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CMP加工后芯片三维形貌表征参数体系 被引量：2
1
作者 黄静飞 任志英 +1 位作者 罗德海 路纯红 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期716-725,共10页
针对当前化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)后的芯片表面形貌的表征常常只停留在研究二维轮廓特征,无法完整地表达整个三维表面形貌信息,仅使用单一的评定指标来表征其表面的不平整程度等问题,建立了1个科学、全面的芯... 针对当前化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)后的芯片表面形貌的表征常常只停留在研究二维轮廓特征,无法完整地表达整个三维表面形貌信息,仅使用单一的评定指标来表征其表面的不平整程度等问题,建立了1个科学、全面的芯片表面形貌评定参数体系应用于工程表面粗糙度评定中,通过分析芯片表面形貌的幅值分布特征,结合芯片表面的统计特性,基于ISO 25178-2标准表征参数建立适用于芯片表面三维评定的表征参数体系.仿真结果表明:CMP加工后芯片表面形貌的幅值近似服从高斯分布;分形维数D可以准确表征芯片表面形貌,反映其复杂程度;通过幅度参数、空间参数、混合参数和分形参数建立的芯片表面形貌评定体系能够从多方面表征芯片三维表面形貌特征,对芯片表面形貌参数评定具有一定的可行性. 展开更多
关键词 化学机械抛光 三维表面形貌 表征参数 ISO 25178-2 分形维数
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CO在1.578μm的可调谐二极管激光光谱信号小波去噪研究 被引量：5
2
作者 邱选兵 孙冬远 +5 位作者 李传亮 吴应发 张恩华 魏计林 王高 鄢玉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期628-633,共6页
研究了一氧化碳(CO)近红外波段直接吸收和波长调制信号去噪处理算法。从HATRAN数据库中得到CO气体的吸收信号作为仿真数据,提取直接吸收信号、1-f和2-f解调信号作为原始信号,研究了不同小波基以及不同的分解层数对叠加高斯白噪声的光谱... 研究了一氧化碳(CO)近红外波段直接吸收和波长调制信号去噪处理算法。从HATRAN数据库中得到CO气体的吸收信号作为仿真数据,提取直接吸收信号、1-f和2-f解调信号作为原始信号,研究了不同小波基以及不同的分解层数对叠加高斯白噪声的光谱信号去噪的效果。最后利用基长为0.95m有效光程为55.1m的Herriott型多光程池对CO在1.578μm处的第二泛频带P(4)吸收谱线信号进行测量和信号处理,与原始信号相比,经过信号处理过的直接吸收、1-f和2-f解调信号的信噪比都提高1～2个数量级;通过选择不同小波基和优化小波变换层数,增加了系统的抗干扰能力。 展开更多
关键词 激光吸收光谱 近红外CO光谱 波长调制 小波去噪
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金属橡胶-硅橡胶复合阻尼结构的减振性能 被引量：6
3
作者 任志英 尧杰程 +3 位作者 黄伟 张彬 路纯红 钟舜聪 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2022年第24期234-240,共7页
基于正弦扫频试验对金属橡胶-硅橡胶(metal rubber/silicone rubber,MR-SR)复合阻尼结构的减振性能深入探究,适用于狭小空间环境下的减振器结构。通过对比不同阻尼结构的材料性能,发现纯金属橡胶阻尼结构具备良好的耗能特性,而MS-SR复... 基于正弦扫频试验对金属橡胶-硅橡胶(metal rubber/silicone rubber,MR-SR)复合阻尼结构的减振性能深入探究,适用于狭小空间环境下的减振器结构。通过对比不同阻尼结构的材料性能,发现纯金属橡胶阻尼结构具备良好的耗能特性,而MS-SR复合阻尼结构由于金属橡胶层与硅橡胶层之间的摩擦阻尼,具有较低的共振频率;此外,分别对MR-SR复合阻尼结构展开了芯层密度、激振力、以及预紧量的单因素对照试验,发现增加芯层金属橡胶制品的密度或预紧量都会使MR-SR复合阻尼结构抵御变形能力增加,导致共振频率和共振放大因子上升,损耗因子下降,并从微观层面对该现象进行解释。由试验中的刚度软化阻尼增强现象和正反向扫频的弯曲跳跃现象可得,MR-SR复合阻尼结构含有变刚度变阻尼特性和高次非线性刚度特性,为设计具有优异阻尼性能的材料及结构提供了有效的指导。 展开更多
关键词 金属橡胶-硅橡胶(MR-SR)复合阻尼 正弦扫频试验 减振性能 共振频率
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多特征量对数回归的火焰快速识别算法 被引量：11
4
作者 席廷宇 邱选兵 +4 位作者 孙冬远 李宁 李传亮 王高 鄢玉 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2017年第7期1989-1993,共5页
为了提高实时视频监控中火焰识别率和降低误识率,提出了一种基于多特征量对数回归模型的火焰快速识别算法。首先,根据火焰的色度特征进行图像分割,通过运动目标与参考图像差分运算获取火焰候选区域(CFR);然后提取候选区域的面积变化率... 为了提高实时视频监控中火焰识别率和降低误识率,提出了一种基于多特征量对数回归模型的火焰快速识别算法。首先,根据火焰的色度特征进行图像分割,通过运动目标与参考图像差分运算获取火焰候选区域(CFR);然后提取候选区域的面积变化率、圆形度、尖角个数以及质心位移等特征量,建立火焰的对数回归快速识别模型;其次采用美国国家标准与技术研究院(NIST)、仁荷大学计算机视觉实验室(ICV)和基于计算机视觉的火灾探测(Visi Fire)实验库以及自制蜡烛、纸燃烧火焰中的火焰和非火焰图像中的300幅进行参数学习;最后选取实验数据库中8段视频共11 071幅图像进行识别算法检验。测试结果表明,所提算法的真正率(TPR)达到93%、真负率(TNR)达到98%,识别平均用时0.058 s/帧。所提算法识别速度快且识别率高,可以应用于嵌入式实时图像火焰识别。 展开更多
关键词 火焰识别 多特征量 对数回归 嵌入式视频 实时火灾预警
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金属橡胶内螺旋金属丝微动磨损预测模型研究 被引量：3
5
作者 肖笃平 任志英 +3 位作者 黄健萌 黎洪银 路纯红 王秦伟 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期56-65,共10页
目前金属丝微动磨损预测模型多适用于垂直接触,而锐角交叉下的模型存在计算过程繁琐、表征不全面等不足,难以便捷有效地预测金属橡胶内部复杂无序的金属丝磨损情况。基于有限元分析,确定螺旋曲率对磨损结果的影响极小,因此将金属橡胶内... 目前金属丝微动磨损预测模型多适用于垂直接触,而锐角交叉下的模型存在计算过程繁琐、表征不全面等不足,难以便捷有效地预测金属橡胶内部复杂无序的金属丝磨损情况。基于有限元分析,确定螺旋曲率对磨损结果的影响极小,因此将金属橡胶内部螺旋金属丝接触对微元理想化为直金属丝接触对,探究无序接触下金属丝磨损特征的演化规律。结果表明,无序接触状态下的磨损特征演化规律与金属丝接触夹角大小密切相关。依据几何学分析,得到任意锐角接触下磨损磨痕位于金属丝1/2接触夹角处的特殊位置关系,据此建立任意接触形态下的微动磨损演化预测模型,并利用已有文献中的金属丝微动磨损试验结果对预测模型进行验证。结果显示,建立的任意锐角下的磨损演化模型能够较准确地预测金属丝的磨损结果,误差均在15%以内。研究结果为预测金属橡胶内部金属丝微动磨损和使用寿命提供一定理论基础。 展开更多
关键词 微动磨损 磨损预测 金属橡胶 细金属丝 使用寿命
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空心圆柱形金属橡胶非成型向阻尼特性理论研究及参数识别 被引量：11
6
作者 张彬 任志英 +2 位作者 白鸿柏 陈其胜 路纯红 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2021年第4期243-249,共7页
金属橡胶因其优异的性能被广泛用于解决工程中的振动问题,而目前对金属橡胶非成型方向的研究较少。制备了2.5 g/cm^3,3.0 g/cm^3,3.2 g/cm^3,3.5 g/cm^3四种密度的金属橡胶,通过材料试验机对其进行1~4 Hz的正弦加载试验,获得了力-位移... 金属橡胶因其优异的性能被广泛用于解决工程中的振动问题,而目前对金属橡胶非成型方向的研究较少。制备了2.5 g/cm^3,3.0 g/cm^3,3.2 g/cm^3,3.5 g/cm^3四种密度的金属橡胶,通过材料试验机对其进行1~4 Hz的正弦加载试验,获得了力-位移曲线。分析了成型方向和非成型方向动态压缩机理,以等效损耗因子为评价指标分析了加载频率和密度对其阻尼特性的影响,用参数分离法建立了非成型方向的阻尼模型,用最小二乘法进行了参数识别。结果表明金属橡胶具有各向异性,不同频率下,金属橡胶非成型向的损耗因子相差较小,随着金属橡胶密度的增加,损耗因子呈下降趋势,相较于成型方向,非成型方向具有更大的动态刚度,其阻尼性能在低频段受频率变化影响小,受密度影响大。 展开更多
关键词 金属橡胶 非成型方向 损耗因子 迟滞振动 参数识别
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谱线拟合校正-电感耦合等离子体原子发射光谱法测定钢铁中锌的含量 被引量：1
7
作者 任玲玲 戚振南 王兵 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期1222-1224,共3页
目前钢铁中合金元素添加的种类越来越复杂，对微量元素含量测定的精准度要求越来越高，锌作为一种微量的添加元素，可以改变钢铁中碳化物形态，改善钢铁的抗弯强度、冲击韧性以及耐磨性能等^[1-2]。随着仪器分析技术的不断发展，目前锌... 目前钢铁中合金元素添加的种类越来越复杂，对微量元素含量测定的精准度要求越来越高，锌作为一种微量的添加元素，可以改变钢铁中碳化物形态，改善钢铁的抗弯强度、冲击韧性以及耐磨性能等^[1-2]。随着仪器分析技术的不断发展，目前锌元素的检测方法有湿法化学分析法^[3-4]、X射线荧光光谱法^[5-6]、电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）^[7-8]、原子吸收光谱法^[9-10]和电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）^[11-13]等。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体原子发射光谱法 锌元素 钢铁 电感耦合等离子体质谱法 测定 X射线荧光光谱法 原子吸收光谱法 校正
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多孔缠绕金属橡胶夹芯板三点弯曲力学行为 被引量：8
8
作者 王珊珊 薛新 +1 位作者 白鸿柏 路纯红 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期114-121,共8页
用压力黏结复合连接技术将304不锈钢薄板和多孔缠绕金属橡胶夹芯层制成金属橡胶夹芯板,通过静态三点弯曲试验分析黏结法制备的夹芯板力学性能,探索不同芯层厚度、密度和胶量对夹芯板失效模式、极限载荷、能量吸收能力的影响。结果表明:... 用压力黏结复合连接技术将304不锈钢薄板和多孔缠绕金属橡胶夹芯层制成金属橡胶夹芯板,通过静态三点弯曲试验分析黏结法制备的夹芯板力学性能,探索不同芯层厚度、密度和胶量对夹芯板失效模式、极限载荷、能量吸收能力的影响。结果表明:夹芯板的抗弯特性和吸能性随芯层密度、厚度的增加先增加后趋于平稳;夹芯板的载荷-位移曲线根据芯层厚度、密度、胶量不同表现3种失效模式和4种典型局部失效:芯层剪切、面板屈服、面板起皱、压痕;另外,从芯材金属橡胶内部金属丝的干摩擦和滑动摩擦机制分析讨论了夹芯板在准静态局压作用下表现出良好的塑性和能量吸收能力产生机制。 展开更多
关键词 金属橡胶 夹芯板 三点弯曲 力学行为 失效模式
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金属纤维声学性能研究现状与展望
9
作者 徐方奇 任志英 +3 位作者 白鸿柏 梁翼 路纯红 黄朝强 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2022年第6期128-141,152,共15页
金属纤维多孔材料是一种重要的纤维类多孔材料,具有优异的吸声性能。对金属纤维多孔材料的制备工艺进行了介绍,综述了金属纤维多孔材料的吸声理论模型以及试验研究的现状。针对单层金属纤维,依据理论与试验研究结果,详细探讨了不同结构... 金属纤维多孔材料是一种重要的纤维类多孔材料,具有优异的吸声性能。对金属纤维多孔材料的制备工艺进行了介绍,综述了金属纤维多孔材料的吸声理论模型以及试验研究的现状。针对单层金属纤维,依据理论与试验研究结果,详细探讨了不同结构的金属纤维多孔材料的特性参数(包括纤维丝径、孔隙率和平均孔径等)、装配参数(主要指背后空气层厚度)、梯度特性以及外部环境对材料吸声性能的影响。探讨了金属纤维复合结构的吸声性能以及金属纤维多孔材料吸声性能的优化现状。最后阐述了金属纤维多孔材料在声学领域的工程应用,并对金属纤维多孔材料的后续研究工作进行了展望。 展开更多
关键词 金属纤维 纤维多孔材料 声学性能
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