金项目(06YFJZJC01700)
文摘
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。
关键词
中频脉冲磁控溅射
ZnO:Al(ZAO)薄膜
绒面结构
Keywords
mid-frequency pulsed magnetron sputtering
ZnO： Al thin films
textured structure
分类号
TM615 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究
被引量：
2
2
作者
薛俊明
黄宇
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
机构
南开大学光电
信息
科学技术教育部重点实验室
河北省信息产业厅唐山无线电管理分局
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期504-508,共5页
基金
天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100)
国家“973”重点基础研究项目(2006CB202602和2006CB202603)
文摘
利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了溅射功率、工作压力、腐蚀时间以及溶液浓度对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:低功率、低气压、腐蚀时间20 s、溶液浓度0.5%的条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在应用前景。
关键词
凝聚态物理学
中频脉冲磁控溅射
ZnO:A1薄膜
绒面
溅射功率
工作气压
Keywords
condensed matter physics
mid-frequency pulsed magnetron sputtering
ZnO： A1 thin film
texture-etched ZnO： A1 substrate
power
pressure
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响
被引量：
1
3
作者
黄宇
熊强
薛俊明
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
机构
中北大学电子工程系仪器科学与动态测试教育部重点实验室
河北省信息产业厅唐山无线电管理分局
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电
信息
技术科学教育部重点实验室
出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期891-894,共4页
基金
国家重点基础研究发展规划项目(G2000028200)
天津市自然科学基金资助项目(043604911)
文摘
ZnO：Al（ZAO）薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关，以掺杂质量2％Al的Zn（纯度99．99％）金属材料做靶，采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响，获得适合太阳电池的高效能薄膜，薄膜厚度700nm左右，其电阻率为4．6×10^-4Ω·cm，载流子浓度1．98×10^20cm^-3，霍尔迁移率61．9cm^2／（V·s），可见光范围内（波长400～800nm）的平均透过率大于85％．
关键词
凝聚态物理学
中频磁控溅射
ZnO:Al(ZAO)薄膜
衬底温度
载流子浓度
霍尔迁移率
Keywords
condensed matter physics
mid-frequency sputtering
ZnO： Al（ZAO） thin film
substrate temperature
carrier concentration
Hall mobility
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析
薛俊明
黄宇
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究
薛俊明
黄宇
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响
黄宇
熊强
薛俊明
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
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