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ICP技术在化合物半导体器件制备中的应用 被引量:7
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作者 姚刚 石文兰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期474-477,485,共5页
介绍了ICP刻蚀工艺技术原理和在化合物半导体器件制备中的应用,包括ICP刻蚀技术中的低温等离子体的形成机理、等离子体与固体表面的相互作用等,并对影响ICP刻蚀结果的因素进行了分析。研究了不同的工艺气体配比、腔体工作压力、ICP源功... 介绍了ICP刻蚀工艺技术原理和在化合物半导体器件制备中的应用,包括ICP刻蚀技术中的低温等离子体的形成机理、等离子体与固体表面的相互作用等,并对影响ICP刻蚀结果的因素进行了分析。研究了不同的工艺气体配比、腔体工作压力、ICP源功率和射频源功率对刻蚀的影响,并初步得到了一种稳定、刻蚀表面清洁光滑、图形轮廓良好、均匀性较好和刻蚀速率较高的干法刻蚀工艺。 展开更多
关键词 等离子体 感应耦合等离子 刻蚀
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Intranet技术应用于教学系统
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作者 赵国芳 宋爽 宋惠敏 《河北省科学院学报》 CAS 2006年第2期25-27,共3页
由于Intranet技术具有Internet的各种优点,所以它有着广泛的应用前景。本文分析了Intranet的技术特点,结合教学策略,提出将Intranet应用于教学系统中的优势,并介绍了此教学系统的结构内容。
关键词 INTRANET 教学策略 主动武 交互式
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基于双层协作定位机制的移动机器人目标跟踪 被引量:3
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作者 贾松敏 王爽 +1 位作者 王丽佳 李秀智 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1154-1160,共7页
为解决复杂环境下机器人目标跟踪问题,提出了基于双层协作定位机制的移动机器人目标跟踪方法。该方法根据射频识别(RFID)和立体视觉信息实现外层粗定位与内层精确定位的相互协作以提高目标定位精度。首先利用RFID系统对携带标签的目标... 为解决复杂环境下机器人目标跟踪问题,提出了基于双层协作定位机制的移动机器人目标跟踪方法。该方法根据射频识别(RFID)和立体视觉信息实现外层粗定位与内层精确定位的相互协作以提高目标定位精度。首先利用RFID系统对携带标签的目标进行粗定位,然后在立体视觉系统中根据自适应模板匹配算法与扩展卡尔曼滤波算法提取目标头肩特征及运动特征,以实现精确定位目标。最后根据智能调速算法控制机器人连续稳定地跟随运动目标。实验结果表明该方法对遮挡及目标突然转弯的跟踪问题有较强的鲁棒性。 展开更多
关键词 双层协作定位机制 射频识别(RFID) 立体视觉 自适应模板匹配算法 智能调速
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脯氨酸催化的直接不对称Mannich反应 被引量:3
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作者 史兰香 张宝华 +2 位作者 梁宏伟 谢英花 石文兰 《河北科技大学学报》 CAS 2005年第3期203-207,共5页
综述了近年来脯氨酸催化的直接不对称Mannich反应的研究进展,阐述了对反应底物范围的扩大及反应条件对Mannich反应的影响,还讨论了其优缺点,并对其发展加以展望。
关键词 MANNICH反应 脯氨酸 不对称合成 催化
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多特征分块匹配的移动机器人目标跟踪 被引量:11
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作者 贾松敏 白聪轩 +1 位作者 王丽佳 李秀智 《电子设计工程》 2016年第1期23-25,30,共4页
为了实现复杂环境下移动机器人目标跟踪,提出多特征分块匹配的跟踪算法。该算法对目标区域进行分块,利用颜色、深度特征对各块图像进行特征匹配,实现目标的精确定位。在跟踪过程中,根据块图像中颜色和深度的相似度大小,及时更新目标模... 为了实现复杂环境下移动机器人目标跟踪,提出多特征分块匹配的跟踪算法。该算法对目标区域进行分块,利用颜色、深度特征对各块图像进行特征匹配,实现目标的精确定位。在跟踪过程中,根据块图像中颜色和深度的相似度大小,及时更新目标模型和子块权重,提高跟踪的准确性。利用扩展卡尔曼滤波(Extend Kalman Filter,EKF)提取目标运动特征,当目标被完全遮挡时,根据其先验估计预测目标位置,以提高算法的鲁棒性。实验结果表明,该算法对目标快速移动、光照变化、遮挡问题具有较强鲁棒性,算法跟踪速度达132frame/s,满足跟踪实时性要求。 展开更多
关键词 分块匹配 多特征跟踪 子块权重 目标模型更新
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CTF定位策略下基于多特征的智能机器人目标跟踪 被引量:2
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作者 贾松敏 王爽 +1 位作者 王丽佳 李秀智 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1039-1045,1052,共8页
针对复杂环境下机器人目标跟踪问题,提出由粗到精定位策略下基于多特征的智能机器人目标跟踪方法.该方法首先利用射频识别系统实现目标粗定位,然后采用自适应模板匹配算法、改进核函数的连续自适应均值飘移算法及扩展卡尔曼滤波算法提... 针对复杂环境下机器人目标跟踪问题,提出由粗到精定位策略下基于多特征的智能机器人目标跟踪方法.该方法首先利用射频识别系统实现目标粗定位,然后采用自适应模板匹配算法、改进核函数的连续自适应均值飘移算法及扩展卡尔曼滤波算法提取目标头肩形状、衣服颜色与运动特征,实现精确定位.最后根据人机运动状态设计基于模糊规则的智能调速控制器,实时自动调整机器人的基准线速度与转弯增益,以稳定跟随运动目标.实验结果表明,该方法能有效保持人机之间的安全距离,对遮挡、相近颜色背景干扰及目标突然转弯的跟踪问题有较强的鲁棒性. 展开更多
关键词 智能机器人 目标跟踪 由粗到精定位策略 多特征
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考虑冷却速度不均因素的冶金连铸二冷配水控制 被引量:1
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作者 张金红 贾俊礼 张淑艳 《科技通报》 北大核心 2014年第11期55-57,85,共4页
冶金连铸二次冷却控制过程中冷却速度波动较大,导致采用传统参数配水模型控制时铸坯表面温度波动较大,无法获取最佳的控制效果,极大降低了铸坯的生产质量。提出了一种基于冷却速度偏差补偿的多模型理论的连铸二冷动态控制模型,分析了铸... 冶金连铸二次冷却控制过程中冷却速度波动较大,导致采用传统参数配水模型控制时铸坯表面温度波动较大,无法获取最佳的控制效果,极大降低了铸坯的生产质量。提出了一种基于冷却速度偏差补偿的多模型理论的连铸二冷动态控制模型,分析了铸坯表面冷却速度变化对液、固相线温度和凝固区间的干扰,运算二冷控制模型在铸坯表面冷却速度产生波动条件下铸坯的温度场,获取各冷却段水量与冷却速度、过热度和冷却速度偏差的函数关系,得到冶金连铸二冷配水的控制参数,基于控制参数构建多模型自适应控制结构,通过多个子模型对各控制参数的进行动态特性覆盖,分别对与每个控制参数进行控制器的规划,按照各子模型输出误差以及当前实际冶金连铸二冷配水误差的性能指标,分析各子模型与被控冶金连铸二冷配水过程的匹配度,将最为匹配的子模型对应控制参数的控制器应用于控制模型,实现连铸复杂生产过程的二冷水量优化控制。结果说明,所提连铸二冷控制模型控制效率高,应对实际工况实时调控与控制能力强。 展开更多
关键词 冷却速度 连铸 二冷配水 控制优化
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模糊-积分控制系统的研究及其应用
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作者 韩兵欣 刘利贤 +2 位作者 李永伟 陈平印 石文兰 《河北科技大学学报》 CAS 2005年第3期241-244,共4页
通过对模糊控制系统的分析和研究,利用积分控制可以消除误差的特点,对传统的模糊控制系统进行了改进,在模糊控制系统中增加了积分控制。通过系统仿真和在脲醛树脂生产过程中的应用得到证实:该控制对具有时间滞后的生产过程加速了动态响... 通过对模糊控制系统的分析和研究,利用积分控制可以消除误差的特点,对传统的模糊控制系统进行了改进,在模糊控制系统中增加了积分控制。通过系统仿真和在脲醛树脂生产过程中的应用得到证实:该控制对具有时间滞后的生产过程加速了动态响应过程,提高了稳态精度。该控制算法具有较强的鲁棒性和抗干扰能力,超调量小,调节时间短。 展开更多
关键词 模糊控制 积分控制 过程控制
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