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适用于WDM中高质量多层介质膜的设计和生长
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作者 赵红东 辛国锋 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第Z01期182-184,共3页
我们利用有效反射率方法,研究了多层半导体介质膜的光传输特性,然后设计并生长了TiO2+ZrO2和SiO2组成的多层介质膜。测试结果表明45度入射时,滤长为0.85微米的大部分光被反向,而1.31微米波长的光能够透射,可以被应用在波分复用中。
关键词 波分复用 多层介质膜 有效反射率 设计 生长 光传输特性
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